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公開番号2025006540
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-17
出願番号2023107401
出願日2023-06-29
発明の名称搬送車
出願人株式会社ダイフク
代理人弁理士法人R&C
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250109BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】吊下保持された容器の横揺れを抑制できるとともに、当該横揺れの抑制のための機構の容器との接触による摩耗を少なく抑えることができる搬送車を提供する。
【解決手段】容器(7)を吊り下げた状態で搬送する搬送車は、吊下保持された容器(7)の容器外側面(71a)に当接して容器(7)の横揺れを抑制する横揺れ抑制装置(60)を備える。横揺れ抑制装置(60)は、容器外側面(71a)に当接して回転自在な当接ローラ(62)を備える。当接ローラ(62)の外周面(62a)の、容器(7)の凸状部(71P)に対応する領域に、全周に亘って連続的に延びる凹溝(62G)が形成されている。
【選択図】図10
特許請求の範囲【請求項１】
容器を吊り下げた状態で搬送する搬送車であって、
吊下保持された前記容器の容器外側面に当接して前記容器の横揺れを抑制する横揺れ抑制装置を備え、
前記横揺れ抑制装置は、前記容器外側面に当接して回転自在な当接ローラを備え、
前記当接ローラの外周面の、前記容器における前記容器外側面とは区別された部位であって少なくとも上下いずれかの側に隣接する他の部位に比べて外側に突出する部位である凸状部に対応する領域に、全周に亘って連続的に延びる凹溝が形成されている、搬送車。
続きを表示（約 670 文字）【請求項２】
前記当接ローラが前記容器外側面に当接した状態で、前記当接ローラの回転軸心が、前記容器外側面の中心軸と平行である、請求項１に記載の搬送車。
【請求項３】
前記横揺れ抑制装置は、
前記当接ローラを支持する支持機構と、
前記当接ローラを、前記容器外側面に当接する当接姿勢と、前記容器外側面から離間する離間姿勢と、に姿勢変化させる支持駆動部と、を備え、
前記支持機構は、前記当接姿勢で、前記当接ローラを前記容器外側面に押し付ける側に付勢するように構成されている、請求項１に記載の搬送車。
【請求項４】
前記容器の底面よりも下側に配置されて前記容器の落下を規制する落下規制部材と、
前記落下規制部材を、上下方向視で前記容器と重複する位置に突出する突出姿勢と、前記容器と重複しない位置に退避した退避姿勢と、に姿勢変化させる出退駆動部と、を備え、
前記落下規制部材は、前記当接ローラの姿勢変化に連動して、前記当接ローラが前記当接姿勢となるのに伴って前記突出姿勢となり、前記当接ローラが前記離間姿勢となるのに伴って前記退避姿勢となるように構成されている、請求項３に記載の搬送車。
【請求項５】
前記当接ローラの外周面が弾性部材で構成されている、請求項１から４のいずれか一項に記載の搬送車。
【請求項６】
前記横揺れ抑制装置が、前記当接ローラの回転を選択的に規制するブレーキを備える、請求項１から４のいずれか一項に記載の搬送車。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送車に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば半導体製造工場等において、ウェハやレチクル等を収容する容器を搬送する搬送車が利用されている。このような搬送車の一例が、特開２０１７－８８３３２号公報（特許文献１）に開示されている。特許文献１の搬送車（天井搬送車１）は、天井に設置されたレールに沿って走行するように構成されており、容器（ＦＯＵＰ５０）を吊下保持した状態で搬送する。また、特許文献１の搬送車は、吊下保持された容器が搬送中に横揺れするのを抑制するための横揺れ抑制装置（揺れ抑制装置３０）を備えている。
【０００３】
特許文献１の横揺れ抑制装置は、当該特許文献１の図４～図１０に示されているように、アーム機構（第１アーム３２、第２アーム３４）と、アーム機構に設けられた当接機構（付勢部材３６、押圧機構３７、回転部４０、規制部４２ａ，４２ｂ）とを備えている。そして、横揺れ抑制装置は、アーム機構の姿勢変化に伴い、当接機構が容器の下部側面に当接する状態と、離間する状態とが切り替わる構成となっている。なお、当接機構は、容器の幅方向への揺れに伴って回転部４０が回転するとともに、回転部４０が所定角度以上回転しそうになったときにそれを規制部４２ａ，４２ｂが規制する構造である。
【０００４】
このように、特許文献１の横揺れ抑制装置では、回転部４０が容器の側面に当接することで容器の揺れを抑制する構造であるが、当該特許文献１の段落００３６に記載されているように、回転部４０はウレタン等の材料で構成されている。このため、容器の側面の形状によっては、回転部４０に摩耗が生じ、粉塵などの発生原因となる可能性があった。しかし、特許文献１では、そのような回転部４０の摩耗について特段の考慮はされていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１７－８８３３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
そこで、吊下保持された容器の横揺れを抑制できるとともに、当該横揺れの抑制のための機構の容器との接触による摩耗を少なく抑えることができる搬送車の実現が望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示に係る搬送車は、
容器を吊り下げた状態で搬送する搬送車であって、
吊下保持された前記容器の容器外側面に当接して前記容器の横揺れを抑制する横揺れ抑制装置を備え、
前記横揺れ抑制装置は、前記容器外側面に当接して回転自在な当接ローラを備え、
前記当接ローラの外周面の、前記容器における前記容器外側面とは区別された部位であって少なくとも上下いずれかの側に隣接する他の部位に比べて外側に突出する部位である凸状部に対応する領域に、全周に亘って連続的に延びる凹溝が形成されている。
【０００８】
この構成によれば、容器外側面に当接する当接ローラを回転自在に設けることで、吊下保持された容器が搬送中に横揺れするのを抑制することができる。このとき、容器外側面に凸状部がある場合に、当接ローラの外周面が凸状部に接触して局所的に摩耗する懸念があるが、凸状部に対応する領域には全周に亘って連続的に延びる凹溝が形成されているので、当接ローラは容器の凸状部に接触しない。このため、当接ローラの摩耗による粉塵等の発生量を少なく抑えることができる。これらのことから、吊下保持された容器の横揺れを抑制できるとともに、容器との接触による当接ローラの摩耗を少なく抑え、粉塵等の発生量を少なく抑えることができる。
【０００９】
本開示に係る技術のさらなる特徴と利点は、図面を参照して記述する以下の例示的かつ非限定的な実施形態の説明によってより明確になるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
実施形態の搬送車の斜視図
搬送車の正面図
搬送車の側面図
容器の正面図
容器の側面図
保持装置の平面図
保持装置の正面図
支持部及び遮蔽部材の姿勢変化を示す側面図
落下規制装置及び横揺れ抑制装置の姿勢変化を示す平面図
落下規制装置及び横揺れ抑制装置を側方から見た図
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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