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公開番号2025040093
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-24
出願番号2023146788
出願日2023-09-11
発明の名称保持装置
出願人日本特殊陶業株式会社
代理人弁理士法人暁合同特許事務所
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250314BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】流出口から流出する気体の流速を均一にすることができる保持装置を提供する。
【解決手段】保持装置100は、対象物Wを保持する第1表面S1と、第1表面S1に交わる第1方向において第1表面S1の反対側に位置する第2表面S2と、第1表面S1と第2表面S2とに通じ気体が流通するガス流路12と、を有する板状部材10と、ガス流路12に配される第1多孔部71及び第2多孔部72と、を備え、ガス流路12は、第1表面S1に開口し、第1方向に延びる第1縦ガス流路13及び第2縦ガス流路14を備え、第1多孔部71は、第1縦ガス流路13に配され、第2多孔部72は、第2縦ガス流路14に配され、第1多孔部71よりも第1方向における長さが長い。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
対象物を保持する第１表面と、前記第１表面に交わる第１方向において前記第１表面の反対側に位置する第２表面と、前記第１表面と前記第２表面とに通じ気体が流通するガス流路と、を有する板状部材と、
前記ガス流路に配される第１多孔部及び第２多孔部と、を備え、
前記ガス流路は、前記第１表面に開口し、前記第１方向に延びる第１縦ガス流路及び第２縦ガス流路を備え、
前記第１多孔部は、前記第１縦ガス流路に配され、
前記第２多孔部は、前記第２縦ガス流路に配され、前記第１多孔部よりも前記第１方向における長さが長い、保持装置。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記ガス流路は、前記第１表面に沿った第２方向に延び、前記第１縦ガス流路及び前記第２縦ガス流路のそれぞれの前記第２表面側に接続した横ガス流路を備え、
前記第１多孔部の前記第２表面側の端部は、前記横ガス流路を構成する内壁のうち前記第１表面側に位置する第１内壁と面一となる位置又は前記第１内壁よりも前記第１表面側に配され、
前記第２多孔部の前記第２表面側の端部は、前記第１内壁よりも前記第２表面側に配されている、請求項１に記載の保持装置。
【請求項３】
前記ガス流路は、前記第１表面に沿った第２方向に延び、前記第１縦ガス流路及び前記第２縦ガス流路のそれぞれの前記第２表面側に接続した横ガス流路を備え、
前記第２多孔部は、
前記第２縦ガス流路に配される縦多孔部と、
前記縦多孔部に連なり前記横ガス流路において前記第２方向に延びた横多孔部と、を備える、請求項１または請求項２に記載の保持装置。
【請求項４】
前記第２多孔部は、前記第１多孔部の気孔率よりも低い気孔率を有する、請求項１または請求項２に記載の保持装置。
【請求項５】
前記第１多孔部及び前記第２多孔部は、前記板状部材に接している、請求項１または請求項２に記載の保持装置。
【請求項６】
前記板状部材は、
前記第１表面と前記第２表面とを貫通する貫通孔と、
前記第１表面において、前記貫通孔の周りに設けられた突部と、を備え、
前記第１縦ガス流路は、前記突部の近傍に配されている、請求項１または請求項２に記載の保持装置。
【請求項７】
前記ガス流路は、前記第２表面に開口し、気体が流入する流入口を備え、
前記第２縦ガス流路は、前記第１縦ガス流路よりも、前記流入口に近い位置に配されている、請求項１または請求項２に記載の保持装置。
【請求項８】
前記ガス流路は、
前記第２表面に開口し、気体が流入する流入口と、
前記流入口に連なり、平面視において前記板状部材の中心側に配され、自身の先端にて複数の流路に分岐する中央流路と、
前記複数の流路のうち、前記中央流路の先端から前記流入口に近づく方向に延びる近接流路と、
前記複数の流路のうち、前記中央流路の先端から前記流入口から遠ざかる方向に延びる離間流路と、を備え、
前記第１縦ガス流路は、前記近接流路に接続し、
前記第２縦ガス流路は、前記離間流路に接続している、請求項１または請求項２に記載の保持装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、保持装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、保持装置として、特許文献１に記載の技術が知られている。特許文献１に記載の保持装置（プラズマ処理装置）は、ウェハを吸着保持するための静電チャックを備え、静電チャックは、その上面に形成された複数の流出孔と、流出孔に通ずるガス流路と、を備える。Ｈｅガスを、ガス流路に接続した伝熱ガス導入管に流すと、このＨｅガスはガス流路を通じて、複数の流出孔から吹き出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開平９－２８９２０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に開示の構成では、流出口（流出孔）の位置、流出口近傍の構造、ガス流路の経路等によって、吹き出される気体の流速が各流出口同士で異なったり、静電チャックの上面において気体の広がり方にムラが生じたりする虞がある。
【０００５】
本開示は上記のような事情に基づいて完成された技術であって、流出口から流出する気体の流速を均一にすることができる保持装置を提供することを目的の一つとする。また、流出口から流出する気体を均一に広げることができ、ウェハの温度を均一化することが可能である保持装置を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の保持装置は、対象物を保持する第１表面と、前記第１表面に交わる第１方向において前記第１表面の反対側に位置する第２表面と、前記第１表面と前記第２表面とに通じ気体が流通するガス流路と、を有する板状部材と、前記ガス流路に配される第１多孔部及び第２多孔部と、を備え、前記ガス流路は、前記第１表面に開口し、前記第１方向に延びる第１縦ガス流路及び第２縦ガス流路を備え、前記第１多孔部は、前記第１縦ガス流路に配され、前記第２多孔部は、前記第２縦ガス流路に配され、前記第１多孔部よりも前記第１方向における長さが長い。
【発明の効果】
【０００７】
本開示によれば、流出口から流出する気体の流速を均一にすることができる保持装置の提供が可能となる。また、流出口から流出する気体を均一に広げることができ、ウェハの温度を均一化することが可能である保持装置の提供が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
実施形態１に係る保持装置の概略構成を模式的に表した説明図
保持装置の内部構造を模式的に表した断面図
板状部材のガス流路の一部を拡大した断面図
実施形態２に係る保持装置の平面図
実施形態３に係る保持装置の平面図（ガス流路を模式的に示す）
実施形態４に係る保持装置の平面図（ガス流路を模式的に示す）
実施形態５に係る保持装置の平面図（ガス流路を模式的に示す）
【発明を実施するための形態】
【０００９】
最初に本開示の実施形態を列挙して説明する。
（１）本開示の保持装置は、対象物を保持する第１表面と、前記第１表面に交わる第１方向において前記第１表面の反対側に位置する第２表面と、前記第１表面と前記第２表面とに通じ気体が流通するガス流路と、を有する板状部材と、前記ガス流路に配される第１多孔部及び第２多孔部と、を備え、前記ガス流路は、前記第１表面に開口し、前記第１方向に延びる第１縦ガス流路及び第２縦ガス流路を備え、前記第１多孔部は、前記第１縦ガス流路に配され、前記第２多孔部は、前記第２縦ガス流路に配され、前記第１多孔部よりも前記第１方向における長さが長い。
【００１０】
（２）（１）に記載の保持装置において、前記ガス流路は、前記第１表面に沿った第２方向に延び、前記第１縦ガス流路及び前記第２縦ガス流路のそれぞれの前記第２表面側に接続した横ガス流路を備え、前記第１多孔部の前記第２表面側の端部は、前記横ガス流路を構成する内壁のうち前記第１表面側に位置する第１内壁と面一となる位置又は前記第１内壁よりも前記第１表面側に配され、前記第２多孔部の前記第２表面側の端部は、前記第１内壁よりも前記第２表面側に配されていてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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