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公開番号2025002377
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-09
出願番号2023102516
出願日2023-06-22
発明の名称加工システム、プログラム、非一時的な記録媒体、及び学習済みモデルの生成方法
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/301 20060101AFI20241226BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】キーパターンが設定されなくとも加工予定領域の位置に関する情報を得ることができる加工システムを提供する。
【解決手段】被加工物を加工するための加工システムであって、被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、チャックテーブルに保持された被加工物を撮像する撮像ユニットと、処理装置及び記憶装置を有するコントローラと、を含み、記憶装置には、被加工物の写った第1画像が入力されると被加工物に設定されている直線状の加工予定領域の位置に関する情報を出力するように機械学習によって構成された学習済みモデルと、プログラムと、が記憶されている。
【選択図】図7
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を加工するための加工システムであって、
該被加工物を保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、
該チャックテーブルに保持された該被加工物を撮像する撮像ユニットと、
処理装置及び記憶装置を有するコントローラと、を含み、
該記憶装置には、該被加工物の写った第１画像が入力されると該被加工物に設定されている直線状の加工予定領域の位置に関する情報を出力するように機械学習によって構成された学習済みモデルと、プログラムと、が記憶されており、
該コントローラは、該プログラム及び該学習済みモデルに従い、
該チャックテーブルに保持された該被加工物を該撮像ユニットに撮像させて該第１画像を取得する手順と、
該第１画像から該加工予定領域の位置に関する該情報を取得する手順と、
該情報に基づき該加工ユニットに該加工予定領域を加工させる手順と、を実行する加工システム。
続きを表示（約 2,100 文字）【請求項２】
該学習済みモデルは、該第１画像が入力される入力層と、該加工予定領域の位置に関する該情報を出力する出力層と、を含むニューラルネットワークである請求項１に記載の加工システム。
【請求項３】
該加工システムは、
該加工ユニットと該チャックテーブルとを加工送り方向に相対的に移動させる加工送り機構と、
該チャックテーブルを回転させる回転機構と、を更に含み、
該コントローラは、該プログラムに従い、
該加工予定領域の方向が該加工送り方向に対して平行になるように該情報に基づき該チャックテーブルを回転させる手順を更に実行する請求項１に記載の加工システム。
【請求項４】
該情報は、該加工予定領域のおおよその位置を示す第２画像であり、
該コントローラは、該プログラムに従い、
該第２画像に画像処理を施して該加工予定領域の外縁を検出する手順と、
検出された該外縁から該加工予定領域の幅の方向での中央の位置を算出する手順と、
該中央の位置を該加工ユニットに加工させる該加工予定領域の位置として設定する手順と、を更に実行する請求項１に記載の加工システム。
【請求項５】
被加工物を加工するための加工システムであって、
該被加工物を保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、
該チャックテーブルに保持された該被加工物を撮像する撮像ユニットと、
それぞれが処理装置及び記憶装置を有する第１コントローラ及び第２コントローラと、を含み、
該第１コントローラの該記憶装置には、第１プログラムが記憶されており、
該第２コントローラの該記憶装置には、該被加工物の写った第１画像が入力されると該被加工物に設定されている直線状の加工予定領域の位置に関する情報を出力するように機械学習によって構成された学習済みモデルと、第２プログラムと、が記憶されており、
該第１コントローラは、該第１プログラムに従い、
該チャックテーブルに保持された該被加工物を該撮像ユニットに撮像させて該第１画像を取得する手順と、
該第１画像を該第２コントローラに送る手順と、
該第２コントローラから該加工予定領域の位置に関する該情報又はこれに基づく情報を受け取る手順と、
該第２コントローラから受け取った情報に基づき該加工ユニットに該加工予定領域を加工させる手順と、を実行し、
該第２コントローラは、該第２プログラム及び該学習済みモデルに従い、
該第１画像を該第１コントローラから受け取る手順と、
該第１画像から該加工予定領域の位置に関する該情報を取得する手順と、
該加工予定領域の位置に関する該情報又はこれに基づく情報を該第１コントローラに送る手順と、を実行する加工システム。
【請求項６】
該学習済みモデルは、該第１画像が入力される入力層と、該加工予定領域の位置に関する該情報を出力する出力層と、を含むニューラルネットワークである請求項５に記載の加工システム。
【請求項７】
該加工システムは、
該加工ユニットと該チャックテーブルとを加工送り方向に相対的に移動させる加工送り機構と、
該チャックテーブルを回転させる回転機構と、を更に含み、
該第１コントローラは、該第１プログラムに従い、
該加工予定領域の方向が該加工送り方向に対して平行になるように該情報に基づき該チャックテーブルを回転させる手順を更に実行する請求項５に記載の加工システム。
【請求項８】
該情報は、該加工予定領域のおおよその位置を示す第２画像であり、
該第１コントローラは、該第１プログラムに従い、
該第２画像に画像処理を施して該加工予定領域の外縁を検出する手順と、
検出された該外縁から該加工予定領域の幅の方向での中央の位置を算出する手順と、
該中央の位置を該加工ユニットに加工させる該加工予定領域の位置として設定する手順と、を更に実行する請求項５に記載の加工システム。
【請求項９】
被加工物に設定されている直線状の加工予定領域の位置に関する情報を得るためのプログラムであって、
該被加工物の写った第１画像が入力されると該被加工物に設定されている直線状の該加工予定領域の位置に関する情報を出力するように機械学習によって構成された学習済みモデルを含み、
該学習済みモデルに該第１画像を入力する手順と、
該学習済みモデルの演算を実行する手順と、をコンピュータに実行させるプログラム。
【請求項１０】
該学習済みモデルは、該第１画像が入力される入力層と、該加工予定領域の位置に関する該情報を出力する出力層と、を含むニューラルネットワークである請求項９に記載のプログラム。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物を加工するための加工システム、被加工物の加工予定領域の位置に関する情報を得るためのプログラム、プログラムが記憶された非一時的な記録媒体、及び被加工物の加工予定領域の位置に関する情報を出力する学習済みモデルを生成するための学習済みモデルの生成方法に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハのような板状の被加工物を直線状の加工予定領域で加工する際には、被加工物を撮像して得られる画像から特徴的なパターンを抽出するパターンマッチングと呼ばれる方法により、被加工物中の加工予定領域の位置が加工装置により算出される（例えば、特許文献１参照）。加工装置は、算出された加工予定領域の位置に基づき、被加工物を高精度に加工する。
【０００３】
この方法では、被加工物に設けられているデバイス等の特徴的なパターン（光学的に識別できる模様）が、加工装置のオペレータによりキーパターンとして選択され、事前に加工装置に設定される。キーパターンから加工予定領域までの距離は既知なので、加工装置は、設定されたキーパターンに類似するパターンを画像から抽出することにより、加工予定領域の位置を算出できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００５－１６６９９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上述したパターンマッチングでは、キーパターンに適した特徴的なパターンがオペレータにより選択され、加工装置に設定される必要がある。このため、例えば、オペレータの経験が浅く、適切なキーパターンが設定されない状況では、加工装置は、加工予定領域の位置を算出できず、被加工物を加工できない。
【０００６】
よって、本発明の目的は、キーパターンが設定されなくとも加工予定領域の位置に関する情報を得ることができる加工システム等を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一側面によれば、被加工物を加工するための加工システムであって、該被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を撮像する撮像ユニットと、処理装置及び記憶装置を有するコントローラと、を含み、該記憶装置には、該被加工物の写った第１画像が入力されると該被加工物に設定されている直線状の加工予定領域の位置に関する情報を出力するように機械学習によって構成された学習済みモデルと、プログラムと、が記憶されており、該コントローラは、該プログラム及び該学習済みモデルに従い、該チャックテーブルに保持された該被加工物を該撮像ユニットに撮像させて該第１画像を取得する手順と、該第１画像から該加工予定領域の位置に関する該情報を取得する手順と、該情報に基づき該加工ユニットに該加工予定領域を加工させる手順と、を実行する加工システムが提供される。
【０００８】
好ましくは、該学習済みモデルは、該第１画像が入力される入力層と、該加工予定領域の位置に関する該情報を出力する出力層と、を含むニューラルネットワークである。
【０００９】
また、好ましくは、該加工システムは、該加工ユニットと該チャックテーブルとを加工送り方向に相対的に移動させる加工送り機構と、該チャックテーブルを回転させる回転機構と、を更に含み、該コントローラは、該プログラムに従い、該加工予定領域の方向が該加工送り方向に対して平行になるように該情報に基づき該チャックテーブルを回転させる手順を更に実行する。
【００１０】
また、好ましくは、該情報は、該加工予定領域のおおよその位置を示す第２画像であり、該コントローラは、該プログラムに従い、該第２画像に画像処理を施して該加工予定領域の外縁を検出する手順と、検出された該外縁から該加工予定領域の幅の方向での中央の位置を算出する手順と、該中央の位置を該加工ユニットに加工させる該加工予定領域の位置として設定する手順と、を更に実行する。
（【００１１】以降は省略されています）

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