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公開番号2025011893
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-24
出願番号2023114304
出願日2023-07-12
発明の名称静電チャック、基板固定装置
出願人新光電気工業株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250117BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】セラミックス製の2種類の基体を簡易な方法で積層した静電チャックを提供する。
【解決手段】本静電チャックは、第1基体と、第1接着層を介して前記第1基体上に積層された第2基体と、前記第2基体に内蔵された静電電極と、を有し、前記第1基体は、酸化アルミニウムセラミックスであり、前記第2基体は、前記第1基体よりも酸化アルミニウムの純度が高い酸化アルミニウムセラミックスである。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
第１基体と、
第１接着層を介して前記第１基体上に積層された第２基体と、
前記第２基体に内蔵された静電電極と、を有し、
前記第１基体は、酸化アルミニウムセラミックスであり、
前記第２基体は、前記第１基体よりも酸化アルミニウムの純度が高い酸化アルミニウムセラミックスである、静電チャック。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記第１基体に導電体が内蔵されている、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項３】
前記第１基体の外周部と前記第２基体の外周部とが対向する領域に、前記第１接着層が存在しない環状の第１空隙が形成され、
前記第１空隙に第１シール材が配置されている、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項４】
前記第１基体の外周部に前記第２基体から離れる方向に窪む環状の第１溝が設けられ、
前記第１溝と前記第２基体の外周部とが対向する領域に、前記第１接着層が存在しない環状の第１空隙が形成され、
前記第１空隙に第１シール材が配置されている、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項５】
前記第２基体の外周部に前記第１基体から離れる方向に窪む環状の第２溝が設けられ、
前記第２溝と前記第１基体の外周部とが対向する領域に、前記第１接着層が存在しない環状の第１空隙が形成され、
前記第１空隙に第１シール材が配置されている、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項６】
前記第１基体の外周部に前記第２基体から離れる方向に窪む環状の第１溝が設けられ、
前記第２基体の外周部に前記第１基体から離れる方向に窪む環状の第２溝が設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが対向する領域に、前記第１接着層が存在しない環状の第１空隙が形成され、
前記第１空隙に第１シール材が配置されている、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項７】
ベースプレートと、
前記ベースプレート上に第２接着層を介して搭載された請求項１乃至６の何れか一項に記載の静電チャックと、を有する基板固定装置。
【請求項８】
前記第２接着層は、前記第１接着層よりも厚い、請求項７に記載の基板固定装置。
【請求項９】
前記第１基体の外周部と前記ベースプレートの外周部とが対向する領域に、前記第２接着層が存在しない環状の第２空隙が形成され、
前記第２空隙に第２シール材が配置されている、請求項７に記載の基板固定装置。
【請求項１０】
前記第１基体の前記ベースプレートと対向する面において、外周部と中央部とは同一平面上にあり、
前記ベースプレートの前記第１基体と対向する面において、外周部と中央部とは同一平面上にある、請求項７に記載の基板固定装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電チャック、及び基板固定装置に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、ＩＣやＬＳＩ等の半導体装置を製造する際に使用される成膜装置（例えば、ＣＶＤ装置やＰＶＤ装置等）やプラズマエッチング装置は、ウェハを真空の処理室内に精度良く保持するためのステージを有する。
【０００３】
このようなステージとして、例えば、ベースプレートに搭載された静電チャックにより、吸着対象物であるウェハを吸着保持する基板固定装置が提案されている。
【０００４】
基板固定装置に搭載される静電チャックの一例として、セラミックス製の２種類の基体が積層されたものがある。２種の基体は、例えば、高温融着により一体形成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開平１０－１０７１３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、高温融着は１０００℃以上の高温環境下で行ったり、融着対象となる部材の表面活性化処理を行ったり、表面粗さを極めて小さくしたりする必要があるため、簡易な積層方法ではない。
【０００７】
本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであり、セラミックス製の２種類の基体を簡易な方法で積層した静電チャックを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本静電チャックは、第１基体と、第１接着層を介して前記第１基体上に積層された第２基体と、前記第２基体に内蔵された静電電極と、を有し、前記第１基体は、酸化アルミニウムセラミックスであり、前記第２基体は、前記第１基体よりも酸化アルミニウムの純度が高い酸化アルミニウムセラミックスである。
【発明の効果】
【０００９】
開示の技術によれば、セラミックス製の２種類の基体を簡易な方法で積層した静電チャックを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
第１実施形態に係る基板固定装置を簡略化して例示する断面図である。
第１実施形態の変形例１に係る基板固定装置を簡略化して例示する断面図である。
第１実施形態の変形例２に係る基板固定装置を簡略化して例示する断面図である。
第１実施形態の変形例３に係る基板固定装置を簡略化して例示する断面図である。
第１実施形態の変形例４に係る基板固定装置を簡略化して例示する断面図である。
第１実施形態の変形例５に係る基板固定装置を簡略化して例示する断面図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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