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公開番号2025037715
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-18
出願番号2023144813
出願日2023-09-06
発明の名称観察装置、観察システム、製造装置、観察方法、製造方法
出願人大日本印刷株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類G02B 21/06 20060101AFI20250311BHJP(光学)
要約【課題】凹凸部を有する観察対象の表面形状を容易に観察する。
【解決手段】観察装置20は、観察対象7を観察する。観察装置20は、観察対象7に対向する対物レンズ31を有する光学系30と、対物レンズ31の光軸方向LAから観察対象7に光を照射する第1照明装置60と、対物レンズ31の光軸方向LAに対して傾斜した複数の方向から観察対象7に光を照射する第2照明装置70と、を備える。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
観察対象を観察する観察装置であって、
前記観察対象に対向する対物レンズを有する光学系と、
前記対物レンズの光軸方向から前記観察対象に光を照射する第１照明装置と、
前記対物レンズの光軸方向に対して傾斜した複数の方向から前記観察対象に光を照射する第２照明装置と、を備える、観察装置。
続きを表示（約 550 文字）【請求項２】
前記光学系の拡大倍率は、２．５倍以上である、請求項１に記載の観察装置。
【請求項３】
前記第１照明装置が照射する光の強さと前記第２照明装置が照射する光の強さとの比は、調整可能である、請求項１に記載の観察装置。
【請求項４】
前記第２照明装置は、前記対物レンズと前記観察対象との間に配置されている、請求項１に記載の観察装置。
【請求項５】
前記第２照明装置と前記観察対象との間の長さは、２０ｍｍ以下である、請求項４に記載の観察装置。
【請求項６】
前記第２照明装置と前記観察対象との間の長さは、調整可能である、請求項４に記載の観察装置。
【請求項７】
前記第２照明装置が前記観察対象に照射する光の角度は、調整可能である、請求項１に記載の観察装置。
【請求項８】
前記観察対象の可視光反射率は、２０％以上である、請求項１に記載の観察装置。
【請求項９】
前記観察対象の表面粗さは、０．２以上２．０以下である、請求項１に記載の観察装置。
【請求項１０】
前記観察対象は、金属を含む、請求項１に記載の観察装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、観察対象を観察する観察装置、観察装置を有する観察システム、観察装置を有する製造装置、及び、観察対象を観察する観察方法、観察方法を含む製造方法に関する。
続きを表示（約 2,800 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１に記載されているような、観察対象の表面を拡大して観察する観察装置が知られている。このような観察装置は、レンズの光軸方向から光を照射する同軸照明装置を有している。レンズの光軸方向から光を照射することで、レンズによって拡大される観察対象を明るく観察できる。観察対象に形成された傷や観察対象に付着した異物といった観察対象の表面形状を容易に観察できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開平６－１３８３９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
観察対象は、模様等による凹凸部を有していることがある。凹凸部を有する観察対象を特許文献１に記載されているような観察装置で観察しても、傷や異物による表面形状が凹凸部に紛れる。この結果、観察対象の表面形状を観察することが困難である。本開示は、観察対象が凹凸部を有していても、観察対象の表面形状を容易に観察することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一実施の形態は、以下の［１］乃至［１８］に関する。
［１］
観察対象を観察する観察装置であって、
前記観察対象に対向する対物レンズを有する光学系と、
前記対物レンズの光軸方向から前記観察対象に光を照射する第１照明装置と、
前記対物レンズの光軸方向に対して傾斜した複数の方向から前記観察対象に光を照射する第２照明装置と、を備える、観察装置。
［２］
前記光学系の拡大倍率は、２．５倍以上である、［１］に記載の観察装置。
［３］
前記第１照明装置が照射する光の強さと前記第２照明装置が照射する光の強さとの比は、調整可能である、［１］または［２］に記載の観察装置。
［４］
前記第２照明装置は、前記対物レンズと前記観察対象との間に配置されている、［１］乃至［３］のいずれかに記載の観察装置。
［５］
前記第２照明装置と前記観察対象との間の長さは、２０ｍｍ以下である、［４］に記載の観察装置。
［６］
前記第２照明装置と前記観察対象との間の長さは、調整可能である、［４］または［５］に記載の観察装置。
［７］
前記第２照明装置が前記観察対象に照射する光の角度は、調整可能である、［１］乃至［６］のいずれかに記載の観察装置。
［８］
前記観察対象の可視光反射率は、２０％以上である、［１］乃至［７］のいずれかに記載の観察装置。
［９］
前記観察対象の表面粗さは、０．２以上２．０以下である、［１］乃至［８］のいずれかに記載の観察装置。
［１０］
前記観察対象は、金属を含む、［１］乃至［９］のいずれかに記載の観察装置。
［１１］
［１］乃至［１０］のいずれかに記載の観察装置と、
前記観察装置によって観察された画像を撮像する撮像装置と、を備える、観察システム。
［１２］
前記撮像装置の画素ごとに取得される明るさのむらが小さくなるように、前記第１照明装置が照射する光の強さと前記第２照明装置が照射する光の強さとの比を制御する制御装置をさらに備える、［１１］に記載の観察システム。
［１３］
［１］乃至［１０］のいずれかに記載の観察装置、または［１１］または［１２］に記載の観察システムを備える、製造装置。
［１４］
対物レンズの光軸方向から観察対象に光を照射し且つ前記対物レンズの光軸方向に対して傾斜した複数の方向から前記観察対象に光を照射した状態で、前記対物レンズを有する光学系を介して前記観察対象を観察する観察工程を備える、観察方法。
［１５］
観察される明るさのむらが小さくなるように、前記対物レンズの光軸方向から前記観察対象に照射する光の強さと前記対物レンズの光軸方向に対して傾斜した複数の方向から前記観察対象に照射する光の強さとの比を調整する調整工程と、
前記光学系を介して前記観察対象を再度観察する第２観察工程と、をさらに備える、［１４］に記載の観察方法。
［１６］
前記調整工程は、自動制御される、［１５］に記載の観察方法。
［１７］
前記観察工程によって観察された画像を撮像する撮像工程をさらに備える、［１４］乃至［１６］のいずれかの観察方法。
［１８］
物品を製造する製造工程と、
前記物品を観察対象として［１４］乃至［１７］のいずれかに記載の観察方法で観察する観察工程と、を備える、製造方法。
【発明の効果】
【０００６】
本開示によれば、凹凸部を有する観察対象の表面形状を容易に観察できる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
図１は、観察システムを備える製造装置を示す図である。
図２は、観察装置を有する観察システムを示す図である。
図３は、第１照明装置を示す断面図である。
図４は、第２照明装置を示す断面図である。
図５は、観察対象に照射された光の作用を説明する図である。
図６は、観察対象に照射された光の作用を説明する図である。
図７は、観察システムで観察された観察対象の一例を示す図である。
図８は、観察システムで観察された観察対象の一例を示す図である。
図９は、観察システムで観察された観察対象の一例を示す図である。
図１０は、観察システムで観察された観察対象の一例を示す図である。
図１１は、観察システムで観察された観察対象の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、図面を参照して本開示の一実施の形態について説明する。本件明細書に添付された図面における縮尺及び縦横の寸法比等は、図示と理解のしやすさのため、実物のそれらから変更され誇張されている。
【０００９】
本明細書において、「シート面」とは、対象となるシート状の部材を全体的かつ大局的に見た場合において対象となるシート状部材の平面方向と一致する面のことを指す。
【００１０】
本明細書において用いられる、形状や幾何学的条件ならびにそれらの程度を特定する、例えば、「平行」、「直交」、「同一」等の用語ならびに長さや角度の値等は、厳密な意味に縛られることなく、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈される。
（【００１１】以降は省略されています）

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