特許ウォッチ

公開番号2025009440
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-20
出願番号2023112448
出願日2023-07-07
発明の名称表示装置の製造方法及び蒸着マスク
出願人株式会社ジャパンディスプレイ
代理人弁理士法人スズエ国際特許事務所
主分類C23C 14/04 20060101AFI20250110BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】製造歩留まりを向上した表示装置を提供する。
【解決手段】表示装置の製造方法は、蒸着源を加熱することにより、前記蒸着源から蒸着マスクを介して、基板上に有機EL材料を蒸着させ、有機EL層を形成する、表示装置の製造方法であって、前記蒸着マスクは、複数の薄膜領域と、保持枠と、を備え、複数の薄膜領域は、それぞれ、複数のマスク領域と、接続領域と、を有し、前記複数の薄膜領域は、それぞれ、プロペラ形状を有し、前記複数のマスク領域は、それぞれ、円形形状を有し、前記複数のマスク領域のそれぞれは、複数の開口領域を備える。
【選択図】図13
特許請求の範囲【請求項１】
複数のパネル領域を備える基板を、基板キャリア上に配置し、
前記基板に対向して、蒸着マスクを配置し、
前記基板を挟んで、前記蒸着マスクに対向して、マグネットを配置し、
前記マグネットの磁力により、前記蒸着マスクを前記基板上に近接させ、
蒸着源を加熱することにより、前記蒸着源から前記蒸着マスクを介して、前記基板上に有機ＥＬ材料を蒸着させ、有機ＥＬ層を形成する、表示装置の製造方法であって、
前記蒸着マスクは、複数の薄膜領域と、保持枠と、を備え、
複数の薄膜領域は、それぞれ、複数のマスク領域と、接続領域と、を有し、
前記複数の薄膜領域は、それぞれ、プロペラ形状を有し、
前記複数のマスク領域は、それぞれ、円形形状を有し、
前記複数のマスク領域のそれぞれは、複数の開口領域を備える、表示装置の製造方法。
続きを表示（約 960 文字）【請求項２】
１つの前記薄膜領域内に、４つの前記マスク領域が設けられ、
前記薄膜領域は、前記４つの前記マスク領域を囲む４つの楕円形状の第１領域と、前記４つの第１領域で囲まれる第２領域と、隣り合う前記第１領域の間に設けられる第３領域と、を備える、請求項１に記載の表示装置の製造方法。
【請求項３】
前記第２領域は、辺が曲線のひし形形状を有し、
前記第３領域は、それぞれ、辺が曲線の三角形形状を有する、請求項２に記載の表示装置の製造方法。
【請求項４】
前記４つのマスク領域から等間隔に位置する点を仮想点とし、
前記４つの第１領域それぞれの長軸を延長した仮想線は、前記仮想点を通る、請求項１に記載の表示装置の製造方法。
【請求項５】
複数の薄膜領域と、保持枠と、を備え、
複数の薄膜領域は、それぞれ、複数のマスク領域と、接続領域と、を有し、
前記複数の薄膜領域は、それぞれ、プロペラ形状を有し、
前記複数のマスク領域は、それぞれ、円形形状を有し、
前記複数のマスク領域のそれぞれは、複数の開口領域を備え、
１つの前記薄膜領域内に、４つの前記マスク領域が設けられ、
前記薄膜領域は、前記４つの前記マスク領域を囲む４つの楕円形状の第１領域と、前記４つの第１領域で囲まれる第２領域と、隣り合う前記第１領域の間に設けられる第３領域と、を備える、蒸着マスク。
【請求項６】
前記第２領域は、辺が曲線のひし形形状を有し、
前記第３領域は、それぞれ、辺が曲線の三角形形状を有する、請求項５に記載の蒸着マスク。
【請求項７】
前記４つのマスク領域から等間隔に位置する点を仮想点とし、
前記４つの第１領域それぞれの長軸を延長した仮想線は、前記仮想点を通る、請求項５に記載の蒸着マスク。
【請求項８】
前記保持枠の厚さは、前記薄膜領域の厚さより厚い、請求項５に記載の蒸着マスク。
【請求項９】
前記保持枠の厚さは、０．５ｍｍ以上１．５ｍｍ以下であり、
前記薄膜領域の厚さは、３μｍ以上２０μｍ以下である、請求項８に記載の蒸着マスク。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、表示装置に関する。
続きを表示（約 2,500 文字）【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬ表示装置を製造する過程において、有機ＥＬ材料で構成される層（有機ＥＬ層）の形成には真空蒸着法が用いられる。真空蒸着法では、被処理基板に対して蒸着マスクを近接させ、蒸着マスクを介して被処理基板に対して有機ＥＬ材料の蒸着を行う。蒸着マスクは、複数の開口部を有する。有機ＥＬ材料は、複数の開口を通過して被処理基板に到達するため、複数の開口部に対応する位置に選択的に有機ＥＬ層を形成することが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２３－６７９２号公報
特開２０２３－６７５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本実施形態は、製造歩留まりを向上した表示装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
一実施形態に係る表示装置の製造方法は、
複数のパネル領域を備える基板を、基板キャリア上に配置し、
前記基板に対向して、蒸着マスクを配置し、
前記基板を挟んで、前記蒸着マスクに対向して、マグネットを配置し、
前記マグネットの磁力により、前記蒸着マスクを前記基板上に近接させ、
蒸着源を加熱することにより、前記蒸着源から前記蒸着マスクを介して、前記基板上に有機ＥＬ材料を蒸着させ、有機ＥＬ層を形成する、表示装置の製造方法であって、
前記蒸着マスクは、複数の薄膜領域と、保持枠と、を備え、
複数の薄膜領域は、それぞれ、複数のマスク領域と、接続領域と、を有し、
前記複数の薄膜領域は、それぞれ、プロペラ形状を有し、
前記複数のマスク領域は、それぞれ、円形形状を有し、
前記複数のマスク領域のそれぞれは、複数の開口領域を備える。
【０００６】
また、一実施形態に係る蒸着マスクは、
複数の薄膜領域と、保持枠と、を備え、
複数の薄膜領域は、それぞれ、複数のマスク領域と、接続領域と、を有し、
前記複数の薄膜領域は、それぞれ、プロペラ形状を有し、
前記複数のマスク領域は、それぞれ、円形形状を有し、
前記複数のマスク領域のそれぞれは、複数の開口領域を備え、
１つの前記薄膜領域内に、４つの前記マスク領域が設けられ、
前記薄膜領域は、前記４つの前記マスク領域を４つの楕円形状の第１領域と、前記４つの第１領域で囲まれる第２領域と、隣り合う前記第１領域の間に設けられる第３領域と、を備える。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
図１は、実施形態の表示装置の全体斜視図である。
図２は、表示装置の概略的な構成の一例を示す部分平面図である。
図３は、図２に示す表示装置の線Ａ１－Ａ２に沿った断面図である。
図４は、表示装置の製造方法を示す断面図である。
図５は、表示装置の製造方法を示す断面図である。
図６は、表示装置の製造方法を示す断面図である。
図７は、蒸着マスクの構成を示す平面図である。
図８は、表示装置の概略的な構成の一例を示す平面図である。
図９は、図７に示す線Ｂ１－Ｂ２に沿う蒸着マスク及びマザー基板の断面図である。
図１０は、図７に示す線Ｃ１－Ｃ２に沿う蒸着マスク及びマザー基板の断面図である。
図１１は、蒸着工程終了後の蒸着マスク及びマザー基板の構成を示す断面図である。
図１２は、蒸着マスクの構成を示す平面図である。
図１３は、蒸着マスクの構成を示す平面図である。
図１４は、図１３に示す線Ｄ１－Ｄ２に沿う蒸着マスク及びマザー基板の断面図である。
図１５は、図１３に示す蒸着マスクを用いた表示装置の製造方法を示す断面図である。
図１６は、図１３に示す蒸着マスクを用いた表示装置の製造方法を示す断面図である。
図１７は、図１３に示す蒸着マスクを用いた表示装置の製造方法を示す断面図である。
図１８は、図１３に示す蒸着マスクを用いた表示装置の製造方法を示す断面図である。
図１９は、図１３に示す蒸着マスクを用いた表示装置の製造方法を示す断面図である。
図２０は、図１３に示す蒸着マスクを用いた表示装置の製造方法を示す断面図である。
図２１は、図１３に示す蒸着マスクを用いた表示装置の製造方法を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下に、本発明の各実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。なお、開示はあくまで一例にすぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更について容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宜省略することがある。
【０００９】
本明細書で述べる実施形態は、一般的なものでなく、本発明の同一又は対応する特別な技術的特徴について説明する実施形態である。以下、図面を参照しながら一実施形態に係る表示装置について詳細に説明する。
【００１０】
本実施形態においては、第１方向Ｘ、第２方向Ｙ、及び、第３方向Ｚは、互いに直交しているが、９０度以外の角度で交差していてもよい。第３方向Ｚの矢印の先端に向かう方向を上又は上方と定義し、第３方向Ｚの矢印の先端に向かう方向とは反対側の方向を下又は下方と定義する。なお第１方向Ｘ、第２方向Ｙ、及び、第３方向Ｚを、それぞれ、Ｘ方向、Ｙ方向、及び、Ｚ方向と呼ぶこともある。
（【００１１】以降は省略されています）

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