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公開番号2025051604
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-04
出願番号2024110865
出願日2024-07-10
発明の名称基板処理装置
出願人株式会社SCREENホールディングス
代理人弁理士法人あい特許事務所
主分類H01L 21/304 20060101AFI20250327BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】環境資源を節約できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置(100)は、基板を処理する。基板処理装置(100)は、流体を流通させる複数の配管を備える。複数の配管は、少なくとも1つの内側バージン材配管(2a)を含む。内側バージン材配管(2a)は、内層(21)と、外層(22)とを有する。内層(21)は、フッ素樹脂のバージン材(20a)を含有する。外層(22)は、内層(21)の外側に形成されている。外層(22)は、フッ素樹脂の再生材(20b)を含有する。内層(21)の内側を流体が流通する。
【選択図】図2A-B
特許請求の範囲【請求項１】
基板を処理する基板処理装置であって、
流体を流通させる複数の配管を備え、
前記複数の配管は、フッ素樹脂のバージン材を含有する内層と、前記内層の外側に形成されている外層とを有する少なくとも１つの内側バージン材配管を含み、
前記外層は、フッ素樹脂の再生材を含有し、
前記内層の内側を前記流体が流通する、基板処理装置。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
前記基板に対して基板処理を実行する基板処理部を更に備え、
前記基板処理部は、前記基板を収容するチャンバを有し、
前記複数の配管は、前記チャンバ外に配置されて、前記基板処理部へ供給する前記流体を流通させるチャンバ外配管を含み、
前記チャンバ外配管は、前記内側バージン材配管を含む、請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記チャンバ内に配置されて、前記チャンバ内で前記流体を吐出するノズルを更に備え、
前記複数の配管は、前記チャンバ内に配置されて、前記ノズルへ供給する前記流体を流通させるチャンバ内供給配管を含み、
前記チャンバ内供給配管は、少なくとも内側表面及び外側表面がフッ素樹脂のバージン材によって構成されるバージン材配管を含む、請求項２に記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記基板に対して基板処理を実行する基板処理部と、
前記基板処理部に供給する液体を収容する流体キャビネットと
を更に備え、
前記基板処理部は、前記基板を収容するチャンバを有し、
前記複数の配管は、前記基板処理部から排出される前記液体を前記流体キャビネットに回収させる回収配管を含み、
前記回収配管は、前記チャンバ外に配置されるチャンバ外回収配管を含み、
前記チャンバ外回収配管は、前記内側バージン材配管を含む、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記回収配管は、前記チャンバ内に配置されるチャンバ内回収配管を含み、
前記チャンバ内回収配管は、少なくとも内側表面及び外側表面がフッ素樹脂のバージン材によって構成されるバージン材配管を含む、請求項４に記載の基板処理装置。
【請求項６】
前記内側バージン材配管は、前記内層と前記外層との間に形成されているバリア層を更に有する、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の基板処理装置。
【請求項７】
前記内層の厚みは、前記外層の厚みよりも小さい、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の基板処理装置。
【請求項８】
前記内側バージン材配管には着色が施されている、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の基板処理装置。
【請求項９】
前記複数の配管は、少なくとも内側表面及び外側表面がフッ素樹脂のバージン材によって構成されるバージン材配管を含み、
前記バージン材配管は、色が前記内側バージン材配管とは異なる、請求項８に記載の基板処理装置。
【請求項１０】
基板を処理する基板処理装置であって、
流体を流通させる複数の配管を備え、
前記複数の配管は、
フッ素樹脂の再生材を含有する内層と、前記内層の外側に形成されている外層とを有する少なくとも１つの内側再生材配管を含み、
前記外層は、フッ素樹脂のバージン材を含有し、
前記内層の内側を前記流体が流通する、基板処理装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板処理装置に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
基板処理装置は、処理液を流通させる配管や、気体を流通させる配管を備える。処理液を流通させる配管には、フッ素樹脂成形品が用いられる（例えば、特許文献１参照。）。気体を流通させる配管のうち、薬液雰囲気下に配置される配管には、フッ素樹脂成形品が用いられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２０－１５５６４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、環境資源の節約が以前よりも厳しく要求されている。フッ素樹脂の原材料は天然物であり、その資源量は有限であるため、フッ素樹脂の原材料（環境資源）に対しても節約することが求められる。
【０００５】
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、環境資源を節約できる基板処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一局面によれば、基板処理装置は、基板を処理する。当該基板処理装置は、流体を流通させる複数の配管を備える。前記複数の配管は、少なくとも１つの内側バージン材配管を含む。前記内側バージン材配管は、内層と、外層とを有する。前記内層は、フッ素樹脂のバージン材を含有する。前記外層は、前記内層の外側に形成されている。前記外層は、フッ素樹脂の再生材を含有する。前記内層の内側を前記流体が流通する。
【０００７】
ある実施形態において、上記基板処理装置は、前記基板に対して基板処理を実行する基板処理部を更に備える。前記基板処理部は、前記基板を収容するチャンバを有する。前記複数の配管は、チャンバ外配管を含む。前記チャンバ外配管は、前記チャンバ外に配置される。前記チャンバ外配管は、前記基板処理部へ供給する前記流体を流通させる。前記チャンバ外配管は、前記内側バージン材配管を含む。
【０００８】
ある実施形態において、上記基板処理装置は、ノズルを更に備える。前記ノズルは、前記チャンバ内に配置される。前記ノズルは、前記チャンバ内で前記流体を吐出する。前記複数の配管は、チャンバ内供給配管を含む。前記チャンバ内供給配管は、前記チャンバ内に配置される。前記チャンバ内供給配管は、前記ノズルへ供給する前記流体を流通させる。前記チャンバ内供給配管は、バージン材配管を含む。前記バージン材配管は、少なくとも内側表面及び外側表面がフッ素樹脂のバージン材によって構成される。
【０００９】
ある実施形態において、上記基板処理装置は、基板処理部と、流体キャビネットとを更に備える。前記基板処理部は、前記基板に対して基板処理を実行する。前記流体キャビネットは、前記基板処理部に供給する液体を収容する。前記基板処理部は、前記基板を収容するチャンバを有する。前記複数の配管は、回収配管を含む。前記回収配管は、前記基板処理部から排出される前記液体を前記流体キャビネットに回収させる。前記回収配管は、前記チャンバ外に配置されるチャンバ外回収配管を含む。前記チャンバ外回収配管は、前記内側バージン材配管を含む。
【００１０】
ある実施形態において、前記回収配管は、前記チャンバ内に配置されるチャンバ内回収配管を含む。前記チャンバ内回収配管は、バージン材配管を含む。前記バージン材配管は、少なくとも内側表面及び外側表面がフッ素樹脂のバージン材によって構成される。
（【００１１】以降は省略されています）

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