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公開番号2025039349
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-21
出願番号2023146401
出願日2023-09-08
発明の名称除塵装置
出願人CKD株式会社
代理人個人,個人
主分類B08B 5/00 20060101AFI20250313BHJP(清掃)
要約【課題】除塵装置の長手方向の両端部の吸引力を向上させる。
【解決手段】除塵装置(10)は、直方体状に形成された本体(22)と、気体を斜め下方へ噴出する複数の噴出部(70)とを有し、本体の内部には本体の長手方向に延びる供給室が形成され、複数の噴出部が長手方向に並べられてそれぞれ供給室に連通している、2つの除塵ヘッド(21)と、気体を吸引するダクトに接続される接続部(16)と、2つの除塵ヘッドが互いに長手方向の向きを一致させて対向するように固定する一対の側面部(13)とを有し、2つの除塵ヘッドの本体の間の空間(S)と接続部との間に気体を吸引する吸引流路を形成するフード(11)と、を備える。接続部は、フードにおいて長手方向の中央の上部に設けられ、フードは、互いに対向する本体の間の空間において長手方向の両端部を、本体の下部(22a)の高さから接続部に向けて斜めに区画する区画部(60)を備える。
【選択図】図14
特許請求の範囲【請求項１】
直方体状に形成された本体と、除塵対象に向けて気体を斜め下方へ噴出する複数の噴出部とを有し、前記本体の内部には前記本体の長手方向に延びる供給室が形成され、前記複数の噴出部が前記長手方向に並べられてそれぞれ前記供給室に連通している、２つの除塵ヘッドと、
気体を吸引するダクトに接続される接続部と、前記２つの除塵ヘッドが互いに前記長手方向の向きを一致させて対向するように固定する一対の側面部とを有し、前記２つの除塵ヘッドの前記本体の間の空間と前記接続部との間に気体を吸引する吸引流路を形成するフードと、を備える除塵装置であって、
前記接続部は、前記フードにおいて前記長手方向の中央の上部に設けられ、
前記フードは、互いに対向する前記本体の間の前記空間において前記長手方向の両端部を、前記本体の下部の高さから前記接続部に向けて斜めに区画する区画部を備える、除塵装置。
続きを表示（約 760 文字）【請求項２】
前記フードは、前記２つの除塵ヘッドの前記本体の上方、及び前記区画部の上方を覆う覆い部を備える、請求項１に記載の除塵装置。
【請求項３】
前記区画部は、前記覆い部に固定されている、請求項２に記載の除塵装置。
【請求項４】
互いに対向する前記本体の前記長手方向の両端部において、互いに対向する前記本体に挟まれて前記本体にそれぞれ当接する直方体状の中間ブロックが設けられ、
前記中間ブロックの前記空間側の下部に、前記中間ブロックの底面に対して傾斜する傾斜面が形成されており、
前記区画部の下部は前記傾斜面に固定されている、請求項３に記載の除塵装置。
【請求項５】
前記区画部において前記空間よりも上の部分は、前記本体の上部及び前記一対の側面部に接続されており、
前記区画部の上方は覆われていない、請求項１に記載の除塵装置。
【請求項６】
前記２つの除塵ヘッドの前記本体と前記区画部とを連結する連結部材を備える、請求項５に記載の除塵装置。
【請求項７】
前記区画部の下端は、前記本体の下端から上側に所定高さの位置に配置されている、請求項１～６のいずれか１項に記載の除塵装置。
【請求項８】
前記所定高さは５～３０［ｍｍ］である、請求項７に記載の除塵装置。
【請求項９】
前記区画部は、互いに対向する前記本体の間の前記空間に挿入された幅狭部と、前記空間よりも上側において前記一対の側面部に接続された幅広部とを有している、請求項１～６のいずれか１項に記載の除塵装置。
【請求項１０】
前記幅広部の下部を支持する支持部材を備える、請求項９に記載の除塵装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、露光用マスクやガラス基板等の精密な除塵対象から塵を除去する除塵装置に関する。
続きを表示（約 2,400 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、除塵対象に吹き付ける気体を噴出する２つの除塵ヘッドと、空気を吸引するダクトに上側の開口が接続されて下側の開口から空気を吸引する矩形筒状のフードと、を備え、２つの除塵ヘッドから噴出する気体がフードの下方内側へ向かうようにフードに２つの除塵ヘッドを対向させて取り付け、２つの除塵ヘッドから噴出する気体をフードの下方内側で衝突させてフードを介してダクトへ吸引する除塵装置がある（特許文献１参照）。特許文献１に記載の除塵ヘッドは、直方体状に形成された本体と、気体を噴出する複数の噴出部とを備えている。本体の内部には本体の長手方向（以下、単に「長手方向」という）に延びる供給室が形成され、長手方向に並んだ複数の噴出部がそれぞれ供給室に連通している。そして、供給室に気体を導入し、供給室を介して複数の噴出部へそれぞれ気体を供給している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－１６０２５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、特許文献１に記載の除塵装置では、長手方向においてフードの中央の上部にダクトが接続されている。そして、互いに対向する除塵ヘッドの本体の間の空間を、フードにより上方へ吸引している。供給室から複数の噴出部へ必要な量の気体を供給するためには、供給室の流路面積を大きくする必要があり、除塵ヘッドの本体の高さが高くなりやすい。このため、互いに対向する除塵ヘッドの本体の間の空間において、長手方向の両端部の気体がダクトの方向へ流れずに滞留しやすくなる。その結果、除塵装置の長手方向の両端部の吸引力が低下し、吸引力が低下した部分において除塵対象に塵が残るおそれがある。特に、除塵対象の外縁に枠が取り付けられており、枠の部分が他の部分よりも高い場合は、枠の内側近傍に塵が残りやすい。
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その主たる目的は、除塵装置の長手方向の両端部の吸引力を向上させることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するための第１の手段は、
直方体状に形成された本体と、除塵対象に向けて気体を斜め下方へ噴出する複数の噴出部とを有し、前記本体の内部には前記本体の長手方向に延びる供給室が形成され、前記複数の噴出部が前記長手方向に並べられてそれぞれ前記供給室に連通している、２つの除塵ヘッドと、
気体を吸引するダクトに接続される接続部と、前記２つの除塵ヘッドが互いに前記長手方向の向きを一致させて対向するように固定する一対の側面部とを有し、前記２つの除塵ヘッドの前記本体の間の空間と前記接続部との間に気体を吸引する吸引流路を形成するフードと、を備える除塵装置であって、
前記接続部は、前記フードにおいて前記長手方向の中央の上部に設けられ、
前記フードは、互いに対向する前記本体の間の前記空間において前記長手方向の両端部を、前記本体の下部の高さから前記接続部に向けて斜めに区画する区画部を備える。
【０００７】
上記構成によれば、２つの除塵ヘッドは、直方体状に形成された本体と、除塵対象に向けて気体を斜め下方へ噴出する複数の噴出部とを有している。そして、前記本体の内部には前記本体の長手方向に延びる供給室が形成され、前記複数の噴出部が前記長手方向に並べられてそれぞれ前記供給室に連通している。このため、供給室に気体を導入することにより、供給室を介して複数の噴出部へそれぞれ気体を供給することができる。そして、前記長手方向に並べられた前記複数の噴出部から、除塵対象に向けて気体を斜め下方へ噴出することができ、除塵対象に付いた塵を吹き飛ばすことができる。
【０００８】
フードの一対の側面部は、前記２つの除塵ヘッドが互いに前記長手方向の向きを一致させて対向するように固定する。そして、フードは、前記２つの除塵ヘッドの前記本体の間の空間と、気体を吸引するダクトに接続される接続部との間に前記気体を吸引する吸引流路を形成している。このため、除塵対象から吹き飛ばされた塵を、２つの除塵ヘッドの互いの前記噴出部から噴出された前記気体と共に、前記２つの除塵ヘッドの前記本体の間の空間からフードを介してダクトへ吸引することができる。
【０００９】
ここで、供給室から複数の噴出部へ必要な量の気体を供給するためには、供給室の流路面積を大きくする必要があり、除塵ヘッドの本体の高さが高くなりやすい。このため、互いに対向する前記本体の間の空間において、長手方向の両端部の気体がダクトの方向へ流れずに滞留しやすくなる。この点、前記フードは、互いに対向する前記本体の間の前記空間において前記長手方向の両端部を、前記本体の下部の高さから前記接続部に向けて斜めに区画する区画部を備えている。このため、除塵ヘッドの本体の高さが高くなった場合であっても、互いに対向する前記本体の間の空間における長手方向の両端部の気体を、区画部に沿わせて接続部、すなわちダクトの方向へ流しやすくなる。したがって、除塵装置の長手方向の両端部の吸引力を向上させることができ、除塵対象に塵が残ることを抑制することができる。
【００１０】
第２の手段では、前記フードは、前記２つの除塵ヘッドの前記本体の上方、及び前記区画部の上方を覆う覆い部を備える。こうした構成によれば、前記２つの除塵ヘッドの前記本体の間の空間と前記接続部との間を覆い部によりまとめて覆いやすくなり、フードから気体が漏れることを抑制することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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