特許ウォッチ

公開番号2025011012
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-23
出願番号2023201191
出願日2023-11-29
発明の名称トップオープンタイプの基板容器の保持装置
出願人家登精密工業股ふん有限公司,GUDENG PRECISION INDUSTRIAL CO.,LTD
代理人個人,個人,個人
主分類H01L 21/673 20060101AFI20250116BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】本発明は、トップオープンタイプの基板容器の保持装置を提供する。
【解決手段】本発明は、基板アクチュエータを押すように動作しするのに用いられる保持アセンブリを含み、基板アクチュエータは、基板の外側に設けられるトップオープンタイプの基板容器の保持装置を提供する。保持アセンブリは、保持本体と、押し出しアクチュエータとを含み、押し出しアクチュエータは、容器門体の内表面の第二ガイド傾斜面を当接することにより、第二ガイド傾斜面との間で対応するように押し出して変位させるのに用いられる第一ガイド傾斜面と、第一ガイド傾斜面に接続され、かつ第一ガイド傾斜面の押し出し変位の程度に応じて、基板アクチュエータを対応して押し出すことにより、基板アクチュエータが基板を変位させるとともに、基板が互いに積み重ねられて位置決めされる押し出し部とを含む。
【選択図】図2B

特許請求の範囲【請求項１】
トップオープンタイプの基板容器は、容器本体と容器門体を含み、前記容器門体は、前記容器本体と組み合わせることにより収納空間を形成し、前記収納空間は、複数の基板を収納するために用いられるトップオープンタイプの基板容器の保持装置であって、
前記保持装置は、
前記基板の外側に設けられる基板アクチュエータと、
前記基板アクチュエータを押すように動作し、前記収納空間に設けられる保持アセンブリと、を含み、
前記保持アセンブリは、
前記容器本体の内側に設けられる保持本体と、
前記保持本体に設けられる押し出しアクチュエータと、を含み、
前記押し出しアクチュエータは、
前記容器門体の内表面の第二ガイド傾斜面を押し出すために用いられる第一ガイド傾斜面と、
前記基板アクチュエータを対応して前記第一ガイド傾斜面に接続される押し出し部と、を含み、
前記第一ガイド傾斜面は、前記容器門体の当接力に応じて、前記第一ガイド傾斜面と前記第二ガイド傾斜面との間で対応するように押し出して変位させ、
前記押し出し部は、前記第一ガイド傾斜面の押し出し変位の程度に応じて、前記基板アクチュエータを押し出すことにより、前記基板アクチュエータは、複数の前記基板が互いに積み重ねられて位置決めされるまで、前記基板を変位させる、ことを特徴とするトップオープンタイプの基板容器の保持装置。
続きを表示（約 1,400 文字）【請求項２】
前記保持本体は、傾斜ガイド溝を含み、前記押し出しアクチュエータは、前記押し出し部に接続されたガイド部を含み、
前記ガイド部は、前記傾斜ガイド溝に凸設され、前記ガイド部は、前記容器門体の前記当接力に応じて前記傾斜ガイド溝において対応して変位することにより、前記押し出しアクチュエータは、前記保持本体に近づいたり離れたりする、ことを特徴とする請求項１に記載の保持装置。
【請求項３】
保持アセンブリは、前記保持本体と前記押し出しアクチュエータとの間に設けられた弾性部材とをさらに含み、
前記弾性部材は、前記容器門体の前記当接力に応じて、前記ガイド部が前記傾斜ガイド溝に沿って前記保持本体から離れる方向に変位し、又は前記ガイド部が前記傾斜ガイド溝に沿って前記保持本体に近づく方向に変位する、弾性的な変化量を提供するように設けられる、ことを特徴とする請求項２に記載の保持装置。
【請求項４】
前記基板アクチュエータは、
前記基板の前記外側に固定的に接続された接続部と、
前記接続部に接続された弾性変形部と、
前記弾性変形部の片側に設けられる第一固定部と、を含み、
前記弾性変形部は、前記押し出し部の位置に対応し、前記押し出し部の押し出し変位の程度に応じて前記基板を押し出すための変位量を提供し、
前記第一固定部は、隣接する前記基板の第二固定部を固定するために用いられる、ことを特徴とする請求項１に記載の保持装置。
【請求項５】
前記容器本体の内表面の底部にはさらに、底部位置決め部を含み、
前記基板は、前記底部位置決め部に対応する基板位置決め部材を有し、
前記底部位置決め部は、前記収納空間内で前記内表面の底部に最も近い位置にある前記基板を位置決めするために用いられる、ことを特徴とする請求項１に記載の保持装置。
【請求項６】
前記容器本体の内表面の底部はさらに、底部係合具を含み、
前記底部係合具は、前記収納空間において前記内表面の底部に最も近い前記基板と、その上に設けられた前記基板アクチュエータとの間に係合固定を行うために用いられる、ことを特徴とする請求項１に記載の保持装置。
【請求項７】
各前記基板の上、下表面は、積み重ね固定部を有し、隣接する前記基板は、前記積み重ね固定部によって互いに層状に積み重ねて固定される、ことを特徴とする請求項１に記載の保持装置。
【請求項８】
さらに、少なくとも１つの弾性当接部を含み、前記弾性当接部は、前記基板上の半導体ワークピースに対して弾性的に当接して搭載するよう、前記基板の底側に設けられている、ことを特徴とする請求項１に記載の保持装置。
【請求項９】
前記弾性当接部は、固定端と、弾性当接アームとを含み、
前記固定端は、前記基板の前記底側に取り外し可能に設けられ、
前記弾性当接アームの一端は、前記固定端に接続され、前記弾性当接アームの他端は、前記半導体ワークピースのエッジ表面を弾性的に押圧する、ことを特徴とする請求項８に記載の保持装置。
【請求項１０】
前記容器本体の内側壁には、前記収納空間に収容された前記基板の方向を制限するための位置ずれ防止部材が設けられている、ことを特徴とする請求項１に記載の保持装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、保持装置、特に、搭載された基板を安定的に保持し、損傷を防ぐことができるだけでなく、様々な搭載の基板数量を調整することができるトップオープンタイプの基板容器の保持装置を提供する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
工業上の電子部品関連のシート状製品、例えば回路基板、ウェハー、ガラスなどのシート状半導体ワークピースは、保護、搭載、輸送のために容器に収容されることがよくある。これらの電子部品関連製品や半導体プロセス関連部材のシート状の半導体ワークピースを搭載する容器には、適切に設計された基板容器の保護手段及び保持装置が必要である。これにより、容器の内部に搭載されている半導体ワークピースの損傷を防ぐことができる。
【０００３】
基板ワークピースの基板を損傷させる一般的な要因としては、振動や摩擦による摩耗、傷、粒子又は粉塵の汚染、あるいは容器や容器内部構造の不安定さによる基板の揺れ、跳ね上がり、落下による基板同士の衝突や破損などがある。そのため、搭載、運搬、輸送のプロセスにおいて基板の品質及び歩留まりが低下し、半導体ワークピース製品の基板が損傷を受けてしまう。そこで、業界では、如何に複数層の基板を安定的に保持して、基板間の振動、衝突、変位、摩擦等の問題を避けるのが解決すべきニーズが非常に高い課題であるとされている。
【０００４】
さらに、現在の基板容器の搭載空間設計の規格では、積み重ねられた所定の基板の数量に限定されており、その機能及びサイズは単一であり、基板容器は、様々な搭載の基板数量に応じて新たに金型を製造する必要があり、コストが高く、使用利用率が低いだけでなく、基板を確実に保持する機能もない。
【０００５】
また、従来の基板容器で、搭載する基板のサイズが大きいとき又は数量が多い場合、全体重量が比較的重くなるため、基板容器を覆う門体が運搬過程において重心が原因で重量が集中し落下することがあるため、門体の変形や気密性に悪影響を及ぼす可能性がある。したがって、搭載する重量が比較的重い基板容器という条件でも気密性を維持できる発明を提供することは、難易度が非常に高い課題である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記の課題を鑑みて、本発明で提供するトップオープンタイプの基板容器の保持装置は、複数層の基板を安定的に押し出して固定し、気密性を維持し、様々な搭載の基板数量に応じて共有可能な容器の諸多機能性を兼ね備え、また、基板間の振動、移動、摩擦の問題を防ぐための課題の解決方案を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一実施態様は、
トップオープンタイプの基板容器は、容器本体と容器門体を含み、容器門体は、容器本体と組み合わせることにより収納空間を形成し、収納空間は、複数の基板を収納するために用いられるトップオープンタイプの基板容器の保持装置であって、保持装置は、基板の外側に設けられる基板アクチュエータと、基板アクチュエータを押すように動作し、収納空間に設けられる保持アセンブリとを含み、保持アセンブリは、容器本体の内側に設けられる保持本体と、保持本体に設けられる押し出しアクチュエータとを含み、押し出しアクチュエータは、容器門体の内表面の第二ガイド傾斜面を押し出すために用いられる第一ガイド傾斜面と、基板アクチュエータを対応して第一ガイド傾斜面に接続される押し出し部とを含み、第一ガイド傾斜面は、容器門体の当接力に応じて、第一ガイド傾斜面と第二ガイド傾斜面との間で対応するように押し出して変位させ、押し出し部は、第一ガイド傾斜面の押し出し変位の程度に応じて、基板アクチュエータを押し出すことにより、基板アクチュエータは、複数の基板が互いに積み重ねられて位置決めされるまで、基板を変位させることを特徴とするトップオープンタイプの基板容器の保持装置を提供する。
【０００８】
一実施例において、保持本体は、傾斜ガイド溝を含み、押し出しアクチュエータは、押し出し部に接続されたガイド部を含み、ガイド部は、傾斜ガイド溝に凸設され、ガイド部は、容器門体の当接力に応じて傾斜ガイド溝において対応して変位することにより、押し出しアクチュエータは、保持本体に近づいたり離れたりすることができる。
【０００９】
一実施例において、保持アセンブリは、保持本体と押し出しアクチュエータとの間に設けられた弾性部材とをさらに含み、前記弾性部材は、容器門体の当接力に応じて、ガイド部が傾斜ガイド溝に沿って保持本体から離れる方向に変位し、又はガイド部が傾斜ガイド溝に沿って保持本体に近づく方向に変位する、弾性的な変化量を提供するように設けられる。
【００１０】
一実施例において、基板アクチュエータは、基板の外側に固定的に接続された接続部と、接続部に接続された弾性変形部と、弾性変形部の片側に設けられる第一固定部とを含み、弾性変形部は、押し出し部の位置に対応し、押し出し部の押し出し変位の程度に応じて基板を押し出すための変位量を提供し、第一固定部は、隣接する基板の第二固定部を固定するために用いられる。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許