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公開番号2025084480
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-03
出願番号2023198418
出願日2023-11-22
発明の名称静電チャック
出願人TOTO株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250527BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】各領域におけるヒーターの発熱性能を容易に調整することのできる静電チャック、を提供する。
【解決手段】静電チャック10は、誘電体基板100と、誘電体基板100を加熱するヒーターユニット300と、を備える。上面視において、ヒーターユニット300は、互いに重ならないように分けられた複数の領域HA、のそれぞれの内側で個別に引き回された発熱部331Aと、発熱部331Aとは異なる高さ位置において、少なくとも一部の領域HAの内側で個別に引き回された発熱部331Bと、を含む。
【選択図】図9
特許請求の範囲【請求項１】
被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、
前記誘電体基板を加熱するヒーターと、を備え、
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
前記ヒーターは、
互いに重ならないように分けられた複数の領域、のそれぞれの内側で個別に引き回された第１発熱部と、
前記第１発熱部とは異なる高さ位置において、少なくとも一部の前記領域の内側で個別に引き回された第２発熱部と、を含むことを特徴とする静電チャック。
続きを表示（約 530 文字）【請求項２】
同一の前記領域の内側で引き回されている前記第１発熱部と前記第２発熱部とが、互いに直列に接続されていることを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項３】
同一の前記領域の内側で引き回されている前記第１発熱部と前記第２発熱部とが、互いに並列に接続されていることを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項４】
同一の前記領域の内側で引き回されている前記第１発熱部と前記第２発熱部とが、それぞれの線幅において互いに等しいことを特徴とする、請求項２又は３に記載の静電チャック。
【請求項５】
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
複数の前記領域のうち最外周となる位置に配置されたものの内側で、前記第１発熱部及び前記第２発熱部の両方が引き回されていることを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項６】
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
複数の前記領域のうち最外周とは異なる位置に配置されたものの内側で、前記第１発熱部及び前記第２発熱部の両方が引き回されていることを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は静電チャックに関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
例えばエッチング装置等の半導体製造装置には、処理の対象となるシリコンウェハ等の基板を吸着し保持するための装置として、静電チャックが設けられる。静電チャックは、吸着電極が設けられた誘電体基板を有する。吸着電極に電圧が印加されると静電力が生じ、誘電体基板上に載置された基板が吸着され保持される。
【０００３】
半導体製造装置で基板を処理しているときには、基板の面内温度分布が可能な限り均等となるよう温度調整を行う必要がある。高い精度での温度調整を可能とするために、近年ではヒーターを備えた静電チャックも開発され、既に実用化されている。ヒーターは、誘電体基板の内部に設けられることもあるが、例えば下記特許文献１に記載されているように、ユニット化された状態で誘電体基板とベースプレートとの間に設けられることもある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２１－１９７４８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ヒーターは、線状に引き回された導体である発熱部を有する。外部から電力が供給され、発熱部に電流が流れると、発熱部ではジュール熱が生じる。誘電体基板の各部の温度を個別に調整可能とするために、ヒーターの発熱部は、複数の領域のそれぞれにおいて個別に引き回される。
【０００６】
それぞれの領域における発熱部の発熱性能（例えば電気抵抗値の逆数）は、当該領域の位置や大きさに応じた適切なものとなるように、予め個別に調整しておくことが望ましい。そこで、例えば発熱部の線幅や長さ等を領域ごとに調整しておくことが考えられる。しかしながら、そのような調整は難しい場合が多い。例えば、発熱部の線幅を狭くし過ぎると、断線の可能性が高くなってしまう。
【０００７】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、各領域におけるヒーターの発熱性能を容易に調整することのできる静電チャック、を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明に係る静電チャックは、被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、誘電体基板を加熱するヒーターと、を備える。載置面に対し垂直な方向から見た場合において、ヒーターは、互いに重ならないように分けられた複数の領域、のそれぞれの内側で個別に引き回された第１発熱部と、第１発熱部とは異なる高さ位置において、少なくとも一部の領域の内側で個別に引き回された第２発熱部と、を含む。
【０００９】
上記構成の静電チャックでは、互いに重ならないように分けられた複数の領域のそれぞれにおいて、第１発熱部が個別に引き回されている。これにより、それぞれの領域におけるヒーターの発熱量を個別に変化させ、処理中における基板の面内温度分布を調整することが可能となる。
【００１０】
複数ある領域のうち少なくとも一部の領域では、第１発熱部に加えて第２発熱部も引き回されている。第２発熱部は、第１発熱部とは異なる高さ位置において、当該第１発熱部と同じ領域内を引き回されている。尚、「高さ位置」とは、載置面に対し垂直な方向における位置のことである。
（【００１１】以降は省略されています）

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