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公開番号2025032347
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-11
出願番号2024220235,2023122404
出願日2024-12-16,2016-03-18
発明の名称プローバ
出願人株式会社東京精密
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/66 20060101AFI20250304BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】より効率のよい検査を行うことができるプローバを提供する。
【解決手段】プローバ10は、複数のプローブが配置されたプローブカードPCをウエハWに当接して電気的特性を検査する測定部14と、プローブカードPCに電気的に接続されたテストヘッド44と、を備え、テストヘッド44をメンテナンスするためのメンテナンスエリアA2は、測定部44にウエハWを搬送するための搬送エリアA1とは測定部14を挟んで反対側に配置され、プローブカードPCを搬送エリアA1側及びメンテナンスエリアA2側の双方から測定部44に装填可能に構成される。
【選択図】図8
特許請求の範囲【請求項１】
ウエハ上に形成された半導体素子の電気的特性を検査するプローバであって、
複数のプローブが配置されたプローブカードを前記ウエハに当接して電気的特性を検査する測定部と、
前記プローブカードに電気的に接続されたテストヘッドと、
を備え、
前記テストヘッドをメンテナンスするためのメンテナンスエリアは、前記測定部に前記ウエハを搬送するための搬送エリアとは前記測定部を挟んで反対側に配置され、
前記プローブカードを前記搬送エリア側及び前記メンテナンスエリア側の双方から前記測定部に装填可能に構成される、
プローバ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ上に形成された複数の半導体素子（チップ）の電気的特性の検査を行うプローバに関し、特に、被メンテナンス装置をメンテナンスエリア側に引き出す引出機構を備えたプローバに関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、複数の測定部（セル）と、各測定部へ搬送物（ウエハ）を搬送する搬送機構（ローダ）と、ポゴフレーム（被メンテナンス装置）を側方向に引き出す引出機構（移動機構）と、を備えたプローバ（ウエハ検査装置）が提案されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載のプローバによれば、ポゴフレームの上方に配置されたテストヘッドを移動機構によって上昇させてポゴフレームから離間させた状態で、ポゴフレームを側方向に引き出す構成であるため、ポゴフレームを側方向へ引き出す際、ポゴフレームのポゴピンがテストヘッドと擦れることに起因するポゴピンの折損等を防止することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１４－１７９３７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載のプローバにおいては、被メンテナンス装置の引出方向と搬送物の搬送方向とをどのような関係とするのが望ましいかについては一切提案されていない。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、被メンテナンス装置及び被メンテナンス装置を引き出す引出機構を備えた複数の測定部と、搬送物の搬送先の測定部にアクセス可能な位置まで移動して搬送物を搬送先の測定部内に搬送する搬送ユニットと、を備えたプローバにおいて、高精度が求められる被メンテナンス装置の位置決めの際に考慮しなくてはならないアッベ誤差を抑制すること（又は無くすこと）を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明のプローバは、搬送エリアとメンテナンスエリアとの間に配置された複数の測定部であって、ウエハ上に形成された半導体素子の検査の際に用いられる被メンテナンス装置と、前記被メンテナンス装置を前記メンテナンスエリア側に引き出す引出機構と、を備えた複数の測定部と、搬送物を収納する筐体を備え、前記搬送エリア内において前記搬送物の搬送先の測定部にアクセス可能な位置まで移動して前記搬送物を前記搬送先の測定部内に搬送する搬送ユニットと、を備え、前記被メンテナンス装置の引出方向と前記搬送物の搬送方向とが一直線状である。
【０００７】
本発明のプローバの一態様において、前記被メンテナンス装置を昇降させる昇降機構をさらに備え、前記引出機構は、前記昇降機構によって所定位置まで上昇された前記被メンテナンス装置を前記メンテナンスエリア側に引き出すように構成されている。
【０００８】
本発明のプローバの一態様において、前記被メンテナンス装置は、テストヘッド及びその下方に配置されたポゴフレームのうち少なくとも一方である。
【０００９】
本発明のプローバの一態様において、前記被メンテナンス装置は、テストヘッド及びその下方に配置されたポゴフレームのうち少なくとも一方であり、前記昇降機構は、前記ポゴフレームのポゴピンが電気的に接続されるポゴピン接続位置とその上方のテストヘッド引出位置との間で前記テストヘッドを昇降させるテストヘッド昇降機構、及び、プローブカードのプローブが電気的に接続されるプローブ接続位置とその上方のポゴフレーム引出位置との間で前記ポゴフレームを昇降させるポゴフレーム昇降機構のうち少なくとも一方であり、前記引出機構は、前記テストヘッド引出位置まで上昇された前記テストヘッドを前記メンテナンスエリア側に引き出すテストヘッド引出機構、及び、前記ポゴフレーム引出位置まで上昇された前記ポゴフレームを前記メンテナンスエリア側に引き出すポゴフレーム引出機構のうち少なくとも一方である。
【００１０】
本発明のプローバの一態様において、前記テストヘッド昇降機構は、前記テストヘッドを昇降させるテストヘッド用シリンダを含み、前記ポゴフレーム昇降機構は、前記ポゴフレームを昇降させるポゴフレーム用シリンダを含む。
（【００１１】以降は省略されています）

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