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公開番号2025040625
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-25
出願番号2023147544
出願日2023-09-12
発明の名称インダクタ部品
出願人株式会社村田製作所
代理人個人,個人
主分類H01F 27/32 20060101AFI20250317BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】インダクタ配線を配置できる領域を大きくする。
【解決手段】インダクタ部品は、第1主面を有する素体と、第1層間絶縁層31と、配線間絶縁層32と、インダクタ配線50と、を備えている。第1層間絶縁層31は、素体内で第1主面に対して平行に延びている。配線間絶縁層32は、第1層間絶縁層31から第1主面に直交する第1正方向X1に延びている。インダクタ配線50は、配線間絶縁層32で区画される領域内において延びている。インダクタ配線50の中心線に直交する特定断面において、配線間絶縁層32は、第1主面に沿う方向に非連続で複数箇所存在している。第1層間絶縁層31の外面のうち、第1主面に平行な方向を向く面を端面EFとし、配線間絶縁層32の各箇所のうち第1主面に平行な方向を向く面が素体に接触している箇所を外側絶縁層32Aとしたとする。このとき、外側絶縁層32Aは、第1層間絶縁層31の端面EFに接触している。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
主面を有する素体と、
前記素体内で前記主面に対して平行に延びる層間絶縁層と、
前記層間絶縁層から前記主面に直交する第１正方向に延びる配線間絶縁層と、
前記配線間絶縁層で区画される領域内において前記層間絶縁層に対して前記第１正方向側で延びるインダクタ配線と、
を備え、
前記インダクタ配線の中心線に直交する特定断面において、前記配線間絶縁層は、前記主面に沿う方向に非連続で複数箇所存在しており、
前記層間絶縁層の外面のうち、前記主面に平行な方向を向く面を端面とし、
前記配線間絶縁層の前記各箇所のうち、前記主面に平行な方向を向く面が前記素体に接触している箇所を外側絶縁層としたとき、
前記外側絶縁層は、前記層間絶縁層の前記端面に接触している
インダクタ部品。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記外側絶縁層は、前記層間絶縁層の前記端面に加えて前記層間絶縁層の前記第１正方向を向く面に接触している
請求項１に記載のインダクタ部品。
【請求項３】
前記配線間絶縁層の前記各箇所のうち、前記主面に平行な方向を向く面が前記素体に接触していない箇所を内側絶縁層としたとき、
前記特定断面において、前記外側絶縁層と前記内側絶縁層との前記主面に平行な方向の間隔は、前記内側絶縁層同士の前記主面に平行な方向の間隔よりも大きい
請求項１に記載のインダクタ部品。
【請求項４】
前記インダクタ配線に電気的に接続し、前記主面に対して交差する方向に延びる柱状配線を備えており、
前記柱状配線は、前記インダクタ配線に対して前記第１正方向側に位置している
請求項１に記載のインダクタ部品。
【請求項５】
前記インダクタ配線は、前記層間絶縁層に対して前記第１正方向側に接触するシード層を有している
請求項１に記載のインダクタ部品。
【請求項６】
前記第１正方向とは反対方向を第１負方向とし、
前記外側絶縁層のうち、前記第１正方向において前記層間絶縁層と同じ位置にある部分を接触端部としたとき、
前記接触端部の外面のうち前記層間絶縁層とは反対側の外面は、前記第１負方向に向かうほど前記層間絶縁層に近づく傾斜面になっている
請求項１に記載のインダクタ部品。
【請求項７】
前記インダクタ配線を第１インダクタ配線とし、前記層間絶縁層を第１層間絶縁層とし、前記配線間絶縁層を第１配線間絶縁層とし、前記外側絶縁層を第１外側絶縁層としたとき、
前記第１インダクタ配線及び前記第１配線間絶縁層における前記第１正方向側の面上を延びる第２層間絶縁層と、
前記第２層間絶縁層から前記第１正方向に延びる第２配線間絶縁層と、
前記第２配線間絶縁層で区画される領域内において前記第２層間絶縁層に対して第１正方向側で延びる第２インダクタ配線と、
を備え、
前記特定断面において、前記第２配線間絶縁層は、前記主面に沿う方向に非連続で複数箇所存在しており、
前記第２層間絶縁層の外面のうち、前記主面に平行な方向を向く面を端面とし、
前記第２配線間絶縁層の前記各箇所のうち、前記主面に平行な方向を向く面が前記素体に接触している箇所を第２外側絶縁層としたとき、
前記第２外側絶縁層は、前記第２層間絶縁層の前記端面及び前記第１外側絶縁層の前記素体側を向く面に接触している
請求項１に記載のインダクタ部品。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、インダクタ部品に関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１に記載のインダクタ部品は、素体と、基板と、樹脂壁と、コイルと、を備えている。素体は、直方体状である。素体は、磁性材を含んでいる。基板は、板状である。基板は、素体の内部に位置している。樹脂壁は、基板の主面上に位置している。樹脂壁は、当該主面の法線方向に延びている。基板の主面の法線に沿う断面の断面視において、樹脂壁は、間隔をおいて複数並んでいる。ここで、当該断面視において、樹脂壁の並び方向における樹脂壁の寸法を厚さ寸法とする。このとき、当該断面視において、樹脂壁の並び方向で最も外側に位置する樹脂壁の厚さ寸法は、内側に位置する樹脂壁の厚さ寸法よりも大きい。コイルは、基板の主面上に位置している。コイルは、隣り合う樹脂壁の間に充填されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１６－２２５４６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の発明では、最も外側に位置する樹脂壁の厚さ寸法が大きい分だけ、素体内に占める樹脂壁の体積割合が大きい。そのため、素体内に占めるコイルの体積割合を大きくしにくい。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するため、本発明は、主面を有する素体と、前記素体内で前記主面に対して平行に延びる層間絶縁層と、前記層間絶縁層から前記主面に直交する第１正方向に延びる配線間絶縁層と、前記配線間絶縁層で区画される領域内で前記層間絶縁層の前記第１正方向側の面に接触して延びるインダクタ配線と、を備え、前記インダクタ配線の中心線に直交する特定断面において、前記配線間絶縁層は、前記主面に沿う方向に非連続で複数箇所存在しており、前記層間絶縁層の外面のうち、前記主面に平行な方向を向く面を端面とし、前記配線間絶縁層の前記各箇所のうち、前記主面に平行な方向を向く面が前記素体に接触している箇所を外側絶縁層としたとき、前記外側絶縁層は、前記層間絶縁層の前記端面に接触しているインダクタ部品である。
【発明の効果】
【０００６】
上記構成によれば、インダクタ配線を配置できる領域を大きくできる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
図１は、インダクタ部品の斜視図である。
図２は、インダクタ部品の透過側面図である。
図３は、インダクタ部品の透過上面図である。
図４は、図３における４－４線に沿うインダクタ部品の断面図である。
図５は、図４における一部を拡大した図である。
図６は、インダクタ部品の製造方法の説明図である。
図７は、インダクタ部品の製造方法の説明図である。
図８は、インダクタ部品の製造方法の説明図である。
図９は、インダクタ部品の製造方法の説明図である。
図１０は、インダクタ部品の製造方法の説明図である。
図１１は、インダクタ部品の製造方法の説明図である。
図１２は、インダクタ部品の製造方法の説明図である。
図１３は、インダクタ部品の製造方法の説明図である。
図１４は、インダクタ部品の製造方法の説明図である。
図１５は、インダクタ部品の製造方法の説明図である。
図１６は、インダクタ部品の製造方法の説明図である。
図１７は、インダクタ部品の製造方法の説明図である。
図１８は、インダクタ部品の製造方法の説明図である。
図１９は、インダクタ部品の製造方法の説明図である。
図２０は、インダクタ部品の製造方法の説明図である。
図２１は、インダクタ部品の製造方法の説明図である。
図２２は、インダクタ部品の製造方法の説明図である。
図２３は、変更例のインダクタ部品の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、インダクタ部品の一実施形態を、図面を参照して説明する。なお、図面は、理解を容易にするために構成要素を拡大して示している場合がある。構成要素の寸法比率は実際のものと、又は別の図面中のものと異なる場合がある。
【０００９】
＜全体構成について＞
図１に示すように、インダクタ部品１０は、全体として略直方体状である。図２に示すように、インダクタ部品１０は、素体１１と、インダクタ配線５０と、を備えている。
【００１０】
図１に示すように、素体１１は、６つの平面状の外面を有している。これら６つの外面のうち、特定の１つの面を第１主面１１Ａとする。また、第１主面１１Ａと反対側に位置し、第１主面１１Ａと平行な面を第２主面１１Ｂとする。第１主面１１Ａの外形及び第２主面１１Ｂの外形は、いずれも長方形状である。なお、本実施形態において、第１主面１１Ａは、インダクタ部品１０を基板に実装する際に基板と向かい合う実装面である。
（【００１１】以降は省略されています）

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