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公開番号2025114966
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-06
出願番号2024009229
出願日2024-01-25
発明の名称静電チャック
出願人TOTO株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250730BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ベースプレートの複雑な内部構造を容易に実現することのできる静電チャック、を提供する。
【解決手段】静電チャック10は、誘電体基板100と、誘電体基板100に接合されたベースプレート200と、を備える。ベースプレート200は、誘電体基板100側の部分である第1部分201と、第1部分201に対し誘電体基板100とは反対側から隣り合う部分であって、上面視における外形が第1部分201の外形よりも大きな第2部分202と、を有する。ベースプレート200は、複数の部材を接合することにより構成されており、最も誘電体基板100側の接合境界B1が第2部分202にある。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、
前記誘電体基板に接合されたベースプレートと、を備え、
前記ベースプレートは、
前記誘電体基板側の部分である第１部分と、
前記第１部分に対し前記誘電体基板とは反対側から隣り合う部分であって、前記載置面に対し垂直な方向から見たときの外形が前記第１部分の外形よりも大きな第２部分と、を有し、
前記ベースプレートは、
複数の部材を接合することにより構成されており、最も前記誘電体基板側の接合境界が前記第２部分にあることを特徴とする静電チャック。
続きを表示（約 440 文字）【請求項２】
前記ベースプレートを構成する複数の前記部材のうち、
前記接合境界よりも前記誘電体基板側にある部材を第１部材とし、
前記接合境界を挟んで前記第１部材に接合されている部材を第２部材としたときに、
前記第１部材には、前記載置面側にガスを供給するための供給流路が、前記載置面に対して垂直な方向に伸びるように形成されており、
前記供給流路の内部には多孔質部材が配置されていることを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項３】
前記供給流路は複数形成されており、
前記ベースプレートには、
複数の前記供給流路にガスを分配するための分配流路が更に形成されていることを特徴とする、請求項２に記載の静電チャック。
【請求項４】
前記分配流路は、前記第１部材又は前記第２部材のいずれかにおいて、前記接合境界に沿って伸びるように形成された溝であることを特徴とする、請求項３に記載の静電チャック。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は静電チャックに関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
例えばエッチング装置のような半導体製造装置には、処理の対象となるシリコンウェハ等の基板を吸着し保持するための装置として、静電チャックが設けられる。静電チャックは、吸着電極が設けられた誘電体基板と、誘電体基板を支持するベースプレートと、を備え、これらが互いに接合された構成を有する。吸着電極に電圧が印加されると静電力が生じ、誘電体基板上に載置された基板が吸着され保持される。
【０００３】
下記特許文献１に記載されているように、ベースプレートの内部には、冷媒を通すための冷媒流路等が形成される。冷媒流路等の形成を容易なものとするために、ベースプレートは、複数の部材を接合した構成とされるのが一般的である。例えば、一つの部材の表面に溝を形成し、当該表面を覆うように他の部材を接合すれば、溝に沿った流路をベースプレートの内部に容易に形成することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１５－３５４４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ベースプレートには、上記の冷媒流路に加えて、誘電体基板の載置面側へとガスを導くための供給流路も形成される。また、当該供給流路の内部には、放電を防止するための多孔質部材が配置されることもある。このように、ベースプレートのうち誘電体基板の近傍部分における内部構造は、比較的複雑であることが多い。
【０００６】
上記のように、ベースプレートは、複数の部材を互いに接合した構成とされるのが一般的である。上記のように複雑な内部構造を実現するにあたり、ベースプレートにおいて部材間の接合境界をどのような位置とすべきかについて、従来の静電チャックには更なる改良の余地があった。
【０００７】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、ベースプレートの複雑な内部構造を容易に実現することのできる静電チャック、を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明に係る静電チャックは、被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、誘電体基板に接合されたベースプレートと、を備える。ベースプレートは、誘電体基板側の部分である第１部分と、第１部分に対し誘電体基板とは反対側から隣り合う部分であって、載置面に対し垂直な方向から見たときの外形が第１部分の外形よりも大きな第２部分と、を有する。ベースプレートは、複数の部材を接合することにより構成されており、最も誘電体基板側の接合境界が第２部分にある。
【０００９】
上記構成の静電チャックでは、複数の部材を接合することによりベースプレートが構成されており、最も誘電体基板側の接合境界が、第１部分ではなく第２部分にある。接合境界が第１部分にある場合に比べて、最も誘電体基板側にある部材が厚くなるので、例えば、ガスの供給流路に多孔質部材を配置する作業等を容易なものとすることができる。これにより、ベースプレートにおける複雑な内部構造を容易に実現することができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、ベースプレートの複雑な内部構造を容易に実現することのできる静電チャック、を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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