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公開番号2025061472
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-10
出願番号2025007380
出願日2025-01-20
発明の名称化合物、非イオン光酸発生剤、およびフォトリソグラフィー用樹脂組成物
出願人サンアプロ株式会社
代理人弁理士法人G-chemical
主分類C07D 221/14 20060101AFI20250403BHJP(有機化学)
要約【課題】耐塩基性に優れた化合物を提供する。
【解決手段】本発明の化合物は、下記式(1)で表される。下記式(1)中、R¹およびR⁴は、同一または異なってもよく、ヒドロキシ基、炭素数1～16のアルコキシ基、または炭素数1～16のアルキルチオ基であり、R²、R³、R⁵、およびR⁶は、同一または異なってもよく、水素原子、ヒドロキシ基、炭素数1～16のアルコキシ基、または炭素数1～16のアルキルチオ基であり、Rfは、フッ素原子で置換されていてもよい、炭素数1～16の炭化水素基である。
【化1】
<com:Image com:imageContentCategory="Drawing"> <com:ImageFormatCategory>JPEG</com:ImageFormatCategory> <com:FileName>2025061472000008.jpg</com:FileName> <com:HeightMeasure com:measureUnitCode="Mm">42</com:HeightMeasure> <com:WidthMeasure com:measureUnitCode="Mm">170</com:WidthMeasure> </com:Image> 【選択図】なし

特許請求の範囲【請求項１】
下記一般式（１）で表される化合物。
JPEG
2025061472000007.jpg
42
170
［式（１）中、Ｒ
１
およびＲ
４
は、同一または異なってもよく、ヒドロキシ基、炭素数１～１６のアルコキシ基、または炭素数１～１６のアルキルチオ基であり、Ｒ
２
、Ｒ
３
、Ｒ
５
、およびＲ
６
は、同一または異なってもよく、水素原子、ヒドロキシ基、炭素数１～１６のアルコキシ基、または炭素数１～１６のアルキルチオ基であり、Ｒｆは、フッ素原子で置換されていてもよい、炭素数１～１６の炭化水素基である。］
続きを表示（約 530 文字）【請求項２】
一般式（１）中、Ｒ
１
およびＲ
４
が炭素数１～１６のアルコキシ基である、請求項１に記載の化合物。
【請求項３】
一般式（１）中、Ｒ
２
、Ｒ
３
、Ｒ
５
、およびＲ
６
が水素原子である、請求項１に記載の化合物。
【請求項４】
一般式（１）中、Ｒ
２
、Ｒ
３
、Ｒ
５
、およびＲ
６
が水素原子である、請求項２に記載の化合物。
【請求項５】
一般式（１）中、Ｒｆがフッ素原子で置換されている炭素数１～１６の炭化水素基である、請求項１に記載の化合物。
【請求項６】
前記アルコキシ基、前記アルキルチオ基、および前記炭化水素基の炭素数が４～８である、請求項１に記載の化合物。
【請求項７】
請求項１～６のいずれかに１項に記載の化合物を含む非イオン系光酸発生剤（Ａ）。
【請求項８】
請求項７に記載の非イオン系光酸発生剤（Ａ）を含むフォトリソグラフィー用樹脂組成物（Ｑ）。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、化合物、光酸発生剤、およびフォトリソグラフィー用樹脂組成物に関する。さらに詳しくは、特に耐塩基性に優れた化合物、当該化合物を含む非イオン系光酸発生剤、および当該非イオン系光酸発生剤を含むフォトリソグラフィー用樹脂組成物に関する。
続きを表示（約 940 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、光酸発生剤およびフォトリソグラフィー用樹脂組成物に関する開示がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１９－１９７１４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１には、当該文献に記載の耐塩基性の評価方法にて、分解率Ｄが１０％以下であるような、耐塩基性が特に優れている具体的な化合物については開示されていない。
【０００５】
本発明の目的は、耐塩基性が高い化合物、当該化合物を含む非イオン系光酸発生剤、および当該非イオン系光酸発生剤を含むフォトリソグラフィー用樹脂組成物の提供にある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者らは、前記の課題を解決するために鋭意検討した結果、下記一般式（１）で表される化合物は、耐塩基性が高いことを見出した。本願は、このような知見に基づいて完成させたものである。
【０００７】
すなわち、本発明は、下記一般式（１）で表される化合物を提供する。
【０００８】
JPEG
2025061472000001.jpg
42
170
【０００９】
［式（１）中、Ｒ
１
およびＲ
４
は、同一または異なってもよく、ヒドロキシ基、炭素数１～１６のアルコキシ基、または炭素数１～１６のアルキルチオ基であり、Ｒ
２
、Ｒ
３
、Ｒ
５
、およびＲ
６
は、同一または異なってもよく、水素原子、ヒドロキシ基、炭素数１～１６のアルコキシ基、または炭素数１～１６のアルキルチオ基であり、Ｒｆは、フッ素原子で置換されていてもよい、炭素数１～１６の炭化水素基である。］
【００１０】
一般式（１）中、Ｒ
１
およびＲ
４
が炭素数１～１６のアルコキシ基であることが好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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