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公開番号2025050247
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-04
出願番号2023158940
出願日2023-09-22
発明の名称静電チャック
出願人TOTO株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250327BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ヒーターユニットと端子との接続部分における欠損等を防止することのできる静電チャック、を提供する。
【解決手段】静電チャック10は、ヒーターユニット300と、ヒーターユニット300を支持するベースプレート200と、ヒーターユニット300とベースプレート200との間を接合する接合層420と、を備える。ヒーターユニット300からベースプレート200側に向けて突出する端子390が、ベースプレート200に形成された貫通穴230の内側に収容されている。貫通穴230の内側には、端子390を周囲から支持する支持部材500が配置されている。端子390のうち最も前記ヒーターユニット300側の部分の周囲には空間SP2が形成されている。静電チャック10では、接合層420の一部が空間SP2に入り込み、支持部材500と共に端子390を支持している。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
外部から電力の供給を受けて発熱するヒーターユニットと、
前記ヒーターユニットを支持するベースプレートと、
前記ヒーターユニットと前記ベースプレートとの間を接合する接合層と、を備え、
前記ヒーターユニットから前記ベースプレート側に向けて突出する端子が、前記ベースプレートに形成された貫通穴の内側に収容されており、
前記貫通穴の内側には、前記端子を周囲から支持する支持部材が配置されており、
前記端子のうち最も前記ヒーターユニット側の部分の周囲には空間が形成されており、
前記接合層の一部が前記空間に入り込み、前記支持部材と共に前記端子を支持していることを特徴とする静電チャック。
続きを表示（約 190 文字）【請求項２】
前記接合層は、前記端子の周囲を全周に亘り連続して囲むことで、前記端子を支持していることを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項３】
前記支持部材のうち前記空間を区画している部分は、内側の前記端子に近づくに従って前記ヒーターユニットから遠ざかるように傾斜した傾斜面を有することを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は静電チャックに関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
例えばエッチング装置等の半導体製造装置には、処理の対象となるシリコンウェハ等の基板を吸着し保持するための装置として、静電チャックが設けられる。静電チャックは、吸着電極が設けられた誘電体基板と、誘電体基板を支持するベースプレートと、を備え、これらが互いに接合された構成を有する。吸着電極に電圧が印加されると静電力が生じ、誘電体基板上に載置された基板が吸着され保持される。半導体製造装置で基板が処理されているときには、ベースプレートによって誘電体基板が冷却される。これにより、誘電体基板上に載置された基板の温度が適温に保たれる。
【０００３】
基板の処理中においては、基板の面内温度分布を可能な限り均等とすることが求められる。基板の面内温度分布を高い精度で調整可能とするために、近年ではヒーターを備えた静電チャックも開発され、既に実用化されている。ヒーターは、誘電体基板の内部に設けられることもあるが、例えば下記特許文献１に記載されているように、ユニット化された状態で誘電体基板とベースプレートとの間に設けられることもある。ヒーターを内蔵した誘電体基板も、その全体を「ヒーターユニット」と捉えることができることに鑑みれば、上記いずれの場合でも、ベースプレートはヒーターユニットに対して接合される、ということができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２１－１９７４８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ヒーターユニットには、外部から電力の供給を受けるための端子が設けられており、当該端子が外側に向けて突出している。端子は、例えばベースプレートに形成された貫通穴の内側に収容される。
【０００６】
基板の処理時には、静電チャックの各部の温度が上昇する。このとき、端子のうち特にヒーターユニットに接続されている部分には、各部の熱膨張差等に起因して応力が加えられる可能性がある。当該応力の大きさによっては、ヒーターユニットと端子との接続部分において欠損等が生じてしまう怖れがある。
【０００７】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、ヒーターユニットと端子との接続部分における欠損等を防止することのできる静電チャック、を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明に係る静電チャックは、外部から電力の供給を受けて発熱するヒーターユニットと、ヒーターユニットを支持するベースプレートと、ヒーターユニットとベースプレートとの間を接合する接合層と、を備える。ヒーターユニットからベースプレート側に向けて突出する端子が、ベースプレートに形成された貫通穴の内側に収容されている。貫通穴の内側には、端子を周囲から支持する支持部材が配置されている。端子のうち最もヒーターユニット側の部分の周囲には空間が形成されている。この静電チャックでは、接合層の一部が空間に入り込み、支持部材と共に端子を支持している。
【０００９】
このような構成の静電チャックでは、ヒーターユニットから突出する端子の根元部分が、上記空間に入り込んだ接合層によって支持され補強されている。これにより、ヒーターユニットと端子との接続部分における欠損等を防止することができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、ヒーターユニットの端子の欠損等を防止することのできる静電チャック、を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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