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公開番号2025163471
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-29
出願番号2024066750
出願日2024-04-17
発明の名称治具
出願人トヨタ自動車株式会社
代理人個人,個人
主分類C23C 14/50 20060101AFI20251022BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】複数種類の物品を保持できる治具を提案すること。
【解決手段】治具30は、成膜対象となる物品を保持するものである。治具30は、貫通孔51が形成された第1物品50を保持する保持部であって、貫通孔51を挿通可能なロッド331を有する第1保持部33と、第1物品50とは異なる形状の第2物品を保持する保持部であって、第1保持部33の上部に搭載される上蓋351及び上蓋351に設けられた磁石352を有する第2保持部35と、を備えている。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
成膜対象となる物品を保持する治具であって、
前記物品のうち、貫通孔が形成された第１物品を保持する保持部であって、前記貫通孔を挿通可能なロッドを有する第１保持部と、
前記物品のうち、前記第１物品とは異なる形状の第２物品を保持する保持部であって、前記第１保持部の上部に搭載される上蓋及び当該上蓋に設けられた磁石を有する第２保持部と、を備える
治具。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、成膜対象となる物品を保持する治具に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、成膜対象となる物品を保持する治具の一例が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
国際公開第２０１０／０５０３７４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のような治具が用いられる成膜装置では、形状の異なる複数種類の物品を同時に成膜することが望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するための治具は、成膜対象となる物品を保持する治具である。当該治具は、前記物品のうち、貫通孔が形成された第１物品を保持する保持部であって、前記貫通孔を挿通可能なロッドを有する第１保持部と、前記物品のうち、前記第１物品とは異なる形状の第２物品を保持する保持部であって、前記第１保持部の上部に搭載される上蓋及び当該上蓋に設けられた磁石を有する第２保持部と、を備えている。
【発明の効果】
【０００６】
上記治具は、複数種類の物品を保持できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
図１は、実施形態の治具と、成膜装置が備えるターンテーブルと、を示す斜視図である。
図２は、治具とタワーとを示す斜視図である。
図３において、（Ａ）～（Ｃ）は治具を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、成膜装置で用いることのできる治具の一実施形態を図１～図３に従って説明する。
図１には、成膜装置を構成するターンテーブル１０と、タワー２０と、本実施形態の治具３０と、が図示されている。
【０００９】
ターンテーブル１０は、回転可能な円盤１１と、円盤１１に設けられた複数の支持ロッド１２と、を備えている。複数の支持ロッド１２は、周方向に沿って配置されている。
図１及び図２に示すように、タワー２０には、支持ロッド１２が挿通される挿通孔２１が設けられている。タワー２０は、支持ロッド１２が挿通孔２１に挿通された状態でターンテーブル１０に取り付けられる。
【００１０】
＜治具の構成＞
図２及び図３に示すように、治具３０は、タワー２０に着脱可能な状態で取り付けられる。治具３０は、ベース部３１と、ベース部３１の上部に設置される第１保持部３３と、第１保持部３３の上部に設置される第２保持部３５と、を備えている。ベース部３１は、タワー２０に装着される。
（【００１１】以降は省略されています）

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