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公開番号2025061471
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-10
出願番号2025007376
出願日2025-01-20
発明の名称化合物、光酸発生剤、およびフォトリソグラフィー用樹脂組成物
出願人サンアプロ株式会社
代理人弁理士法人G-chemical
主分類C07D 221/14 20060101AFI20250403BHJP(有機化学)
要約【課題】固体化可能な化合物を提供する。
【解決手段】本発明の化合物は、下記一般式(1)で表される。下記一般式(1)中、R¹はアルキレン基を示す。R²は置換されていてもよいアルキル基または水素原子を示す。Rfは少なくとも1つの水素原子がフッ素原子で置換されていてもよいフェニル基を示す。但し、R¹が炭素数2以上のアルキレン基であるか、またはR²がアルコキシ基で置換されているアルキル基もしくは水素原子である。
【化1】
<com:Image com:imageContentCategory="Drawing"> <com:ImageFormatCategory>JPEG</com:ImageFormatCategory> <com:FileName>2025061471000008.jpg</com:FileName> <com:HeightMeasure com:measureUnitCode="Mm">48</com:HeightMeasure> <com:WidthMeasure com:measureUnitCode="Mm">170</com:WidthMeasure> </com:Image> 【選択図】なし

特許請求の範囲【請求項１】
下記一般式（１）で表される化合物。
JPEG
2025061471000007.jpg
48
170
［式（１）中、
Ｒ
１
はアルキレン基を示す。
Ｒ
２
は置換されていてもよいアルキル基または水素原子を示す。
Ｒｆは少なくとも１つの水素原子がフッ素原子で置換されていてもよいフェニル基を示す。
但し、Ｒ
１
が炭素数２以上のアルキレン基であるか、または、Ｒ
２
がアルコキシ基で置換されているアルキル基もしくは水素原子である。］
続きを表示（約 340 文字）【請求項２】
Ｒ
１
がメチレン基またはエチレン基を示し、Ｒ
２
がアルコキシ基で置換されているアルキル基を示す、請求項１に記載の化合物。
【請求項３】
Ｒ
１
がエチレン基を示し、Ｒ
２
がアルコキシ基で置換されていてもよいアルキル基または水素原子を示す、請求項１に記載の化合物。
【請求項４】
Ｒｆがパーフルオロフェニル基を示す、請求項１に記載の化合物。
【請求項５】
請求項１～４のいずれか１項に記載の化合物を含む非イオン系光酸発生剤（Ａ）。
【請求項６】
請求項５に記載の非イオン系光酸発生剤（Ａ）を含むフォトリソグラフィー用樹脂組成物（Ｑ）。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、化合物、光酸発生剤、およびフォトリソグラフィー用樹脂組成物に関する。さらに詳しくは、固体化可能な化合物、当該化合物を含む非イオン系光酸発生剤、および当該非イオン系光酸発生剤を含むフォトリソグラフィー用樹脂組成物に関する。
続きを表示（約 1,000 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、光酸発生剤およびフォトリソグラフィー用樹脂組成物に関する開示がある。また、特許文献２には、スルホン酸誘導体化合物に関する開示がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２０－８６０８３号公報
特表２０１７－５３５５９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
フォトリソグラフィー用樹脂組成物等に含まれる光酸発生剤として有用な化合物は固体化することでその後の晶析により純度を向上させることができる。しかし、特許文献１の一般式（１）のＲｆが、例えば、フルオロフェニル基等のＰＦＡＳ（ペルフルオロアルキル化合物およびポリフルオロアルキル化合物の総称）でない置換基である場合、一般式（１）の化合物は固体化しないということが明らかとなった。
【０００５】
そこで、本発明の目的は、固体化可能な化合物、当該化合物を含む非イオン系光酸発生剤、および当該非イオン系光酸発生剤を含むフォトリソグラフィー用樹脂組成物の提供にある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者は、前記の課題を解決するために鋭意検討した結果、下記一般式（１）で表される化合物は、ＲｆがＰＦＡＳでなくとも、固体化可能であることを見出した。本願は、このような知見に基づいて完成させたものである。
【０００７】
すなわち、本発明は、下記一般式（１）で表される化合物を提供する。
【０００８】
JPEG
2025061471000001.jpg
48
170
【０００９】
［式（１）中、
Ｒ
１
はアルキレン基を示す。
Ｒ
２
は置換されていてもよいアルキル基または水素原子を示す。
Ｒｆは少なくとも１つの水素原子がフッ素原子で置換されていてもよいフェニル基を示す。
但し、Ｒ
１
が炭素数２以上のアルキレン基であるか、または、Ｒ
２
がアルコキシ基で置換されているアルキル基もしくは水素原子である。］
【００１０】
前記化合物は、Ｒ
１
がメチレン基またはエチレン基を示し、Ｒ
２
がアルコキシ基で置換されているアルキル基を示すことが好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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