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公開番号2025050251
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-04
出願番号2023158944
出願日2023-09-22
発明の名称静電チャック
出願人TOTO株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250327BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】線状に引き回された発熱部が、周囲の部材を傷つけてしまうことの無い静電チャック、を提供する。
【解決手段】静電チャック10は、誘電体基板100と、誘電体基板100を加熱するヒーターユニット300と、を備える。ヒーターユニット300は、線状に引き回された導体であって外部から電力の供給を受けて発熱する発熱部331を有する。上面視において、発熱部331は、伸びる方向が鋭角に屈曲している部分である屈曲部CVを含み、屈曲部CVのうち外周側の稜線の曲率半径が0.1mm以上である。
【選択図】図7
特許請求の範囲【請求項１】
被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、
前記誘電体基板を加熱するヒーターと、を備え、
前記ヒーターは、線状に引き回された導体であって外部から電力の供給を受けて発熱する発熱部を有し、
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
前記発熱部は、伸びる方向が鋭角に屈曲している部分である屈曲部を含み、
前記屈曲部のうち外周側の稜線の曲率半径が０．１ｍｍ以上であることを特徴とする静電チャック。
続きを表示（約 180 文字）【請求項２】
前記稜線の曲率半径が１．０ｍｍ以下であることを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項３】
前記発熱部が樹脂シートの間に挟み込まれていることを特徴とする、請求項２に記載の静電チャック。
【請求項４】
前記発熱部が前記誘電体基板の内部に埋め込まれていることを特徴とする、請求項２に記載の静電チャック。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は静電チャックに関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
例えばエッチング装置等の半導体製造装置には、処理の対象となるシリコンウェハ等の基板を吸着し保持するための装置として、静電チャックが設けられる。静電チャックは、吸着電極が設けられた誘電体基板を有する。吸着電極に電圧が印加されると静電力が生じ、誘電体基板上に載置された基板が吸着され保持される。
【０００３】
基板の処理中においては、基板の面内温度分布を可能な限り均等とすることが求められる。基板の面内温度分布を高い精度で調整可能とするために、近年ではヒーターを備えた静電チャックも開発され、既に実用化されている。ヒーターは、例えば下記特許文献１に記載されているように誘電体基板の内部に設けられることもあるが、ユニット化された状態で誘電体基板の外側に設けられることもある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１８－１２０９１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ヒーターは、線状に引き回された導体である発熱部を有する。外部からの電力が発熱部に供給されると、発熱部ではジュール熱が生じる。基板の直下となる領域の各部における発熱量が可能な限り均等となるように、発熱部は、多数の個所で屈曲する複雑な経路に沿って引き回される。例えば、円形の貫通穴の周囲等においては、発熱部が鋭角に屈曲するような個所も存在し得る。
【０００６】
鋭角に屈曲する発熱部の外周側の稜線は、その先端が尖った状態となっている。このため、尖った発熱部の先端がその周囲の部材に当たり、当該部材を傷つけてしまう可能性があった。発熱部の「周囲の部材」としては、例えば、発熱部を挟み込むように設けられた絶縁用の樹脂シート等が挙げられる。樹脂シートに傷がつくと、当該部分の絶縁耐圧が低下してしまう可能性がある。
【０００７】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、線状に引き回された発熱部が、周囲の部材を傷つけてしまうことの無い静電チャック、を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明に係る静電チャックは、被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、誘電体基板を加熱するヒーターと、を備える。ヒーターは、線状に引き回された導体であって外部から電力の供給を受けて発熱する発熱部を有する。載置面に対し垂直な方向から見た場合において、発熱部は、伸びる方向が鋭角に屈曲している部分である屈曲部を含み、屈曲部のうち外周側の稜線の曲率半径が０．１ｍｍ以上である。
【０００９】
このような構成の静電チャックでは、屈曲部のうち外周側の稜線の曲率半径が０．１ｍｍ以上となるように、発熱部が形成されている。伸びる方向が鋭角に屈曲している屈曲部において、その外周側の稜線が尖っておらず、曲率半径が０．１ｍｍ以上の円弧状となっているので、発熱部が周囲の部材を傷つけてしまうことが無い。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、線状に引き回された発熱部が、周囲の部材を傷つけてしまうことの無い静電チャック、を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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