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公開番号2025044007
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-01
出願番号2023151661
出願日2023-09-19
発明の名称感光性転写材料及びその製造方法
出願人富士フイルム株式会社
代理人弁理士法人太陽国際特許事務所
主分類G03F 7/004 20060101AFI20250325BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】仮支持体と感光性樹脂層との間に熱可塑性樹脂層及び中間層を有し、仮支持体を剥離する際に熱可塑性樹脂層と中間層との間で剥離し、かつ、熱可塑性樹脂層と中間層との間の剥離性に優れる感光性転写材料及びその製造方法の提供。
【解決手段】仮支持体と、共重合ポリエステル樹脂を含む熱可塑性樹脂層と、中間層と、感光性樹脂層と、をこの順に有する感光性転写材料及びその製造方法。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
仮支持体と、共重合ポリエステル樹脂を含む熱可塑性樹脂層と、中間層と、感光性樹脂層と、をこの順に有する感光性転写材料。
続きを表示（約 670 文字）【請求項２】
前記熱可塑性樹脂層は、塗布膜である請求項１に記載の感光性転写材料。
【請求項３】
前記熱可塑性樹脂層と前記中間層とが接している請求項１に記載の感光性転写材料。
【請求項４】
前記熱可塑性樹脂層と前記中間層との剥離力が、１００ｍＮ／ｃｍ以下である請求項３に記載の感光性転写材料。
【請求項５】
前記共重合ポリエステル樹脂は、数平均分子量が３０００以上３００００以下の範囲であり、かつ、ガラス転移温度が－２０℃以上８０℃以下の範囲である請求項１に記載の感光性転写材料。
【請求項６】
前記中間層は、ポリビニルアルコールを含む塗布膜である請求項１に記載の感光性転写材料。
【請求項７】
前記感光性樹脂層が、ケイ素を含む界面活性剤を含む請求項１に記載の感光性転写材料。
【請求項８】
前記熱可塑性樹脂層が、ケイ素を含む界面活性剤を含む請求項１に記載の感光性転写材料。
【請求項９】
仮支持体上に、共重合ポリエステル樹脂を含む熱可塑性樹脂層と、中間層と、感光性樹脂層と、をこの順に塗布乾燥により形成する工程を含む感光性転写材料の製造方法。
【請求項１０】
保護フィルム上に、感光性樹脂層と、中間層と、共重合ポリエステル樹脂を含む熱可塑性樹脂層と、をこの順に塗布乾燥により形成する工程と、
前記熱可塑性樹脂層に、仮支持体を熱ラミネートにより貼り合わせる工程と、
を含む感光性転写材料の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、感光性転写材料及びその製造方法に関する。
続きを表示（約 2,600 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、ドライフィルムレジストとも称される感光性転写材料は、様々な基板上にレジストパターンを簡便に形成することが可能であることから、広く用いられている。感光性転写材料によれば、転写により任意の基板上に設けた感光性樹脂層を、所望のパターンを有するフォトマスク（以下、単に「マスク」ともいう。）を介して露光した後、現像することで、必要とするパターン形状を得ることができる。
【０００３】
感光性転写材料としては、例えば、特許文献１には、支持体上に、熱可塑性樹脂であるエチレン－酢酸ビニル共重合樹脂からなるクッション層と、バリア層と、感光層と、をこの順に有するパターン形成材料が開示されいる。
特許文献２には、カバーフィルム上に、感光層と、中間層と、アクリル系粘着剤等の粘着剤を含む粘着性層と、仮支持体と、をこの順に有する感光性転写材料が開示されいる。
特許文献３には、仮支持体上に、アクリル樹脂からなる熱可塑性樹脂層と、水溶性樹脂層と、感光性層と、保護フィルムと、をこの順に有する転写フィルムが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００７－１７８４５９号公報
国際公開第２０１９／１４６３８０号
特開２０２２－１６８８１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ドライフィルムレジストを用いたパターニングには、高解像化の要求がある。例えば、半導体パッケージ基板の製造工程では、ドライフィルムレジストにより形成した微細パターンをセミアディティブプロセスに用い、３μｍ以下の銅配線パターンを形成する試みがなされている。また、例えば、ＯＬＥＤ（ＯｒｇａｎｉｃＬｉｇｈｔＥｍｉｔｔｉｎｇＤｉｏｄｅ）の製造に用いられる、微小な貫通孔を有する金属マスクは、ＯＬＥＤの高精細化に伴い、孔幅１５μｍ以下の微細化の要求がある。
【０００６】
ところで、ドライフィルムレジストの露光方法には、例えば、コンタクト露光方式、プロキシミティー露光方式、及び、投影露光方式の３つの方式がある。これらの露光方式のうち、コンタクト露光方式は、比較的安価な露光機を使用し、生産性が高く、かつ、比較的高い解像性が得られる露光方式である。コンタクト露光方式では、マスクからレジストまでの距離、すなわち、露光ギャップが短いほど、画像のボケが少なく、マスクに忠実な解像度の高い画像が得られる。そのため、高解像度のレジストパターンを形成するために、露光前に仮支持体を剥離除去することで露光ギャップを短くしてから露光を行う試みがなされている。
【０００７】
しかし、例えば、仮支持体の面上に感光性樹脂層を有する感光性転写材料の場合、露光前に仮支持体を剥離除去してから露光を行うと、仮支持体の剥離により露出した感光性樹脂層の表面にマスクが貼り付いてしまい、搬送等の作業性が低下する場合がある。感光性樹脂層とマスクとの接着を防ぐためには、例えば、感光性転写材料を、仮支持体と感光性樹脂層との間に熱可塑性樹脂層、中間層等の別の層を有する構成とし、仮支持体を剥離する際に仮支持体と感光性樹脂層との間で剥離させないことが考えられる。
【０００８】
本開示は、上記のような事情に鑑みてなされたものである。
本開示の一実施形態が解決しようとする課題は、仮支持体と感光性樹脂層との間に熱可塑性樹脂層及び中間層を有し、仮支持体を剥離する際に熱可塑性樹脂層と中間層との間で剥離し、かつ、熱可塑性樹脂層と中間層との間の剥離性に優れる感光性転写材料を提供することである。
本開示の他の実施形態が解決しようとする課題は、上記感光性転写材料の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するための具体的な手段には、以下の実施態様が含まれる。
＜１＞仮支持体と、共重合ポリエステル樹脂を含む熱可塑性樹脂層と、中間層と、感光性樹脂層と、をこの順に有する感光性転写材料。
＜２＞上記熱可塑性樹脂層は、塗布膜である＜１＞に記載の感光性転写材料。
＜３＞上記熱可塑性樹脂層と上記中間層とが接している＜１＞又は＜２＞に記載の感光性転写材料。
＜４＞上記熱可塑性樹脂層と上記中間層との剥離力が、１００ｍＮ／ｃｍ以下である＜３＞に記載の感光性転写材料。
＜５＞上記共重合ポリエステル樹脂は、数平均分子量が３０００以上３００００以下の範囲であり、かつ、ガラス転移温度が－２０℃以上８０℃以下の範囲である＜１＞～＜４＞のいずれか１つに記載の感光性転写材料。
＜６＞上記中間層は、ポリビニルアルコールを含む塗布膜である＜１＞～＜５＞のいずれか１つに記載の感光性転写材料。
＜７＞上記感光性樹脂層が、ケイ素を含む界面活性剤を含む＜１＞～＜６＞のいずれか１つに記載の感光性転写材料。
＜８＞上記熱可塑性樹脂層が、ケイ素を含む界面活性剤を含む＜１＞～＜７＞のいずれか１つに記載の感光性転写材料。
＜９＞仮支持体上に、共重合ポリエステル樹脂を含む熱可塑性樹脂層と、中間層と、感光性樹脂層と、をこの順に塗布乾燥により形成する工程を含む感光性転写材料の製造方法。
＜１０＞保護フィルム上に、感光性樹脂層と、中間層と、共重合ポリエステル樹脂を含む熱可塑性樹脂層と、をこの順に塗布乾燥により形成する工程と、
上記熱可塑性樹脂層に、仮支持体を熱ラミネートにより貼り合わせる工程と、
を含む感光性転写材料の製造方法。
【発明の効果】
【００１０】
本開示の一実施形態によれば、仮支持体と感光性樹脂層との間に熱可塑性樹脂層及び中間層を有し、仮支持体を剥離する際に熱可塑性樹脂層と中間層との間で剥離し、かつ、熱可塑性樹脂層と中間層との間の剥離性に優れる感光性転写材料が提供される。
本開示の他の実施形態によれば、上記感光性転写材料の製造方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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