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公開番号2025036083
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-14
出願番号2024083952
出願日2024-05-23
発明の名称メタルマスク及びその製造方法
出願人大日本印刷株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類C23C 14/04 20060101AFI20250306BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】シャドーをより抑制することができ、貫通孔の形状均一性に優れ、機械的強度にも優れるメタルマスク、及びその効率的な製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】有孔領域と、周囲領域と、を有し、
前記有孔領域は、複数の貫通孔を有し、
前記周囲領域は、前記有孔領域の周囲に位置し、
前記貫通孔は、第1面に形成された第1凹部と、第2面に形成された第2凹部と、前記第1凹部と前記第2凹部とを接続する周状の接続部と、を有し、
前記接続部は、複数の角部と、隣接する前記角部間に位置する複数の線状部と、を含み、
前記第1面から前記接続部までの厚さ方向における距離hは、位置により異なり、
前記第1面から前記角部までの厚さ方向における最大距離h1は、前記第1面から前記線状部までの厚さ方向における最小距離h2よりも長い、
メタルマスク。
【選択図】図3B
特許請求の範囲【請求項１】
有孔領域と、周囲領域と、を有し、
前記有孔領域は、複数の貫通孔を有し、
前記周囲領域は、前記有孔領域の周囲に位置し、
前記貫通孔は、第１面に形成された第１凹部と、第２面に形成された第２凹部と、前記第１凹部と前記第２凹部とを接続する周状の接続部と、を有し、
前記接続部は、複数の角部と、隣接する前記角部間に位置する複数の線状部と、を含み、
前記第１面から前記接続部までの厚さ方向における距離ｈは、位置により異なり、
前記角部における前記第１面から前記接続部までの厚さ方向における最大距離ｈ１は、前記線状部における前記第１面から前記接続部までの厚さ方向における最小距離ｈ２よりも長い、
メタルマスク。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記線状部は、第１線状部と、第２線状部と、を含み、
前記第１線状部は、前記第２線状部よりも短く、
前記第１面から前記第１線状部までの厚さ方向における距離ｈ２１は、前記第１面から前記第２線状部までの厚さ方向における距離ｈ２２よりも長い、
請求項１に記載のメタルマスク。
【請求項３】
前記最大距離ｈ１が、０．６μｍ以上８．０μｍ以下である、
請求項１に記載のメタルマスク。
【請求項４】
前記最小距離ｈ２が、０．０６μｍ以上４．０μｍ以下である、
請求項１に記載のメタルマスク。
【請求項５】
前記最小距離ｈ２に対する前記最大距離ｈ１の比（ｈ１／ｈ２）が、１．１以上５０以下である、
請求項１に記載のメタルマスク。
【請求項６】
前記第１面から前記第２面までの厚さＨに対する前記最大距離ｈ１の比（ｈ１／Ｈ）が、０．０１０以上０．４０以下である、
請求項１に記載のメタルマスク。
【請求項７】
前記第１面から前記第２面までの厚さＨに対する前記最小距離ｈ２の比（ｈ２／Ｈ）が、０．００１以上０．２０以下である、
請求項１に記載のメタルマスク。
【請求項８】
メタルマスクの製造方法であって、
第１面と、前記第１面の反対側に位置する第２面と、を有する金属板を準備する工程と、
前記金属板をエッチングすることによって前記メタルマスクを形成するエッチング工程と、を備え、
前記メタルマスクは、有孔領域と、周囲領域と、を有し、
前記有孔領域は、複数の貫通孔を有し、
前記周囲領域は、前記有孔領域の周囲に位置し、
前記貫通孔は、第１面に形成された第１凹部と、第２面に形成された第２凹部と、前記第１凹部と前記第２凹部とを接続する周状の接続部と、を有し、
前記接続部は、複数の角部と、隣接する前記角部間に位置する複数の線状部と、を含み、
前記第２面から前記接続部までの厚さ方向における距離ｈは、位置により異なり、
前記第２面から前記角部までの厚さ方向における最大距離ｈ１は、前記第２面から前記線状部までの厚さ方向における最小距離ｈ２よりも長い、
メタルマスクの製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、メタルマスク及びその製造方法に関する。
続きを表示（約 2,300 文字）【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬ表示装置の画素はメタルマスクを用いて基板上に画素を形成する材料を蒸着により付着させることにより形成される。そのため、メタルマスクの性能向上は有機ＥＬ表示装置の画質の向上にとって重要である。例えば、特許文献１には、蒸着パターンの膜厚におけるばらつきを抑制し得るメタルマスクを提供することを目的として、大開口の角部を縁に対して外側に向けて張り出す形状にすることが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第6870795号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載のメタルマスクでは、多角形状における角部を多角形状の外側に向けて張り出した形状を有するため、大開口の角部の近傍からマスク孔に進入する蒸着材料が、小開口に到達しやすくなることが期待される。しかし一方で、特許文献１に記載のメタルマスクは、開口部の形状が複雑であり、複雑な形状を有する複数の貫通孔を均一に形成することは容易ではない。また、複雑な形状を有することによる、機械的強度への影響も懸念される。
【０００５】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、シャドーをより抑制することができ、貫通孔の形状均一性に優れ、機械的強度にも優れるメタルマスク、及びその効率的な製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一実施形態によるメタルマスクは、
有孔領域と、周囲領域と、を有し、
前記有孔領域は、複数の貫通孔を有し、
前記周囲領域は、前記有孔領域の周囲に位置し、
前記貫通孔は、第１面に形成された第１凹部と、第２面に形成された第２凹部と、前記第１凹部と前記第２凹部とを接続する周状の接続部と、を有し、
前記接続部は、複数の角部と、隣接する前記角部間に位置する複数の線状部と、を含み、
前記第１面から前記接続部までの厚さ方向における距離ｈは、位置により異なり、
前記角部における前記第１面から前記接続部までの厚さ方向における最大距離ｈ１は、前記線状部における前記第１面から前記接続部までの厚さ方向における最小距離ｈ２よりも長い。
【０００７】
本開示の一実施形態による上記メタルマスクの製造方法は、
第１面と、前記第１面の反対側に位置する第２面と、を有する金属板を準備する工程と、
前記金属板をエッチングすることによって前記メタルマスクを形成するエッチング工程と、を備え、
前記メタルマスクは、有孔領域と、周囲領域と、を有し、
前記有孔領域は、複数の貫通孔を有し、
前記周囲領域は、前記有孔領域の周囲に位置し、
前記貫通孔は、第１面に形成された第１凹部と、第２面に形成された第２凹部と、前記第１凹部と前記第２凹部とを接続する周状の接続部と、を有し、
前記接続部は、複数の角部と、隣接する前記角部間に位置する複数の線状部と、を含み、
前記第１面から前記接続部までの厚さ方向における距離ｈは、位置により異なり、
前記第１面から前記角部までの厚さ方向における最大距離ｈ１は、前記第２面から前記線状部までの厚さ方向における最小距離ｈ２よりも長い。
【発明の効果】
【０００８】
本開示の少なくとも一つの実施形態では、シャドーをより抑制することができ、貫通孔の形状均一性に優れ、機械的強度にも優れるメタルマスク、及びその効率的な製造方法を提供する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
本開示の一実施形態によるメタルマスクを示す平面図である。
基板に付着した蒸着層のパターンの形状、大きさ、位置の一例を表す平面図である。
図２Ａに示す蒸着層のパターンを構成するための、メタルマスク２０の貫通孔２５の一例を示す平面図である。
図２Ａに示す蒸着層のパターンを構成するための、メタルマスク２０の貫通孔２５の一例を示す平面図である。
図２Ａに示す蒸着層のパターンを構成するための、メタルマスク２０の貫通孔２５の一例を示す平面図である。
有孔領域を第２面側から見たときの一態様を示す斜視図である。
図３Ａに示す貫通孔を拡大した斜視図である。
図３Ｂに示す貫通孔のＡ－Ａ’断面の断面図である。
図３Ｂに示す貫通孔のＢ－Ｂ’断面の断面図である。
有孔領域を第２面側から見たときの一態様を示す斜視図である。
メタルマスクの製造方法の一例を説明するための模式図である。
金属板上にレジスト膜を形成する工程の一例を示す図である。
レジスト膜をパターニングする工程の一例を示す図である。
有孔領域における第１面エッチング工程の一例を示す図である。
有孔領域における第２面エッチング工程の一例を示す図である。
本開示の一実施形態によるメタルマスク装置を示す図である。
本開示の一実施形態による蒸着装置を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照して本開示の一実施形態について説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある場合がある。
（【００１１】以降は省略されています）

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