特許ウォッチ

公開番号2025043378
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-31
出願番号2024129845
出願日2024-08-06
発明の名称炉芯管保持装置
出願人元烽企業有限公司,金元國際科技有限公司
代理人個人,個人,個人
主分類B25H 3/04 20060101AFI20250324BHJP(手工具;可搬型動力工具;手工具用の柄;作業場設備;マニプレータ)
要約【課題】半導体熱処理用炉芯管の装着安定性を向上させられる炉芯管保持装置の提供。
【解決手段】少なくとも1つの炉芯管を保持する炉芯管保持装置であって、炉芯管の少なくとも一部を受け入れて保持することができるカーブ状収容部11が形成される保持本体1と、カーブ状収容部11の形状に沿って延伸するようにカーブ状収容部11の周縁から突出する接続部材21及び減衰部材22を有する振動減衰構造2と、を備え、減衰部材22は、減衰部221と、減衰部221から保持本体1側へ延伸して減衰部221と共に接続部材21を受け入れて保持する受入溝223を画成する1対の挟持部222と、を有し、受入溝223に進入する接続部材21を1対の挟持部222で挟んで保持する。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
少なくとも１つの炉芯管を保持する炉芯管保持装置であって、
前記炉芯管の少なくとも一部を受け入れて保持することができるカーブ状収容部が形成される保持本体と、
前記カーブ状収容部の形状に沿って延伸するように前記カーブ状収容部の周縁から突出する接続部材及び減衰部材を有する振動減衰構造と、を備え、
前記減衰部材は、前記接続部材の前記保持本体から離れた側に取り付けられると共に、前記炉芯管に当接することができる減衰部と、前記減衰部から前記保持本体側へ延伸して前記減衰部と共に前記接続部材を受け入れて保持する受入溝を画成する１対の挟持部と、を有し、前記受入溝に進入する前記接続部材を前記１対の挟持部で挟んで保持することで前記減衰部を前記カーブ状収容部に固定する、炉芯管保持装置。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
１対の前記挟持部が前記接続部材を挟む方向である前記接続部材の厚さ方向における前記接続部材の厚さは、前記保持本体の前記厚さ方向における厚さより小であり、
１対の前記挟持部はそれぞれ、前記受入溝に前記接続部材が受け入れられている状態において前記減衰部から前記保持本体に当接するまで延伸するように構成されている、請求項１に記載の炉芯管保持装置。
【請求項３】
前記減衰部は前記カーブ状収容部の周縁に沿って延伸する中空のチューブである、請求項１に記載の炉芯管保持装置。
【請求項４】
前記減衰部材は、前記減衰部の前記保持本体に面しない側においてそれぞれ突起して且つ前記カーブ状収容部の周縁と平行に延伸すると共に、前記接続部材の厚さ方向において互いに間を開けて配置される１対のリブを更に有する、請求項１に記載の炉芯管保持装置。
【請求項５】
各前記挟持部の前記受入溝に面する内側面には、前記保持本体側から前記接続部材側へ斜めに突起する係合タブが形成されており、
前記接続部材が前記受入溝内に進入する際、各前記係合タブは前記接続部材の圧迫を受けて変形すると共に、前記接続部材と各前記挟持部との間の隙間を塞ぐ、請求項１に記載の炉芯管保持装置。
【請求項６】
前記振動減衰構造は、１対の前記挟持部が前記接続部材を挟む方向である前記接続部材の厚さ方向における前記接続部材の両側にそれぞれ前記接続部材と平行して前記カーブ状収容部の周縁に沿って延伸する２つの制限壁を更に有し、
２つの前記制限壁はそれぞれ前記接続部材と共に２つの前記挟持部がそれぞれ進入できる制限溝を画成することにより、
２つの前記挟持部は各前記制限溝においてそれぞれ１つの前記制限壁と前記接続部材との間に保持されるので、
前記減衰部材をより安定に前記カーブ状収容部に取り付けることができる、請求項１に記載の炉芯管保持装置。
【請求項７】
１対の前記挟持部が前記接続部材を挟む方向である前記接続部材の厚さ方向が上下方向もしくは水平方向に一致する、請求項１に記載の炉芯管保持装置。
【請求項８】
１つの前記保持本体に２つの前記振動減衰構造が、１対の前記挟持部が前記接続部材を挟む方向である前記接続部材の厚さ方向において並ぶように配置されており、
１つの前記炉芯管の２箇所を２つの前記振動減衰構造で保持する、請求項１に記載の炉芯管保持装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体熱処理用炉芯管を保持する炉芯管保持装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
従来の半導体熱処理用炉芯管は保管キャビネットの中に取り付けられる炉芯管保持装置に保持されることによって、直立もしくは水平などの姿勢で保管されることができる。例えば、特許文献１に記載される炉芯管保管システムにおける保持台は、通常では脆いクォーツ材料により作成される炉芯管を保護するために、表面に緩衝パッドなどを装着するが、しかし、緩衝パッド自体の装着や粘着が不確実だと、炉芯管に十分な保護を提供することができない上、炉芯管を安定に保持できない可能性もある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
台湾実用新案登録第Ｍ５７３５１１Ｕ号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従って、本発明は半導体熱処理用炉芯管の装着安定性を向上させられる炉芯管保持装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成すべく、本発明の炉芯管保持装置は、少なくとも１つの炉芯管を保持するものであり、前記炉芯管の少なくとも一部を受け入れて保持することができるカーブ状収容部が形成される保持本体と、前記カーブ状収容部の形状に沿って延伸するように前記カーブ状収容部の周縁から突出する接続部材及び減衰部材を有する振動減衰構造と、を備え、前記減衰部材は、前記接続部材の前記保持本体から離れた側に取り付けられると共に、前記炉芯管に当接することができる減衰部と、前記減衰部から前記保持本体側へ延伸して前記減衰部と共に前記接続部材を受け入れて保持する受入溝を画成する１対の挟持部と、を有し、前記受入溝に進入する前記接続部材を前記１対の挟持部で挟んで保持することで前記減衰部を前記カーブ状収容部に固定する。
【発明の効果】
【０００６】
本発明は保持本体から突出する接続部材が１対の挟持部と減衰部とにより画成される受入溝に挿入する構成により、減衰部材は保持本体に安定且つ確実に取り付けられるので、減衰部材に設置される炉芯管に十分な保護を提供するできる上、炉芯管を安定に保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
保管キャビネット内に適用される本発明の炉芯管保持装置の実施例が炉芯管を保持する様子が示される上面図である。
本発明の炉芯管保持装置の実施例の構成が示される斜視図である。
同実施例の分解斜視図である。
図３に対応する一部拡大分解斜視図である。
図２における線Ｖ－Ｖに沿った断面図である。
本発明の炉芯管保持装置の変化例が示される側面図である。
同変化例の構成が示される斜視図である。
同変化例の構成が示される分解斜視図である。
図７における線ＩＸ－ＩＸに沿った断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
図１と図２に本発明の炉芯管保持装置１００の実施例が示されている。図示のように、炉芯管保持装置１００は保管キャビネット８内に配置されるのに適するように構成されると共に、少なくとも１つの炉芯管９を保管キャビネット８内に保持するのに用いられる。
【０００９】
この実施例において（図１参照）、炉芯管保持装置１００は炉芯管９の少なくとも一部を受け入れて保持することができるカーブ状収容部１１が形成される保持本体１と、保持本体１に配置される振動減衰構造２と、を備える。
【００１０】
図示のように、保持本体１は板状であり、保管キャビネット８の内壁面から突起するように保存チェスト８に装着されており、そして保管キャビネット８から突起する先端において炉芯管９の少なくとも一部を受け入れて保持するように凹陥するカーブ状収容部１１が複数（この実施例では８つ）形成されている。なお、カーブ状収容部１１の数としては特に制限はなく、１つのみ形成されることも可能である。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許