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公開番号2025003717
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-09
出願番号2024190140,2023111170
出願日2024-10-29,2019-03-28
発明の名称クリーンルームシステム及び空気循環方法
出願人高砂熱学工業株式会社
代理人弁理士法人ITOH
主分類F24F 7/007 20060101AFI20241226BHJP(加熱;レンジ;換気)
要約【課題】クリーンルームにおけるエネルギーの使用量を少なくする。
【解決手段】クリーンルームに設置されるクリーンルームシステムであって、前記クリーンルームの室内へ空気を送風する送風部と、前記送風部の上に設置され、前記空気を吸い込む吸引部と、前記クリーンルームの室内における湿度を計測する湿度計測部と、前記クリーンルームの室内における清浄度を計測する清浄度計測部と、前記湿度及び前記清浄度に基づいて、前記空気を送風するか否か、又は、前記空気の量である送風量を判定する判定部と、前記判定部による判定結果に基づいて、前記送風部を制御する送風制御部と、を含み、前記クリーンルームをエリアに区切り、前記判定部は、前記エリアごとに判定し、前記送風制御部は、前記エリアごとに制御し、前記吸引部は、吸い込んだ前記空気を前記送風部に送る排気ファンを備えるクリーンルームシステム。
【選択図】図7
特許請求の範囲【請求項１】
クリーンルームに設置されるクリーンルームシステムであって、
前記クリーンルームの室内へ空気を送風する送風部と、
前記送風部の上に設置され、前記空気を吸い込む吸引部と、
前記クリーンルームの室内における湿度を計測する湿度計測部と、
前記クリーンルームの室内における清浄度を計測する清浄度計測部と、
前記湿度及び前記清浄度に基づいて、前記空気を送風するか否か、又は、前記空気の量である送風量を判定する判定部と、
前記判定部による判定結果に基づいて、前記送風部を制御する送風制御部と
を含み、
前記クリーンルームをエリアに区切り、
前記判定部は、前記エリアごとに判定し、
前記送風制御部は、前記エリアごとに制御し、
前記吸引部は、吸い込んだ前記空気を前記送風部に送る排気ファンを備える、
クリーンルームシステム。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記送風部は、
前記クリーンルームへ送り込む空気が、送り込む方向に対して回転する成分となる旋回成分を含むように送風する
請求項１に記載のクリーンルームシステム。
【請求項３】
前記判定部による判定結果に基づいて、前記空気の温度を水で調整する調整部を更に含み、
前記送風部は、前記調整部が調整した空気を送風する
請求項１又は請求項２のいずれかに記載のクリーンルームシステム。
【請求項４】
前記送風部は、フィルタを有し、
前記送風部が前記フィルタに送風する第１空気の第１気圧と、前記フィルタから前記クリーンルームの室内へ送風される第２空気の第２気圧との気圧差を計測する差圧計測部と、
前記第１空気の風速を計測する風速計測部と
を更に含み、
前記気圧差及び前記風速に基づいて、前記フィルタの寿命を判定又は予測する
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のクリーンルームシステム。
【請求項５】
前記気圧差の平方根を前記風速で除算した記録値を記録し、
前記記録値が閾値以上になると、前記フィルタが寿命であると判定する、又は、前記記録値に基づく予測点が閾値以上になると、前記フィルタが寿命になると予測する
請求項４に記載のクリーンルームシステム。
【請求項６】
エリアに区切られたクリーンルームの室内へ空気を送風する送風部及び上記送風部の上に設置され、吸い込んだ前記空気を前記送風部に送る排気ファンを備え、前記空気を吸い込む吸引部を含み、かつ、前記クリーンルームに設置されるクリーンルームシステムが行う空気循環方法であって、
クリーンルームシステムが、前記クリーンルームの室内における湿度を計測する湿度計測手順と、
クリーンルームシステムが、前記クリーンルームの室内における清浄度を計測する清浄度計測手順と、
クリーンルームシステムが、前記湿度及び前記清浄度に基づいて、前記空気を送風するか否か、又は、前記空気の量である送風量を前記エリアごとに判定する判定手順と、
クリーンルームシステムが、前記判定手順による判定結果に基づいて、前記送風部を前記エリアごとに制御する送風制御手順と
を含む空気循環方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルームシステム及び空気循環方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、クリーンルームの室内に、低温であり、かつ、清浄度の高い領域を形成する方法が知られている。
【０００３】
例えば、まず、空調機から空調を行う空間へ空気を送風するのに用いられるダクトに、風量を調整するダンパを設ける。このようにして、適量の風量に調整する方法が知られている（例えば、特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１２－１８４９００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の方法では、空調機等から送風される空気の風量が一定である場合が多い。すなわち、空気をあまり送風しなくてもよい状態であっても、そうでない状態のいずれの状態でも風量が一定であるため、空気をあまり送風しなくてもよい状態等に、風量が過剰になり、エネルギーが無駄になる場合がある。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、クリーンルームにおけるエネルギーの使用量を少なくすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の各実施形態に係るクリーンルームシステム（例えば、図１に示すクリーンルームシステム１０等である。）等は、
前記クリーンルームの室内へ空気を送風する送風部（例えば、図１に示す第１空調機１１及び第２空調機１２等である。）と、
前記クリーンルームの室内における温度を計測する温度計測部（例えば、図１に示す温度センサＳＥＲ１等である。）と、
前記クリーンルームの室内における清浄度を計測する清浄度計測部（例えば、図１に示すパーティクルカウンタＳＥＲ２等である。）と、
前記温度及び前記清浄度に基づいて、前記空気を送風するか否か、又は、前記空気の量である送風量を判定する判定部（例えば、図１に示すＰＬＣ１００等である。）と、
前記判定部による判定結果に基づいて、前記送風部を制御する送風制御部（例えば、図１に示すＰＬＣ１００等である。）と
を含む。
【０００８】
以上のような構成により、クリーンルームシステムは、温度及び清浄度等を把握できる。そのため、クリーンルームシステムは、温度及び清浄度のいずれも考慮して、送風部で空気を送風するか否か、又は、送風部によって送風する送風量を判定することができる。このような判定により、送風をする、しないが切り替えられたり、又は、風量が適正に変更されたりすると、常に送風するような場合と比較して、送風に用いる電気等を少なくでも切る。ゆえに、クリーンルームにおけるエネルギーの使用量を少なくできる。
【０００９】
また、前記温度計測部は、
複数の箇所で前記温度を計測し（例えば、図４等のように計測する。）、
前記温度のうち、最も高温となる最高温度（例えば、最高温度ＳＲ１１等である。）と、前記温度のうち、最も低温となる最低温度（例えば、最低温度ＳＲ１２等である。）とが抽出され、
前記判定部は、
前記最高温度と、前記最低温度との温度差（例えば、温度差ＳＲ１等である。）に基づいて判定される第１風量（例えば、図６に示す第１判定結果Ｊ１等である。）と、前記清浄度に基づいて定まる第２風量（例えば、図６に示す第２判定結果Ｊ２等である。）を判定し、
前記第１風量及び前記第２風量のうち、大きい方の風量を採用するように判定する（例えば、図６に示す判定結果Ｊ３等である。）。
【００１０】
以上のような構成により、クリーンルームシステムは、温度及び清浄度の環境条件を満たすのに適正な風量が特定できる。それらのうち、最も大きい風量を採用すると、温度及び清浄度の環境条件を満たすのに、最も風量が必要な環境条件に合わせて風量を設定できる。
（【００１１】以降は省略されています）

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