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公開番号2024177905
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-24
出願番号2023096302
出願日2023-06-12
発明の名称セラミック屑除去装置
出願人株式会社村田製作所
代理人弁理士法人WisePlus
主分類B08B 11/00 20060101AFI20241217BHJP(清掃)
要約【課題】支持フィルムの表面から、セラミックグリーンシートの残渣であるセラミック屑を容易に除去することのできる、セラミック屑除去装置を提供する。
【解決手段】支持フィルム(3)と、上記支持フィルム(3)の表面に付着したセラミックグリーンシートの残渣であるセラミック屑(7)と、からなるフィルム(1)を搬送する搬送機構(20)と、上記セラミック屑(7)を上記支持フィルム(3)から剥離する剥離機構(40)と、を備え、上記剥離機構(40)は、メディア(43)が貯留されたメディア槽(41)と、上記メディア(43)に超音波を加えて上記メディア(43)を振動させる超音波素子(45)と、を有し、上記フィルム(1)が、上記メディア槽(41)内を通過するよう構成されている、ことを特徴とするセラミック屑除去装置(100)。
【選択図】図2

特許請求の範囲【請求項１】
支持フィルムと、前記支持フィルムの表面に付着したセラミックグリーンシートの残渣であるセラミック屑と、からなるフィルムを搬送する搬送機構と、
前記セラミック屑を前記支持フィルムから剥離する剥離機構と、を備え、
前記剥離機構は、メディアが貯留されたメディア槽と、前記メディアに超音波を加えて前記メディアを振動させる超音波素子と、を有し、
前記フィルムが、前記メディア槽内を通過するよう構成されている、ことを特徴とするセラミック屑除去装置。
続きを表示（約 420 文字）【請求項２】
前記メディア槽の表層付近に、前記メディア槽内の前記セラミック屑を吸引する吸引ノズルが設けられている、請求項１に記載のセラミック屑除去装置。
【請求項３】
前記超音波素子が発生する超音波の周波数は、２０ｋＨｚ以上、４０ｋＨｚ以下である、請求項１又は２に記載のセラミック屑除去装置。
【請求項４】
前記剥離機構は、複数の前記超音波素子を有し、
複数の前記超音波素子がそれぞれ発生する超音波の重ね合わせにより、前記メディア槽内の所定の位置の前記メディアだけを振動させるよう構成されている、請求項１又は２に記載のセラミック屑除去装置。
【請求項５】
前記メディアは、樹脂からなる樹脂メディアである、請求項１又は２に記載のセラミック屑除去装置。
【請求項６】
前記メディアは、金属からなる金属メディアである、請求項１又は２に記載のセラミック屑除去装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、セラミック屑除去装置に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
積層セラミックコンデンサ等の電子部品を製造する方法として、焼成前のセラミック材料をシート状に成形したセラミックグリーンシートを積層し、加圧成形した後に、焼成・個片化することで小型の電子部品を一度に大量に生産する方法が知られている。
【０００３】
セラミックグリーンシートは、通常、取り扱い性を向上させるために、支持体となる樹脂フィルム（支持フィルムともいう）の表面に形成されており、使用する際に支持フィルムの表面から剥離される。
支持フィルムからセラミックグリーンシートを剥離する際には、支持フィルムの表面にセラミックグリーンシートの一部が残存することがある。このような支持フィルムを再資源化するためには、セラミックグリーンシートの残渣であるセラミック屑を清掃（除去）する工程が必要となる。
【０００４】
例えば、特許文献１には、樹脂フィルムに第１粘着ロールを接触させて、樹脂フィルムに付着した付着物を第１粘着ロールに付着させるフィルム清掃工程を備える剥離フィルムのリサイクル方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１０－００５５９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、近年では、電子部品の小型化に伴いセラミックグリーンシートの薄膜化が進行している。セラミックグリーンシートが薄膜化するとハンドリング性が低下するため、これを抑制するために、セラミックグリーンシートと支持フィルムとの間の保持力が高められる場合がある。
【０００７】
そのため、特許文献１に記載の方法では、セラミックグリーンシートと支持フィルムの間の保持力が強く、セラミックグリーンシートの残渣であるセラミック屑を完全に除去できない場合があった。
【０００８】
本発明は、上記の問題を解決するためになされたものであり、支持フィルムの表面から、セラミックグリーンシートの残渣であるセラミック屑を容易に除去することのできる、セラミック屑除去装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のセラミック屑除去装置は、支持フィルムと、上記支持フィルムの表面に付着したセラミックグリーンシートの残渣であるセラミック屑と、からなるフィルムを搬送する搬送機構と、上記セラミック屑を上記支持フィルムから剥離する剥離機構と、を備え、上記剥離機構は、メディアが貯留されたメディア槽と、上記メディアに超音波を加えて上記メディアを振動させる超音波素子と、を有し、上記フィルムが、上記メディア槽内を通過するよう構成されている、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、支持フィルムの表面からセラミックグリーンシートの残渣であるセラミック屑を容易に除去することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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