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公開番号2025039123
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-21
出願番号2023145978
出願日2023-09-08
発明の名称熱伝導部材および熱伝導部材の製造方法
出願人日本電気株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 23/36 20060101AFI20250313BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】熱伝導率が高く、かつ、放熱器を安定に保持できる熱伝導部材及びその製造方法を提供する。
【解決手段】熱伝導部材100は、平板状の第1の伝熱板10と、第1の伝熱板10と対向して配置される平板状の第2の伝熱板20と、第1の伝熱板10と第2の伝熱板20との間に配置される高熱伝導流体30と、高熱伝導流体30を封止する伸縮性シート40と、を有する。これにより、第1の伝熱板10の主面と第2の伝熱板20の主面とが平行に近い状態を保ったまま、厚さの変動が可能な熱伝導部材を構成できる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
平板状の第１の伝熱板と、
前記第１の伝熱板と対向して配置される平板状の第２の伝熱板と、
前記第１の伝熱板と前記第２の伝熱板との間に配置される高熱伝導流体と、
前記高熱伝導流体を封止する伸縮性シートと、
を有することを特徴とする熱伝導部材。
続きを表示（約 990 文字）【請求項２】
前記第１の伝熱板の前記第２の伝熱板と対向する面の第１の部分に、前記伸縮性シートが固定され、
前記第２の伝熱板の前記第１の伝熱板と対向する面の第２の部分に、前記伸縮性シートが固定されている、
ことを特徴とする請求項１に記載の熱伝導部材。
【請求項３】
前記第１の部分が、前記第１の伝熱板の外周部であり、
前記第２の部分が、前記第２の伝熱板の外周部である、
ことを特徴とする請求項２に記載の熱伝導部材。
【請求項４】
前記第１の伝熱板の前記第２の伝熱板と反対側の面の第３の部分に、前記伸縮性シートが固定され、
前記第２の伝熱板の前記第１の伝熱板と反対側の面の第４の部分に、前記伸縮性シートが固定されている、
ことを特徴とする請求項１に記載の熱伝導部材。
【請求項５】
前記第３の部分が、前記第１の伝熱板の外周部であり、
前記第４の部分が、前記第２の伝熱板の外周部である、
ことを特徴とする請求項４に記載の熱伝導部材。
【請求項６】
前記第１の伝熱板と前記第２の伝熱板のうちの一方の、他方に対向する面の第５の部分に、前記伸縮性シートが固定され、
前記他方の、前記一方に対向する面と反対側の面の第６の部分に、前記伸縮性シートが固定されている、
ことを特徴とする請求項１に記載の熱伝導部材。
【請求項７】
前記伸縮性シートがゴムである、
ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の熱伝導部材。
【請求項８】
前記高熱伝導流体が液体金属である、
ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の熱伝導部材。
【請求項９】
前記第１の伝熱板を前記第２の伝熱板から遠ざける方向に付勢するばねを備える、
ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の熱伝導部材。
【請求項１０】
平板状の第１の伝熱板と、平板状の第２の伝熱板とを対向して配置し、
前記第１の伝熱板と前記第２の伝熱板との間に高熱伝導流体を配置し、
伸縮性シートで前記高熱伝導流体を封止する、
ことを特徴とする熱伝導部材の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、熱伝導部材および熱伝導部材の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、ＩＣ（ＩｎｔｅｇｒａｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔ）などの電子部品の高集積化と高速化が進んでいる。これに伴い、ＩＣ等の電子部品からの発熱量が増大している。このため、より効率の良い電子部品の冷却技術が求められている。
【０００３】
電子部品の冷却においては、電子部品がヒートシンクやヒートパイプなどの放熱器へ熱的に接続されるのが一般的である。この際、電子部品と放熱器との間に、ＴＩＭ（ＴｈｅｒｍａｌＩｎｔｅｒｆａｃｅＭａｔｅｒｉａｌ）と呼称される熱伝導材料（熱伝導部材）が配置される。ＴＩＭによって、電子部品と放熱器との熱伝導が確保される。このため、熱伝導性に優れたＴＩＭが検討されている。
【０００４】
例えば、特許文献１には、ＴＩＭとして用いられる熱伝導性ゲルパックの技術が開示されている。この熱伝導性ゲルパックは、第一の層と、第二の層と、熱伝導性ポリマーゲルとを備える。第一の層は、ポリマーフィルム又は熱テープを含む。第二の層は、ポリマーフィルムを含む。そして、第一の層と第二の層とによって形成された従順なパッケージ内に、熱伝導性ポリマーゲルが封入されている。なお、特許文献１において、「従順」は、小さい力で接合面の外形に適合する撓み特性を持つこととされている。そして、熱伝導性ゲルパックが接合面に適合することで、優れた熱伝導性が実現されるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
実用新案登録第３１９１１５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１では、熱伝導性ゲルパックが小さな力で撓む材料で形成されている。このため、熱伝導性ゲルパック上に取り付けられた放熱器の位置を安定に保てないという問題があった。
【０００７】
本開示は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、熱伝導率が高く、かつ、放熱器を安定に保持できる熱伝導部材等を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するため、本開示の熱伝導部材は、平板状の第１の伝熱板と、前記第１の伝熱板と対向して配置される平板状の第２の伝熱板と、前記第１の伝熱板と前記第２の伝熱板との間に配置される高熱伝導流体と、前記高熱伝導流体を封止する伸縮性シートと、を有する。
【０００９】
また、本開示の熱伝導部材の製造方法は、平板状の第１の伝熱板と、平板状の第２の伝熱板とを対向して配置し、前記第１の伝熱板と前記第２の伝熱板との間に高熱伝導流体を配置し、伸縮性シートで前記高熱伝導流体を封止する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の効果は、熱伝導率が高く、かつ、放熱器を安定に保持できる熱伝導部材等を提供できることである。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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