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公開番号2025050254
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-04
出願番号2023158947
出願日2023-09-22
発明の名称静電チャック
出願人TOTO株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250327BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ヒーターの発熱部の引き回しを部分的に変更しても、各部における発熱量のバランスが崩れることの無い静電チャック、を提供する。
【解決手段】静電チャック10は、誘電体基板100と、誘電体基板100を加熱するヒーターユニット300と、を備える。ヒーターユニット300は、線状に引き回された導体である発熱部621と、線状に引き回された導体であって、発熱部621に対し並列に接続された発熱部622と、を有する。上面視において、発熱部621が引き回されている径方向の範囲と、発熱部622が引き回されている径方向の範囲と、は互いに重なっており、発熱部621が引き回されている周方向の範囲と、発熱部622が引き回されている周方向の範囲と、は互いに重なっている。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、
前記誘電体基板を加熱するヒーターと、を備え、
前記ヒーターは、
線状に引き回された導体である第１発熱部と、
線状に引き回された導体であって、前記第１発熱部に対し並列に接続された第２発熱部と、を有し、
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
前記第１発熱部が引き回されている径方向の範囲と、前記第２発熱部が引き回されている径方向の範囲と、は互いに重なっており、
前記第１発熱部が引き回されている周方向の範囲と、前記第２発熱部が引き回されている周方向の範囲と、は互いに重なっていることを特徴とする静電チャック。
続きを表示（約 620 文字）【請求項２】
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
前記第１発熱部及び前記第２発熱部が引き回されている領域は、前記誘電体基板の中心を外側から囲む円環状の領域であることを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項３】
前記誘電体基板には、リフトピンを挿通するための貫通穴が形成されており、
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
前記第１発熱部及び前記第２発熱部が引き回されている領域は、前記貫通穴が形成されている部分を含む領域であることを特徴とする、請求項２に記載の静電チャック。
【請求項４】
前記ヒーターは、線状に引き回された導体である第３発熱部を更に備え、
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
前記第３発熱部が引き回されている領域は、前記第１発熱部及び前記第２発熱部が引き回されている領域、よりも内側の領域であって、
前記第１発熱部及び前記第２発熱部の線幅は、前記第３発熱部の線幅よりも狭いことを特徴とする、請求項２に記載の静電チャック。
【請求項５】
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
前記第１発熱部及び前記第２発熱部が引き回されている領域、よりも内側の領域では、１本の前記第３発熱部のみが引き回されていることを特徴とする、請求項４に記載の静電チャック。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は静電チャックに関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
例えばエッチング装置等の半導体製造装置には、処理の対象となるシリコンウェハ等の基板を吸着し保持するための装置として、静電チャックが設けられる。静電チャックは、吸着電極が設けられた誘電体基板を有する。吸着電極に電圧が印加されると静電力が生じ、誘電体基板上に載置された基板が吸着され保持される。
【０００３】
半導体製造装置で基板を処理しているときには、基板の面内温度分布が可能な限り均等となるよう温度調整を行う必要がある。高い精度での温度調整を可能とするために、近年ではヒーターを備えた静電チャックも開発され、既に実用化されている。ヒーターは、誘電体基板の内部に設けられることもあるが、例えば下記特許文献１に記載されているように、ユニット化された状態で誘電体基板とベースプレートとの間に設けられることもある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２１－１９７４８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ヒーターは、線状に引き回された導体である発熱部を有する。外部から電力が供給され、発熱部に電流が流れると、発熱部ではジュール熱が生じる。誘電体基板の各部の温度を個別に調整可能とするために、ヒーターの発熱部は、複数の領域のそれぞれにおいて個別に引き回される。
【０００６】
本発明者らは、一部の領域において引き回される発熱部を、１本のみではなく複数本とした上で、これらを互いに並列に接続した構成とすることについて検討を進めている。このような構成とした場合には、発熱部１本あたりの長さを短くすることができるので、それぞれの発熱部の電気抵抗を抑え、十分な発熱量を確保することができる。
【０００７】
ところで、発熱部の引き回し経路を検討するにあたっては、所謂ホットスポットやクールスポットが生じることの無いように、周囲の様々な構造を考慮する必要がある。例えば、ベースプレートにおける冷媒流路の形状を一部において変更したり、誘電体基板に形成されるガス穴の位置や大きさを変更したりした場合には、それに合わせて、発熱部の引き回し経路を部分的に変更する必要が生じる。
【０００８】
しかしながら、発熱部の引き回し経路を「部分的に」変更すると、互いに並列な複数本の発熱部のうち、１本のみの長さが変化してしまうこととなる。その結果、発熱部同士の電気抵抗の差が大きくなり、発熱量の差も大きくなるので、処理中における基板の面内温度分布に悪影響を及ぼしてしまうことが懸念される。
【０００９】
これを防止するためには、発熱部の引き回し経路の全体を一から設計しなおさなければならない。しかしながら、ベースプレート等の構造が部分的に変更される度に、発熱部の全体を一から設計しなおすのは効率的ではない。
【００１０】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、ヒーターの発熱部の引き回しを部分的に変更しても、各部における発熱量のバランスが崩れることの無い静電チャック、を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
（【００１１】以降は省略されています）

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