特許ウォッチ

公開番号2025019578
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-07
出願番号2023123257
出願日2023-07-28
発明の名称製膜装置
出願人株式会社カネカ
代理人個人,個人
主分類C23C 14/24 20060101AFI20250131BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】本発明は、従来に比べて、粉体状の薄膜形成材料が材料ガスに混入しにくい製膜装置を提供する。
【解決手段】基材に対して薄膜を製膜する製膜装置であって、ガス供給部と、ガス放出部を有し、ガス供給部は、気化部を有し、気化部で粉体状の薄膜形成材料を気化し、気化された材料ガスをガス放出部に送り出すものであり、気化部とガス放出部の間に第1トラップ部を有し、第1トラップ部は、フィルター部を有し、フィルター部によって気化部側の気化側空間とガス放出部側の放出側空間とに区切っており、フィルター部は、気化側空間と放出側空間とを連通する連通孔を有し、連通孔は、最も狭窄した部分の内径が薄膜形成材料の平均粒子径よりも小さい構成とする。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
基材に対して薄膜を製膜する製膜装置であって、
ガス供給部と、ガス放出部を有し、
前記ガス供給部は、気化部を有し、前記気化部で粉体状の薄膜形成材料を気化し、気化された材料ガスを前記ガス放出部に送り出すものであり、
前記気化部と前記ガス放出部の間に第１トラップ部を有し、
前記第１トラップ部は、フィルター部を有し、前記フィルター部によって前記気化部側の気化側空間と前記ガス放出部側の放出側空間とに区切っており、
前記フィルター部は、前記気化側空間と前記放出側空間とを連通する連通孔を有し、
前記連通孔は、最も狭窄した部分の内径が前記薄膜形成材料の平均粒子径よりも小さい、製膜装置。
続きを表示（約 820 文字）【請求項２】
前記フィルター部は、厚みがあって、少なくとも側面から前記気化側空間内のガスを前記放出側空間内に放出可能である、請求項１に記載の製膜装置。
【請求項３】
前記フィルター部は、厚み方向において前記気化側空間内のガスを前記放出側空間内に放出可能である、請求項２に記載の製膜装置。
【請求項４】
前記フィルター部は、多孔質体である、請求項１に記載の製膜装置。
【請求項５】
前記気化部は、鉛直方向に延びる鉛直管部を有し、上方側から下方側に向けて前記鉛直管部を通過させて前記薄膜形成材料を前記材料ガスに気化するものであり、
前記鉛直管部の下端部に接続される第２トラップ部と、前記第２トラップ部と前記第１トラップ部を接続する第１配管部を有し、
前記第１配管部は、前記第２トラップ部の底部よりも高い位置に接続されている、請求項１に記載の製膜装置。
【請求項６】
前記ガス供給部は、前記気化部で気化された材料ガスをキャリアガスによって前記ガス放出部に送り出す、請求項１～５のいずれか１項に記載の製膜装置。
【請求項７】
基材に対して薄膜を製膜する製膜装置であって、
ガス供給部と、ガス放出部を有し、
前記ガス供給部は、気化部を有し、前記気化部で粉体状の薄膜形成材料を気化し、気化された材料ガスを前記ガス放出部に送り出すものであり、
前記気化部は、鉛直方向に延びる鉛直管部を有し、上方側から下方側に向けて前記鉛直管部を通過させて前記薄膜形成材料を前記材料ガスに気化するものであり、
前記鉛直管部の下端部に接続される第２トラップ部と、前記第２トラップ部から前記ガス放出部側に向かって前記材料ガスを流す第１配管部を有し、
前記第１配管部は、前記第２トラップ部の底部よりも高い位置に接続されている、製膜装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、製膜装置に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
従来から、有機ＥＬ装置の各層の製膜には、真空蒸着装置が使用されている（例えば、特許文献１）。
特許文献１の蒸着装置は、いわゆる、ガスキャリア蒸着装置であり、固体状（主に粉体状）の薄膜形成材料を高温のキャリアガスで気化室内に導入するとともに、気化室内で薄膜形成材料を加熱し、気化させて材料ガスを生成し、キャリアガスで材料ガスを製膜室まで流送し、製膜室内においてキャリアガスと材料ガスの混合ガスを基材に対して吹き付ける構造となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－１１２３１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、特許文献１の蒸着装置は、粉体状の薄膜形成材料を気化室内に通過させて気化し、材料ガスにしているが、環境によっては完全に薄膜形成材料が気化せずに固体状のまま材料ガスに混入する場合がある。材料ガス内に固体状の薄膜形成材料が混入すると、製膜室で製膜する際に粉体状の薄膜形成材料が基材に塊となって付着し、膜厚が均一な薄膜が得られず、品質が低下する問題がある。
【０００５】
そこで、本発明は、従来に比べて、粉体状の薄膜形成材料が材料ガスに混入しにくい製膜装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記した課題を解決するための本発明の一つの様相は、基材に対して薄膜を製膜する製膜装置であって、ガス供給部と、ガス放出部を有し、前記ガス供給部は、気化部を有し、前記気化部で粉体状の薄膜形成材料を気化し、気化された材料ガスを前記ガス放出部に送り出すものであり、前記気化部と前記ガス放出部の間に第１トラップ部を有し、前記第１トラップ部は、フィルター部を有し、前記フィルター部によって前記気化部側の気化側空間と前記ガス放出部側の放出側空間とに区切っており、前記フィルター部は、前記気化側空間と前記放出側空間とを連通する連通孔を有し、前記連通孔は、最も狭窄した部分の内径が前記薄膜形成材料の平均粒子径よりも小さい、製膜装置である。
【０００７】
本様相によれば、材料ガス中に含まれた粉体状の薄膜形成材料がフィルター部によって捕捉され、実質的に粉体状の薄膜形成材料を含まない材料ガスをガス放出部に供給できる。そのため、ガス放出部に供給される材料ガスに粉体状の薄膜形成材料が混入しにくく、基材に対して高品質の薄膜を製膜できる。
【０００８】
好ましい様相は、前記フィルター部は、厚みがあって、少なくとも側面から前記気化側空間内のガスを前記放出側空間内に放出可能である。
【０００９】
好ましい様相は、前記フィルター部は、厚み方向において前記気化側空間内のガスを前記放出側空間内に放出可能である。
【００１０】
好ましい様相は、前記フィルター部は、多孔質体である。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許