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公開番号2025007839
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-17
出願番号2023109493
出願日2023-07-03
発明の名称気泡除去方法及び気泡除去装置
出願人株式会社オプトラン
代理人個人,個人
主分類C23C 14/50 20060101AFI20250109BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】貼着部材に特別な加工を施すことなく、被着体との間に生じる気泡を除去することが可能な気泡除去方法及び気泡除去装置の提供。
【解決手段】本発明に係る気泡除去方法は、ワークWと貼着部材13とを貼着させた際にこれらの間に生じる気泡を除去する気泡除去方法であって、線状部材配置工程と、押圧工程とを含んで構成されている。線状部材配置工程は、ワークWと貼着部材13との間に線状部材14を貼着部材13の一端から他端にかけて延伸するように配置する。押圧工程は、線状部材配置工程を行った後、ワークW及び貼着部材13の少なくとも何れか一方を他方に向けて押圧する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被着体と貼着部材とを貼着させた際にこれらの間に生じる気泡を除去する気泡除去方法であって、
前記被着体と前記貼着部材との間に線状部材を該貼着部材の一端から他端にかけて延伸するように配置する線状部材配置工程と、
前記線状部材配置工程を行った後、前記被着体及び前記貼着部材の少なくとも何れか一方を他方に向けて押圧する押圧工程と、
を含む、気泡除去方法。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
前記被着体は、ワークであり、
前記貼着部材は、前記ワークを貼着可能なワーク貼着部を有し、
前記線状部材配置工程は、前記ワークと前記ワーク貼着部との間に前記線状部材を配置する工程を含む、請求項１に記載の気泡除去工程。
【請求項３】
前記被着体は、弾性変形可能な弾性部材からなり、基台上に設けられた接着テープに貼着される基台取付部を有し、
前記貼着部材は、粘着シートからなり、前記被着体の外周を前記基台取付部の一端から他端にかけて回り込むように貼着され、前記接着テープに貼着される基台側貼着部と、該基台側貼着部とは反対側でワークを貼着可能なワーク側貼着部とを有し、
前記貼着部材と前記接着テープとの粘着力を第１粘着力とし、前記貼着部材と前記ワークとの粘着力を第２粘着力とし、前記貼着部材と前記弾性部材との粘着力を第３粘着力とした場合、
前記第１粘着力＞前記第２粘着力＞前記第３粘着力
前記弾性部材と前記接着テープとの接着力＞前記第２粘着力＞前記第３粘着力
の関係が成立し、
前記線状部材配置工程は、前記弾性部材と前記ワーク側貼着部との間に前記線状部材を配置する工程を含む、請求項１に記載の気泡除去工程。
【請求項４】
前記被着体は、弾性変形可能な弾性部材からなり、基台上に設けられ、
前記貼着部材は、粘着シートからなり、前記弾性部材の外周全体を被覆するように貼着され、前記基台上に設けられた接着テープに貼着される基台側貼着部と、該基台側貼着部とは反対側でワークを貼着可能なワーク側貼着部とを有し、
前記貼着部材と前記接着テープとの粘着力を第１粘着力とし、前記貼着部材と前記ワークとの粘着力を第２粘着力とし、前記貼着部材と前記弾性部材との粘着力を第３粘着力とした場合、
前記第１粘着力＞前記第２粘着力＞前記第３粘着力
の関係が成立し、
前記線状部材配置工程は、前記弾性部材と前記基台側貼着部及び前記ワーク側貼着部の少なくとも何れか一方との間に前記線状部材を配置する工程を含む、請求項１に記載の気泡除去工程。
【請求項５】
前記被着体及び前記貼着部材は、減圧可能な空間内に収容され、
前記気泡除去方法は、前記押圧工程を行った後、前記空間内を減圧する減圧工程を含む、請求項１～４の何れか１項に記載の気泡除去方法。
【請求項６】
前記線状部材配置工程は、前記貼着部材と前記被着体との間に複数の前記線状部材を互いに間隔を空けて並行に配置する工程を含む、請求項１～４の何れか１項に記載の気泡除去方法。
【請求項７】
前記線状部材は、外径が０．０３～０.１ｍｍの範囲内である、請求項１～４の何れか１項に記載の気泡除去方法。
【請求項８】
被着体と貼着部材とを貼着させた際にこれらの間に生じる気泡を除去する気泡除去装置であって、
前記貼着部材の前記被着体が貼着される貼着面上に、該貼着面の一端から他端にかけて延伸するように配される線状部材を備える、気泡除去装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、気泡除去方法及び気泡除去装置に関し、特に、被着体と貼着部材とを貼着させた際にこれらの間に生じる気泡を除去する気泡除去方法及び気泡除去装置に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
従来から、粘着シート等の貼着部材として、貼着面が平滑な面に形成されたものが広く知られている。
しかしながら、このような貼着部材では、被着体に貼着した際、空気の逃げ道がないことから、これらの間に気泡が生じやすく、その結果、貼着部材の外観上の見栄えが悪くなるなどの問題があった。
【０００３】
そこで、このような問題を解消するべく、例えば、特許文献１に記載の貼着部材（粘着加工シート）が提案されている。
【０００４】
特許文献１に記載の貼着部材は、粘着層に独立した多数の小凸部が形成されたものである。
このような技術によれば、被着体に貼着部材を貼着した状態で、各小凸部間に空気の逃げ道が形成されるため、気泡の発生を抑制することができ、その結果、見栄えのよい貼着状態を実現等することが可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
実用新案登録第２５８７１９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載の貼着部材では、粘着層に小凸部を形成するための金型を準備等する必要があるため、製造コストが必然的に増加する等の問題があった。
【０００７】
しかも、特許文献１に記載の貼着部材では、主に、小凸部が被着体に貼着される構成となっているため、被着体との貼着力（密着力）が自ずと弱くなってしまうといった問題もあった。
【０００８】
ところで、ワーク（例えば、ガラス基板）の表面に成膜等の処理（以下、「表面処理」という）を行う場合、貼着部材にワークを保持させた状態で行うことがある。
この場合、仮に、特許文献１に記載の貼着部材を用いてワークを保持させると、貼着不良（密着不良）が原因で、ワークが貼着部材から離脱等するおそれがあり、斯かる場合、成膜等の品質が低下するなどの問題を招く。
【０００９】
このような問題は、小凸部が形成されていない貼着部材、例えば、上記した従来の貼着部材を用いることが考えられる。
しかしながら、一般に、成膜等の表面処理は、大気圧以下に減圧した状態（真空状態）で行われるため、気泡が生じやすい貼着部材（例えば、上記した従来の貼着部材）を用いると、減圧した際に気泡が膨張してしまい、ワークと貼着部材との貼着力が低下するといった問題が生じる。
【００１０】
なお、本願出願人は、先に出願した特願２０２２－１０９２３７号や特願２０２２－１７８１６６号（以下、「先行出願」という）において、貼着部材を用いてワークを保持するワーク保持機構及びワーク保持方法を開示している。
（【００１１】以降は省略されています）

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