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公開番号2025050248
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-04
出願番号2023158941
出願日2023-09-22
発明の名称静電チャック
出願人TOTO株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250327BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ヒーターユニットの被給電部に導電性部材から加えられる力が大きくなり過ぎることのない静電チャック、を提供する。
【解決手段】静電チャック10は、被給電部371を有するヒーターユニット300と、その先端部511が、圧縮状態からの復元力によって被給電部371に当接している導電性部材500と、導電性部材500を圧縮状態のまま保持する保持部材600と、を備える。保持部材600は、導電性部材500のうち、先端部511とは反対側の後端部524を外部に露出させた状態で、導電性部材500を保持するものである。静電チャック10は、後端部524の位置を調整するための調整機構を更に備える。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
外部から電力の供給を受ける被給電部、を有するヒーターユニットと、
その先端部が、圧縮状態からの復元力によって前記被給電部に当接している導電性部材と、
前記導電性部材を圧縮状態のまま保持する保持部材と、を備え、
前記保持部材は、
前記導電性部材のうち、前記先端部とは反対側の後端部を外部に露出させた状態で、前記導電性部材を保持するものであり、
前記後端部の位置を調整するための調整機構を更に備えることを特徴とする静電チャック。
続きを表示（約 280 文字）【請求項２】
前記調整機構は、前記保持部材の外側面に形成された雄螺子と、当該雄螺子に螺合する雌螺子と、を含むことを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項３】
前記後端部が前記先端部側に近づき過ぎてしまうことを防止する接近防止機構、を更に備えることを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項４】
前記接近防止機構は、
前記保持部材又は前記導電性部材に対して前記被給電部側から当接することで、前記後端部の移動を規制するように構成されていることを特徴とする、請求項３に記載の静電チャック。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は静電チャックに関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
例えばエッチング装置等の半導体製造装置には、処理の対象となるシリコンウェハ等の基板を吸着し保持するための装置として、静電チャックが設けられる。静電チャックは、吸着電極が設けられた誘電体基板と、誘電体基板を支持するベースプレートと、を備え、これらが互いに接合された構成を有する。吸着電極に電圧が印加されると静電力が生じ、誘電体基板上に載置された基板が吸着され保持される。半導体製造装置で基板が処理されているときには、ベースプレートによって誘電体基板が冷却される。これにより、誘電体基板上に載置された基板の温度が適温に保たれる。
【０００３】
基板の処理中においては、基板の面内温度分布を可能な限り均等とすることが求められる。基板の面内温度分布を高い精度で調整可能とするために、近年ではヒーターを備えた静電チャックも開発され、既に実用化されている。ヒーターは、誘電体基板の内部に設けられることもあるが、例えば下記特許文献１に記載されているように、ユニット化された状態で誘電体基板とベースプレートとの間に設けられることもある。ヒーターを内蔵した誘電体基板も、その全体を「ヒーターユニット」と捉えることができることに鑑みれば、上記いずれの場合でも、ヒーターユニットがベースプレートに対して接合される、ということができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特許第６３４１４５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
例えば上記特許文献１に記載されているように、ヒーターユニットへの電力の供給は、ヒーターユニットの被給電部に対し（固定されておらず）当接している導電性部材、を介して行われることがある。このような構成においては、ヒーターユニットの被給電部から予め端子を突出させておく必要が無く、例えば被給電部及びその周囲をフラットな面とすることができるので、ヒーターユニットを含む静電チャックの組み立て作業を容易なものとすることができる。
【０００６】
上記特許文献１に記載の導電性部材は、伸縮可能なコンタクトプローブであり、その復元力によって先端部を被給電部に押し付けておくことができる。しかしながら、導電性部材の復元力が大きくなり過ぎると、被給電部に過剰な力が加えられ、ヒーターユニットの変形等が生じる可能性がある。
【０００７】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、ヒーターユニットの被給電部に導電性部材から加えられる力が大きくなり過ぎることのことない静電チャック、を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明に係る静電チャックは、外部から電力の供給を受ける被給電部、を有するヒーターユニットと、その先端部が、圧縮状態からの復元力によって被給電部に当接している導電性部材と、導電性部材を圧縮状態のまま保持する保持部材と、を備える。保持部材は、導電性部材のうち、先端部とは反対側の後端部を外部に露出させた状態で、導電性部材を保持するものである。この静電チャックは、後端部の位置を調整するための調整機構を更に備える。
【０００９】
このような構成の静電チャックでは、導電性部材の先端部がヒーターユニットの被給電部に当接している状態を、導電性部材の復元力によって維持することができる。ヒーターユニットと導電性部材との間をろう接等により固定する必要が無いので、静電チャックの組み立て作業が容易となる。また、上記静電チャックでは、導電性部材の後端部の位置、すなわち導電性部材の圧縮状態を、調整機構によって調整することができる。このような調整により、被給電部に対し導電性部材から加えられる力が大きくなり過ぎること、を防止できる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、ヒーターユニットの被給電部に導電性部材から加えられる力が大きくなり過ぎることのない静電チャック、を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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