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公開番号2025089752
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-16
出願番号2023204578
出願日2023-12-04
発明の名称押出成形体
出願人株式会社トヨックス
代理人弁理士法人コスモ国際特許事務所
主分類B29C 48/09 20190101AFI20250609BHJP(プラスチックの加工;可塑状態の物質の加工一般)
要約【課題】ハロゲン元素含有による環境問題を回避し、水蒸気低透過性、薬液低透過性、耐摩耗性、機械的特性などの物性に優れており、半導体、液晶などの製造で使われる薬液薬剤や超純水用配管などの材料に適した管状の押出成形体を提供する。
【解決手段】押出成形体は、ハロゲン元素を含まず且つエーテル結合またはエチレン構造を有し融点が200℃以上である樹脂により成形された管状の押出成形体であって、25℃における電気伝導率が0.5mS/m以下の水へのイオン溶出量が、7500μg/m²以下であり、内表面の算術平均粗さ(Ra)が0.25μm以下である。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
ハロゲン元素を含まず且つエーテル結合またはエチレン構造を有し融点が２００℃以上である樹脂により成形された管状の押出成形体であって、２５℃における電気伝導率が０．５ｍＳ／ｍ以下の水へのイオン溶出量が７５００μｇ／ｍ
２
以下であり、内表面の算術平均粗さ（Ｒａ）が０．２５μｍ以下である、
押出成形体。
続きを表示（約 350 文字）【請求項２】
２５℃における電気伝導率が０．５ｍＳ／ｍ以下の水へのイオン溶出量が５５００μｇ／ｍ
２
以下である、
請求項１に記載の押出成形体。
【請求項３】
ＳＥＭＩＦ５７－０３１４に基づいて測定される、アルミニウム、バリウム、ホウ素、カルシウム、クロム、銅、鉄、鉛、リチウム、マグネシウム、マンガン、ニッケル、カリウム、ナトリウム、ストロンチウム、及び亜鉛の溶出量の総量が１４μｇ／ｍ
2
以下である、
請求項１または２に記載の押出成形体。
【請求項４】
前記樹脂の２９５℃におけるメルトフローレートが、７．０～１８．０ｇ／１０分である、
請求項１～３のいずれか１項に記載の押出成形体。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、押出成形体に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
従来から半導体装置又は液晶表示装置等の精密デバイスなどの製造において、洗浄等の湿式工程で極めて高純度に精製された超純粋が用いられている。また、半導体製造の現像工程などでは特殊な薬液薬剤が使用されている。
【０００３】
半導体装置又は液晶表示装置等の精密デバイスなどの製造で使われる薬液薬剤や精密デバイスなどの製造およびそれ以外でも超純水の輸送ラインを構成する配管には、金属イオンの溶出が極度に少ないこと、及び菌の繁殖を防ぐ、内在する空気の気泡化を防ぐ等の目的で内面平滑度が高いことが求められる。
【０００４】
これらの用途に用いられる配管の材料としては、化学的に不活性であり、ガスバリア性を有し、薬液薬剤や超純粋への溶出性が極めて少なく、且つ内面平滑度が高いフッ素樹脂が用いられている。例えば、特許文献１には、半導体製造装置、液晶製造装置等に使用される配管として、フッ素樹脂を２層に積層したフッ素樹脂２重チューブが開示され、内側層チューブが、耐食性、耐薬品性に優れたフッ素樹脂（例えば、テトラフルオロエチレン－パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン－ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、または、テトラフルオロエチレン－エチレン共重合体（ＥＴＦＥ））によって構成され、外側層チューブが、ガスの透過を抑制できるフッ素樹脂（例えば、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ））によって構成される配管が開示されている。
【０００５】
また、特許文献２には、超純水の配管用の多層管であって、フッ素樹脂からなり、超純水に接触する第１の樹脂層と、ガス不透過性樹脂からなり、前記第１の樹脂層の外周面に設けられた第２の樹脂層とを備えることを特徴とする多層管が開示され、さらに、第２の樹脂層の外周面に、前記第２の樹脂層を保護する第３の樹脂層が設けられ、当該第３の樹脂層としてポリエチレンが用いられることが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２００６－１１２５０７号公報
特開２０１０－２３４５７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
最近では、半導体チップの集積度向上に伴い回路パターンがますます微細化されてきており、超純水用配管に対する要求特性は厳格化の一途をたどっている。ただ、近年PFAS問題が提起されフッ素関連薬液薬剤、フッ素樹脂の使用について規制が掛けられようとしている。PFASとは有機フッ素化合物のうち、ペルフルオロアルキル化合物及びポリフルオロアルキル化合物を総称であり、１万種類以上の物質がある。
【０００８】
欧州化学品庁（ＥＣＨＡ）が２０２３年３月に公表したＰＦＡＳ制限提案書によると、（１）ＰＦＡＳおよびＰＦＡＳ分解生成物が他のどの人工化学物質よりも長く環境中に残留する可能性があること、（２）生物濃縮性、移動性、長距離輸送の可能性、および生態毒性が懸念されること。この２つが制限理由として挙げられている。前者（１）の難分解性はＰＦＡＳの化学構造に起因するため、制限対象のＰＦＡＳ全体が該当するが、難分解性自体は有害な特性ではない。後者（２）に関しては、科学的根拠となるデータが存在しているのは一部のＰＦＡＳに限られる。しかし、「不確実性がある場合、リスクの存在および深刻性の程度が完全に明らかになるまで待つことなく、保護的措置を講じる」予防原則に基づいて、制限対象が広く設定されている。
【０００９】
世の中で広く使用されており、われわれの生活に欠かせない素材であっても制限対象となることである。ＰＦＡＳは他の素材よりも優れた特性を有するために、代替品が存在しない用途が数多く存在する。こうした用途に関しては、１８カ月の移行期間に加え、５年あるいは１２年の追加猶予期間が設定されているが規制されることになる。また一般周知のことであるが、ハロゲン元素を含有した廃棄物の処理においては環境問題があり使用しないことが有効である。
【００１０】
本発明では、ハロゲン元素含有による環境問題を回避し、水蒸気低透過性、薬液低透過性、耐摩耗性、機械的特性などの物性に優れており、半導体、液晶などの製造で使われる薬液薬剤や超純水用配管などの材料に適した管状の押出成形体を提供する。
【課題を解決するための手段】
（【００１１】以降は省略されています）

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