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公開番号2025050253
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-04
出願番号2023158946
出願日2023-09-22
発明の名称静電チャック
出願人TOTO株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250327BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ヒーターの発熱量を十分に確保することのできる静電チャック、を提供する。
【解決手段】静電チャック10は、誘電体基板100と、誘電体基板100を加熱するヒーターユニット300と、を備える。誘電体基板100は、上面視において互いに隣り合う第1領域HB1及び第2領域HB2を有している。ヒーターユニット300は、第1領域HB1と対応する位置に配置された第1ヒーター610と、第2領域HB2と対応する位置に配置された第2ヒーター620と、を有する。第1ヒーター610及び第2ヒーター620は、いずれも、線状に引き回された導体である発熱部(611、621、622)を含む。第2ヒーター620における発熱部621、622の線幅は、第1ヒーター610における発熱部611の線幅よりも狭い。第2ヒーター620は、互いに並列に接続された複数の発熱部621、622を含む。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、
前記誘電体基板を加熱するヒーターと、を備え、
前記誘電体基板は、前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において互いに隣り合う第１領域及び第２領域を有しており、
前記ヒーターは、
前記第１領域と対応する位置に配置された第１ヒーターと、
前記第２領域と対応する位置に配置された第２ヒーターと、を有し、
前記第１ヒーター及び前記第２ヒーターは、いずれも、線状に引き回された導体である発熱部を含むものであり、
前記第２ヒーターにおける前記発熱部の線幅は、前記第１ヒーターにおける前記発熱部の線幅よりも狭く、
前記第２ヒーターは、互いに並列に接続された複数の前記発熱部を含むことを特徴とする静電チャック。
続きを表示（約 550 文字）【請求項２】
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
前記第１領域は、前記誘電体基板の中心を含む円形の領域であり、
前記第２領域は、前記第１領域を外側から全周に亘り囲む領域であることを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項３】
前記誘電体基板には、リフトピンを挿通するための貫通穴が形成されており、
前記第２領域は、前記貫通穴が形成されている部分を含む領域であることを特徴とする、請求項２に記載の静電チャック。
【請求項４】
前記第１ヒーターの前記発熱部は１本のみ設けられていることを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項５】
前記第２ヒーターは、前記発熱部として、互いに並列に接続された第１発熱部と第２発熱部とを含み、
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
前記第１発熱部が引き回されている径方向の範囲と、前記第２発熱部が引き回されている径方向の範囲と、は互いに重なっており、
前記第１発熱部が引き回されている周方向の範囲と、前記第２発熱部が引き回されている周方向の範囲と、は互いに重なっていることを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は静電チャックに関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
例えばエッチング装置等の半導体製造装置には、処理の対象となるシリコンウェハ等の基板を吸着し保持するための装置として、静電チャックが設けられる。静電チャックは、吸着電極が設けられた誘電体基板を有する。吸着電極に電圧が印加されると静電力が生じ、誘電体基板上に載置された基板が吸着され保持される。
【０００３】
半導体製造装置で基板を処理しているときには、基板の面内温度分布が可能な限り均等となるよう温度調整を行う必要がある。高い精度での温度調整を可能とするために、近年ではヒーターを備えた静電チャックも開発され、既に実用化されている。ヒーターは、誘電体基板の内部に設けられることもあるが、例えば下記特許文献１に記載されているように、ユニット化された状態で誘電体基板とベースプレートとの間に設けられることもある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２１－１９７４８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ヒーターは、線状に引き回された導体である発熱部を有する。外部から電力が供給され、発熱部に電流が流れると、発熱部ではジュール熱が生じる。誘電体基板の各部の温度を個別に調整可能とするために、ヒーターの発熱部は、複数の領域のそれぞれにおいて個別に引き回される。
【０００６】
複数ある領域の中には、例えば誘電体基板に形成された貫通穴等との干渉を避けながら発熱部を引き回す必要があるために、発熱部の線幅を他の領域と同程度に確保することが難しい領域も存在する。このような領域では、発熱部の線幅が狭くなる一方で長さは延びてしまうので、発熱部の電気抵抗が大きくなり、発熱量が小さくなってしまうという問題がある。
【０００７】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、ヒーターの発熱量を十分に確保することのできる静電チャック、を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明に係る静電チャックは、被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、誘電体基板を加熱するヒーターと、を備える。誘電体基板は、載置面に対し垂直な方向から見た場合において互いに隣り合う第１領域及び第２領域を有している。ヒーターは、第１領域と対応する位置に配置された第１ヒーターと、第２領域と対応する位置に配置された第２ヒーターと、を有する。第１ヒーター及び第２ヒーターは、いずれも、線状に引き回された導体である発熱部を含むものである。第２ヒーターにおける発熱部の線幅は、第１ヒーターにおける発熱部の線幅よりも狭い。第２ヒーターは、互いに並列に接続された複数の発熱部を含む。
【０００９】
このような構成の静電チャックでは、ヒーターが、誘電体基板の第１領域と対応する位置に配置された第１ヒーターと、誘電体基板の第２領域と対応する位置に配置された第２ヒーターと、を有する。第２ヒーターは、第１ヒーターに比べると発熱部の線幅が狭い。このため、誘電体基板の「第２領域」としては、例えば貫通穴等が形成された比較的複雑な領域を選定すればよい。
【００１０】
上記静電チャックでは、第２ヒーターの発熱部が、第１ヒーターの発熱部に比べるとその線幅が狭くなっている一方で、互いに並列に接続された複数の発熱部を含んでいる。このため、第２ヒーターでは、全体を１本の発熱部のみで構成した場合に比べて、発熱部１本あたりの長さを短くすることができる。これにより、第２ヒーターの発熱部においても、第１ヒーターの発熱部と同程度の発熱量を確保することができる。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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