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公開番号2025033510
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-13
出願番号2023139267
出願日2023-08-29
発明の名称製膜装置
出願人OLED青森株式会社
代理人個人,個人
主分類C23C 14/24 20060101AFI20250306BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】本発明は、共蒸着する場合に、ガス放出部で複数種類の材料ガスを十分に混合できる製膜装置を提供する。
【解決手段】複数のガス供給系統と、ガス放出部と、製膜室を有し、ガス供給系統は、製膜室の外部に一又は複数のガス生成部を有し、ガス生成部で薄膜形成材料を気化し、ガス生成部で気化された材料ガスをガス放出部に供給可能であり、ガス放出部は、製膜室の内部に配されるものであって、複数のガス導入口と、一又は複数のガス放出口と、内部空間を有し、ガス放出部は、各ガス供給系統から供給された材料ガスを各ガス導入口から内部空間に導入し、ガス放出口から基材に対して内部空間内の製膜ガスを放出可能であり、内部空間は、各ガス導入口から導入された材料ガスを混合し、製膜ガスを形成する混合空間と、製膜ガスをガス放出口から放出する放出空間を有し、製膜ガスの流れ方向において、混合空間と放出空間の間に狭窄部を備えている構成とする。
【選択図】図10
特許請求の範囲【請求項１】
基材に対して薄膜を製膜する製膜装置であって、
複数のガス供給系統と、ガス放出部と、製膜室を有し、
前記ガス供給系統は、前記製膜室の外部に一又は複数のガス生成部を有し、前記ガス生成部で薄膜形成材料を気化し、前記ガス生成部で気化された材料ガスを前記ガス放出部に供給可能であり、
前記ガス放出部は、前記製膜室の内部に配されるものであって、複数のガス導入口と、一又は複数のガス放出口と、内部空間を有し、
前記ガス放出部は、各ガス供給系統から供給された前記材料ガスを各ガス導入口から前記内部空間に導入し、前記ガス放出口から前記基材に対して前記内部空間内の製膜ガスを放出可能であり、
前記内部空間は、各ガス導入口から導入された前記材料ガスを混合し、前記製膜ガスを形成する混合空間と、前記製膜ガスを前記ガス放出口から放出する放出空間を有し、
前記製膜ガスの流れ方向において、前記混合空間と前記放出空間の間に狭窄部を備えている、製膜装置。
続きを表示（約 850 文字）【請求項２】
前記ガス供給系統は、キャリアガスによって前記材料ガスを前記ガス放出部に送り出す、請求項１に記載の製膜装置。
【請求項３】
前記内部空間を前記混合空間と前記放出空間に区切る区画板部を有し、
前記区画板部は、厚み方向に貫通した貫通孔を有し、前記貫通孔が前記狭窄部を構成している、請求項１又は２に記載の製膜装置。
【請求項４】
前記ガス導入口を備えるガス導入部を有し、
前記ガス導入部は、前記区画板部を平面視したときに、前記貫通孔と重ならない位置に配されている、請求項３に記載の製膜装置。
【請求項５】
前記ガス導入口は、前記貫通孔とは異なる方向を向いている、請求項４に記載の製膜装置。
【請求項６】
前記ガス導入口を備えるガス導入部を複数有し、
各ガス導入部は、前記区画板部を平面視したときに、前記貫通孔を囲むように配されている、請求項４に記載の製膜装置。
【請求項７】
複数のガス導入部を有し、
前記ガス導入部は、各ガス供給系統に対応して設けられるものであって、かつ各ガス供給系統に対応する前記ガス導入口をそれぞれ有し、
各ガス供給系統に対応するガス導入部は、前記区画板部を平面視したときに、重なっている、請求項３に記載の製膜装置。
【請求項８】
第１基材と第２基材に対して薄膜を製膜する製膜装置であって、
前記ガス放出部は、第１ガス放出部材と第２ガス放出部材を有し、
前記第１ガス放出部材と前記第２ガス放出部材は、前記ガス放出口をそれぞれ有し、
前記ガス放出部は、前記第１ガス放出部材の前記ガス放出口から前記第１基材に対して前記製膜ガスを吹き付け、前記第２ガス放出部材の前記ガス放出口から前記第２基材に前記製膜ガスを吹き付けることで、前記第１基材と前記第２基材に同時に薄膜を製膜可能である、請求項１又は２に記載の製膜装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、基材に薄膜を製膜する製膜装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
従来から、有機ＥＬ装置の各層の製膜には、真空蒸着装置が使用されている（例えば、特許文献１）。
特許文献１の蒸着装置は、いわゆる、ガスキャリア方式の蒸着装置であり、固体状（主に粉体状）の薄膜形成材料を高温のキャリアガスで気化室内に導入するとともに、気化室内で薄膜形成材料を加熱し、気化させて薄膜材料ガスを生成し、キャリアガスで薄膜材料ガスを製膜室まで圧送し、製膜室内においてガス放出部からキャリアガスと薄膜材料ガスの混合ガスを基材に対して吹き付ける構造となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－１３５２７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、特許文献１の蒸着装置を用いて共蒸着する場合、複数の製膜ガス供給系統から異なる種類の薄膜材料ガスを製膜室内のガス放出部に導入し、薄膜材料ガスをガス放出部で混合して製膜ガスとして基材に対して吹き付けるが、ガス放出部での薄膜材料ガスの混合が不十分な場合、薄膜材料ガスの間で濃度に偏りが生じてしまい、良質な薄膜を製膜できないおそれがあった。
【０００５】
そこで、本発明は、共蒸着する場合に、ガス放出部で複数種類の材料ガスを十分に混合できる製膜装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記した課題を解決するための本発明の一つの様相は、基材に対して薄膜を製膜する製膜装置であって、複数のガス供給系統と、ガス放出部と、製膜室を有し、前記ガス供給系統は、前記製膜室の外部に一又は複数のガス生成部を有し、前記ガス生成部で薄膜形成材料を気化し、前記ガス生成部で気化された材料ガスを前記ガス放出部に供給可能であり、前記ガス放出部は、前記製膜室の内部に配されるものであって、複数のガス導入口と、一又は複数のガス放出口と、内部空間を有し、前記ガス放出部は、各ガス供給系統から供給された前記材料ガスを各ガス導入口から前記内部空間に導入し、前記ガス放出口から前記基材に対して前記内部空間内の製膜ガスを放出可能であり、前記内部空間は、各ガス導入口から導入された前記材料ガスを混合し、前記製膜ガスを形成する混合空間と、前記製膜ガスを前記ガス放出口から放出する放出空間を有し、前記製膜ガスの流れ方向において、前記混合空間と前記放出空間の間に狭窄部を備えている、製膜装置である。
【０００７】
本様相によれば、製膜室の外部に各ガス生成部が設けられ、製膜室の外部から製膜室の内部のガス放出部に材料ガスが供給されるため、製膜室を小型化することができ、効率よく減圧することができる。
本様相によれば、基材に共蒸着する場合に、各ガス導入口から導入された各ガス供給系統の材料ガスが混合空間で混合されて製膜ガスとなり、当該製膜ガスが狭窄部を経て放出空間に至り、ガス放出口から基材に対して放出されるので、ガス導入口から導入された材料ガスが狭窄部に至るまでに混合しやすい。そのため、各材料ガスが効率的に撹拌され、均等に撹拌されて十分に混合された製膜ガスを基材に対して放出できる。その結果、従来に比べて高品質の共蒸着膜を製膜できる。
【０００８】
好ましい様相は、前記ガス供給系統は、キャリアガスによって前記材料ガスを前記ガス放出部に送り出す。
【０００９】
本様相によれば、キャリアガスの量を調整することで材料ガスの供給量を調整しやすい。
【００１０】
好ましい様相は、前記内部空間を前記混合空間と前記放出空間に区切る区画板部を有し、前記区画板部は、厚み方向に貫通した貫通孔を有し、前記貫通孔が前記狭窄部を構成している。
（【００１１】以降は省略されています）

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