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公開番号2025012185
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-24
出願番号2023114838
出願日2023-07-13
発明の名称搬送装置、レーザ照射装置、搬送方法、及び有機ELディスプレイ装置の製造方法
出願人JSWアクティナシステム株式会社
代理人個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250117BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】適切に基板を搬送することができる搬送装置、レーザ照射装置、搬送方法、半導体装置の製造方法を提供することである。
【解決手段】本実施の形態にかかる搬送装置6は、搬送方向に前記基板を移動する搬送ユニットを備え、搬送ユニットが、基板を保持する保持機構と、保持機構が連結されたベルト709と、ベルト709が掛け回されたプーリ716と、プーリ716とベルト709との接触部分を覆うカバー715と、を備え、接触部分で発生した塵を集塵するために、カバー715内の空間を排気する排気手段を備えている。
【選択図】図8
特許請求の範囲【請求項１】
レーザ光を基板に照射するために、前記基板を搬送する搬送装置であって、
搬送方向に前記基板を移動する搬送ユニットを備え、
前記搬送ユニットが、
前記基板を保持する保持機構と、
前記保持機構が連結されたベルトと、
前記ベルトが掛け回されたプーリと、
前記プーリを回転させる駆動機構と、
前記プーリと前記ベルトとの接触部分を覆うカバーと、を備え、
前記接触部分で発生した塵を集塵するために、前記カバー内の空間を排気する排気手段を備えた搬送装置。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記カバーに取り付けられた集塵機構を備え、
前記集塵機構に前記カバー内の空気を排気するための吸引口が設けられている請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記集塵機構には、前記プーリに向けて気体を噴出する噴出口が設けられている請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記駆動機構の回転軸と直交する平面視において、前記ベルトが巻き回された空間内に前記集塵機構が配置されている請求項２、又は３に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記保持機構には、前記ベルトに対して気体を噴出する噴出機構が設けられている請求項１～３のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項６】
前記基板をその上面で浮上する浮上ユニットをさらに備え、
前記基板上において、前記レーザ光がライン状に形成されたラインビームとなっている請求項１～３のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項７】
レーザ光を基板に照射するために、前記基板を搬送する搬送装置であって、
搬送方向に前記基板を移動する搬送ユニットを備え、
前記搬送ユニットが、
前記基板を保持する保持機構と、
前記保持機構が連結されたベルトと、
前記ベルトが掛け回されたプーリと、
前記プーリを回転させる駆動機構と、
前記プーリと前記ベルトとの接触部分を覆うカバーと、
前記プーリに気体を噴出する噴出機構と、を備えた搬送装置。
【請求項８】
レーザ光を基板に照射するために、前記基板を搬送する搬送装置であって、
搬送方向に前記基板を移動する搬送ユニットを備え、
前記搬送ユニットが、
前記基板を保持する保持機構と、
前記保持機構が連結されたベルトと、
前記ベルトが掛け回されたプーリと、
前記プーリを回転させる駆動機構と、
前記保持機構に設けられ、前記ベルトに気体を噴出する噴出機構と、を備えた搬送装置。
【請求項９】
レーザ光を基板に照射するために、前記基板を搬送する搬送方法であって、
（Ａ）搬送ユニットが、前記基板を移動するステップを備え、
前記搬送ユニットが、
前記基板を保持する保持機構と、
前記保持機構が連結されたベルトと、
前記ベルトが掛け回されたプーリと、
前記プーリを回転させる駆動機構と、
前記プーリと前記ベルトとの接触部分を覆うカバーと、を備え、
前記接触部分で発生した塵を集塵するために、前記カバー内の空間を排気する搬送方法。
【請求項１０】
前記カバーには集塵機構が取り付けられており、
前記集塵機構に前記カバー内の空気を排気するための吸引口が設けられている請求項９に記載の搬送方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、搬送装置、レーザ照射装置、搬送方法、及び有機ＥＬディスプレイ装置の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、ライン状にレーザ光を基板に照射するレーザ照射装置が開示されている。このレーザ照射装置は、基板を浮上する浮上ユニットと、浮上ユニット上の基板を吸着保持する保持機構と、保持機構を搬送方向に移動する移動機構とを備えている。上面視において、矩形状の浮上ユニットの端辺にそれぞれ移動機構が設けられている。４つの移動機構が基板を循環搬送している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第６８８７２３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このようなレーザ照射装置に用いられる搬送装置では、基板を適切に搬送することが望まれる。
【０００５】
その他の課題と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
一実施の形態によれば、搬送装置は、レーザ光を基板に照射するために、前記基板を搬送する搬送装置であって、搬送方向に前記基板を移動する搬送ユニットを備え、前記搬送ユニットが、前記基板を保持する保持機構と、前記保持機構が連結されたベルトと、前記ベルトが掛け回されたプーリと、前記プーリを回転させる駆動機構と、前記プーリと前記ベルトとの接触部分を覆うカバーと、を備え、前記接触部分で発生した塵を集塵するために、前記カバー内の空間を排気する排気手段を備えている。
【０００７】
一実施の形態によれば、搬送装置は、レーザ光を基板に照射するために、前記基板を搬送する搬送装置であって、搬送方向に前記基板を移動する搬送ユニットを備え、前記搬送ユニットが、前記基板を保持する保持機構と、前記保持機構が連結されたベルトと、前記ベルトが掛け回されたプーリと、前記プーリを回転させる駆動機構と、前記プーリと前記ベルトとの接触部分を覆うカバーと、前記プーリに気体を噴出する噴出機構と、を備えている。
【０００８】
一実施の形態によれば、搬送装置は、レーザ光を基板に照射するために、前記基板を搬送する搬送装置であって、搬送方向に前記基板を移動する搬送ユニットを備え、前記搬送ユニットが、前記基板を保持する保持機構と、前記保持機構が連結されたベルトと、前記ベルトが掛け回されたプーリと、前記プーリを回転させる駆動機構と、前記保持機構に設けられ、前記ベルトに気体を噴出する噴出機構と、を備えている。
【０００９】
一実施の形態によれば、搬送方法は、レーザ光を基板に照射するために、前記基板を搬送する搬送方法であって、（Ａ）搬送ユニットが、前記基板を移動するステップを備え、前記搬送ユニットが、前記基板を保持する保持機構と、前記保持機構が連結されたベルトと、前記ベルトが掛け回されたプーリと、前記プーリを回転させる駆動機構と、前記プーリと前記ベルトとの接触部分を覆うカバーと、を備え、前記接触部分で発生した塵を集塵するために、前記カバー内の空間を排気する。
【００１０】
一実施の形態によれば、搬送方法は、レーザ光を基板に照射するために、前記基板を搬送する搬送方法であって、（Ａ）搬送ユニットが、前記基板を移動するステップを備え、前記搬送ユニットが、前記基板を保持する保持機構と、前記保持機構が連結されたベルトと、前記ベルトが掛け回されたプーリと、前記プーリを回転させる駆動機構と、前記プーリと前記ベルトとの接触部分を覆うカバーと、前記プーリに気体を噴出する噴出機構と、を備えている。
（【００１１】以降は省略されています）

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