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公開番号2025037295
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-18
出願番号2023144117
出願日2023-09-06
発明の名称洗浄方法および洗浄液
出願人株式会社荏原製作所,国立大学法人九州工業大学
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/304 20060101AFI20250311BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】洗浄対象に付着した除去対象粒子を効率よく除去できるようにする。
【解決手段】直径が1μm以上であり、洗浄対象に付着した除去対象粒子の除去を促進する粗大粒子が分散された洗浄液を、回転する前記洗浄対象に供給することによって洗浄を行う洗浄工程を含む洗浄方法が提供される。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
直径が１μｍ以上であり、洗浄対象に付着した除去対象粒子の除去を促進する粗大粒子が分散された洗浄液を、回転する前記洗浄対象に供給することによって洗浄を行う洗浄工程を含む洗浄方法。
続きを表示（約 760 文字）【請求項２】
洗浄対象に付着した除去対象粒子より大きく、前記除去対象粒子の除去を促進する粗大粒子が分散された洗浄液を、回転する前記洗浄対象に供給することによって洗浄を行う洗浄工程を含む洗浄方法。
【請求項３】
前記除去対象粒子が電気的または物理的に前記粗大粒子に付着することにより、前記除去対象粒子が前記洗浄対象から脱離する、請求項１または２に記載の洗浄方法。
【請求項４】
前記粗大粒子が前記洗浄対象の近傍にある洗浄液を攪拌することにより、前記除去対象粒子が前記洗浄対象から脱離する、請求項１または２に記載の洗浄方法。
【請求項５】
前記粗大粒子が前記洗浄対象に衝突することにより、前記除去対象粒子が前記洗浄対象から脱離する、請求項１または２に記載の洗浄方法。
【請求項６】
前記粗大粒子は、アクリル、シリカ、ジルコニア、アルミナまたはポリプロピレンの粒子である、請求項１または２に記載の洗浄方法。
【請求項７】
前記粗大粒子は、前記除去対象粒子とは異なる極性に帯電した粒子である、請求項１または２に記載の洗浄方法。
【請求項８】
前記洗浄対象の温度と、前記洗浄液の温度と、の差が大きくなるよう前記洗浄対象および／または前記洗浄液の温度を調整する温度調整工程を含む、請求項１または２に記載の洗浄方法。
【請求項９】
前記洗浄液に超音波振動を与える超音波振動付与工程を含む、請求項１または２に記載の洗浄方法。
【請求項１０】
前記洗浄工程では、前記洗浄液に加え、液体と気体の混合流体を前記洗浄対象に供給する、請求項１または２に記載の洗浄方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は洗浄方法および洗浄液に関し、特に基板洗浄方法および基板洗浄用の洗浄液に関する。
続きを表示（約 1,000 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、平均分散粒径が１０ｎｍ以上１００ｎｍ未満である有機重合体粒子を含有する、化学機械研磨後に使用するための洗浄用組成物が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００８－４７８４２号公報
特開２０１１－１６５７５１号公報
特表２０１２－５３１７４８号公報
特開平２－２５２２３７号公報
特許第６１１２３３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
洗浄対象に付着した除去対象粒子を効率よく除去できるようにする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一態様によれば、
［１］
直径が１μｍ以上であり、洗浄対象に付着した除去対象粒子の除去を促進する粗大粒子が分散された洗浄液を、回転する前記洗浄対象に供給することによって洗浄を行う洗浄工程を含む洗浄方法が提供される。
【０００６】
本発明の一態様によれば、
［２］
洗浄対象に付着した除去対象粒子より大きく、前記除去対象粒子の除去を促進する粗大粒子が分散された洗浄液を、回転する前記洗浄対象に供給することによって洗浄を行う洗浄工程を含む洗浄方法が提供される。
【０００７】
［３］
［１］または［２］に記載の洗浄方法において、
前記除去対象粒子が電気的または物理的に前記粗大粒子に付着することにより、前記除去対象粒子が前記洗浄対象から脱離することがある。
【０００８】
［４］
［１］乃至［３］のいずれかに記載の洗浄方法において、
前記粗大粒子が前記洗浄対象の近傍にある洗浄液を攪拌することにより、前記除去対象粒子が前記洗浄対象から脱離することがある。
【０００９】
［５］
［１］乃至［４］のいずれかに記載の洗浄方法において、
前記粗大粒子が前記洗浄対象に衝突することにより、前記除去対象粒子が前記洗浄対象から脱離することがある。
【００１０】
［６］
［１］乃至［５］のいずれかに記載の洗浄方法において、
前記粗大粒子は、アクリル、シリカ、ジルコニア、アルミナまたはポリプロピレンの粒子であってよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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