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公開番号2025033328
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-13
出願番号2023138978
出願日2023-08-29
発明の名称フリージョイント構造、押し引き装置、および基板処理モジュール
出願人株式会社荏原製作所
代理人個人,個人,個人,個人
主分類F16D 3/04 20060101AFI20250306BHJP(機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段)
要約【課題】ピストンロッドとシャフトとの間のずれを吸収することができるフリージョイント構造が提供される。
【解決手段】フリージョイント構造200は、押し引き力発生部230と、対象負荷部240と、を備える。
【選択図】図7
特許請求の範囲【請求項１】
押し引き力を発生させる押し引き力発生部と、
前記押し引き力発生部に連結され、かつ前記押し引き力発生部からの押し引き力が付与される対象負荷部と、を備え、
前記押し引き力発生部は、前記対象負荷部に点接触することにより、押し力を前記対象負荷部に付与し、前記対象負荷部に面接触することにより、引き力を前記対象負荷部に付与するように構成されている、フリージョイント構造。
続きを表示（約 950 文字）【請求項２】
前記フリージョイント構造は、前記押し引き力発生部と前記対象負荷部との間に形成された軸方向隙間および半径方向隙間を有している、請求項１に記載のフリージョイント構造。
【請求項３】
前記フリージョイント構造は、前記軸方向隙間の大きさを調整するシムを備えている、請求項２に記載のフリージョイント構造。
【請求項４】
前記対象負荷部は、
前記押し引き力発生部に対向して配置された押圧平面部と、
前記押圧平面部の反対側に配置され、かつ、前記押し引き力発生部が挿入された開口を有する開口平面部と、を備えており、
前記押し引き力発生部は、
前記押圧平面部に点接触する球面部と、
前記開口平面部に面接触する平面フランジ部と、を備えている、請求項１に記載のフリージョイント構造。
【請求項５】
前記球面部および前記平面フランジ部は、互いに反対側に配置されている、請求項４に記載のフリージョイント構造。
【請求項６】
前記球面部は、前記押圧平面部に対向して配置されており、
前記平面フランジ部は、前記開口平面部に対向して配置されている、請求項４に記載のフリージョイント構造。
【請求項７】
前記対象負荷部は、前記押圧平面部および前記開口平面部の間に配置されたスペーサを備えている、請求項４に記載のフリージョイント構造。
【請求項８】
請求項１～請求項７のいずれか一項に記載のフリージョイント構造と、
前記フリージョイント構造に連結されたエアベアリングシリンダと、を備える、押し引き装置。
【請求項９】
請求項８に記載の押し引き装置と、
前記押し引き装置に連結されたシャフトと、
前記シャフトに接続され、かつ基板または研磨パッドを処理する処理部材と、を備える、基板処理モジュール。
【請求項１０】
前記処理部材は、前記基板を研磨する研磨ヘッドおよび前記研磨パッドをドレッシングするドレッサのうちの少なくとも１つに相当する、請求項９に記載の基板処理モジュール。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、フリージョイント構造、押し引き装置、および基板処理モジュールに関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
対象物を押し引きする押し引き機構の駆動源の一例として、エアシリンダが挙げられる。エアシリンダは、ピストンロッドと、ピストンロッドを収容するシリンダハウジングと、を備えている。シリンダハウジング内に圧縮気体を供給することにより、ピストンロッドは、前進移動し、エアシリンダとは別個に設けられた付勢部材（例えば、ばね）の付勢力により、後進移動するように構成されている。
【０００３】
エアシリンダの他の構成例として、圧縮気体のみでピストンロッドを前進移動および後進移動させる構成を挙げることができる。このようなエアシリンダは、例えば、付勢部材を有しておらず、シリンダハウジング内に配置された隔壁を介して、対向する空間に圧縮気体を供給／排出する構成を有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特許第７０２３５９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このような構成を有するエアシリンダでは、ピストンロッドは、その移動に起因して、シリンダハウジング（より具体的には、ガイド部）に摺動してしまうおそれがある。このようにして、ピストンロッドとシリンダハウジングとの間に摺動摩擦が発生すると、ピストンロッドの移動を精度よく制御することができないおそれがある。
【０００６】
そこで、このような問題を解決するために、シリンダハウジング内に供給された圧縮気体でピストンロッドを支持するエアベアリングを採用したエアベアリングシリンダが存在する。しかしながら、このようなエアベアリングシリンダでは、ピストンロッドを支持するラジアル剛性が低いという問題がある。
【０００７】
ピストンロッドと、対象物が接続されたシャフトと、は、ジョイント部材を介して連結される場合がある。この場合、低いラジアル剛性を有するエアベアリングシリンダでは、ピストンロッドとシャフトとの間にずれ（すなわち、偏芯、偏角）に起因して、ピストンロッドがシリンダハウジングに接触するおそれがある。その一方で、ピストンロッドと、シャフトと、を寸分の狂いなく、ジョイント部材を介して連結することは多大な時間と手間がかかってしまい、現実的ではない。
【０００８】
そこで、本発明は、ピストンロッドとシャフトとの間のずれを吸収することができるフリージョイント構造、押し引き装置、および基板処理モジュールを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
一態様では、押し引き力を発生させる押し引き力発生部と、前記押し引き力発生部に連結され、かつ前記押し引き力発生部からの押し引き力が付与される対象負荷部と、を備えるフリージョイント構造が提供される。前記押し引き力発生部は、前記対象負荷部に点接触することにより、押し力を前記対象負荷部に付与し、前記対象負荷部に面接触することにより、引き力を前記対象負荷部に付与するように構成されている。
【００１０】
一態様では、前記フリージョイント構造は、前記押し引き力発生部と前記対象負荷部との間に形成された軸方向隙間および半径方向隙間を有している。
一態様では、前記フリージョイント構造は、前記軸方向隙間の大きさを調整するシムを備えている。
一態様では、前記対象負荷部は、前記押し引き力発生部に対向して配置された押圧平面部と、前記押圧平面部の反対側に配置され、かつ、前記押し引き力発生部が挿入された開口を有する開口平面部と、を備えており、前記押し引き力発生部は、前記押圧平面部に点接触する球面部と、前記開口平面部に面接触する平面フランジ部と、を備えている。
（【００１１】以降は省略されています）

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