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公開番号2025080751
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-26
出願番号2024185944
出願日2024-10-22
発明の名称傾き調整装置
出願人CKD株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/60 20060101AFI20250519BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】基準面に荷重を発生させることなく基準面と第1圧着ツール端面とを平行に調整できるとともに、装置基台の軸方向への大型化を抑制できる傾き調整装置を提供する。
【解決手段】傾き調整装置100は、圧着ツール21と、揺動体22と、シャフト23と、位置決め機構50と、板ばね56と、を有する。位置決め機構50は、第1可動部材53を移動させる第1超音波モータと、第2可動部材55を移動させる第2超音波モータを有する。シャフト23は、第2可動部材55と板ばね56により接続されている。板ばね56は、撓み変形可能であり、且つ、基台軸LBが延びる方向を板厚方向Tとする。傾き調整装置100は、第1可動部材53及び第2可動部材55を移動させることにより、板ばね56と、シャフト23、及び揺動体22を介し、第1圧着ツール端面21aと基準面Sとの平行調整を行う。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
第１揺動体端面を有するとともに凸状球面である第２揺動体端面を有する揺動体と、
前記揺動体における前記第２揺動体端面から突出しているシャフトと、
前記第１揺動体端面に取り付けられる第２圧着ツール端面を有するとともに、前記第２圧着ツール端面と異なる端面を第１圧着ツール端面として有する圧着ツールと、
前記第２揺動体端面と係合する凹状球面である第１基台端面を有するとともに、前記シャフトが貫通する装置基台であって、前記第１基台端面と異なる端面を第２基台端面として有する前記装置基台と、を有し、
前記第１圧着ツール端面と基準面とが平行となるように前記揺動体の傾きを調整する傾き調整装置であって、
前記第２基台端面に平行な面内において前記シャフトの先端部の位置を変化させることにより、前記シャフトを介して、前記揺動体を揺動させる位置決め機構と、
前記シャフトに接続される板ばねと、を有し、
前記位置決め機構は、
複数のアクチュエータと、
前記複数のアクチュエータの各々により移動する複数の可動部材と、を有し、
前記板ばねは、
前記位置決め機構による前記シャフトの前記先端部の位置の変化に伴って撓み変形可能であり、且つ前記装置基台の軸である基台軸が延びる方向を板厚方向とし、
前記揺動体が前記シャフトを介して前記装置基台に対して揺動可能となるように、前記複数の可動部材のうち少なくとも一つと前記シャフトとが前記板ばねにより接続されていることを特徴とする傾き調整装置。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記位置決め機構は、
前記複数のアクチュエータとして、第１アクチュエータ及び第２アクチュエータを有するとともに、複数の可動部材として第１可動部材及び第２可動部材を有し、
前記第１可動部材と前記第２可動部材は、前記基台軸の延びる方向に重ねて配置されるとともに、前記第２可動部材は、前記第１可動部材を挟んで前記第１基台端面と反対側に配置され、
前記第１可動部材は、前記第１アクチュエータの有する第１アクチュエータ可動部により前記基台軸に直交する方向である第１方向へ移動可能であるとともに、前記第２可動部材は、前記第２アクチュエータの有する第２アクチュエータ可動部により前記基台軸に直交する方向、且つ前記第１方向に直交する方向である第２方向へ移動可能であり、
前記第１可動部材は、前記シャフトが挿通する第１可動部材挿通孔を画定し、前記第２可動部材は、前記シャフトが挿通する第２可動部材挿通孔を画定し、
前記板ばねは、前記第１可動部材挿通孔及び前記第２可動部材挿通孔を貫通した前記シャフトの前記先端部と、前記第２可動部材とを接続していることを特徴とする請求項１に記載の傾き調整装置。
【請求項３】
前記揺動体は、
前記シャフトが貫通する揺動体挿入孔を画定する揺動体内周面と、
前記揺動体の内部に形成されるとともに、前記揺動体挿入孔を介して前記揺動体の外部と連通するロック用揺動体室と、
前記揺動体内周面と連続するとともに、前記第１揺動体端面と前記第２揺動体端面との間に形成される保持用揺動体端面と、を有し、
前記基台軸の延びる方向へ往復動可能に前記装置基台の内部に設けられ、且つ前記シャフトの外面から離間して前記シャフトを囲むロックピストンと、
前記ロックピストンと一体的に往復動し、前記保持用揺動体端面と係合するロックシャフト係合面を有するとともに、前記シャフトの外面から離間して前記シャフトを囲むロックシャフトと、を含むロック機構を有することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の傾き調整装置。
【請求項４】
前記板ばねは、前記板厚方向から見て、前記第１方向、及び前記第２方向に延びる十字状であることを特徴とする請求項２に記載の傾き調整装置。
【請求項５】
前記板ばねに取り付けられる保持ブロックと、
前記保持ブロックを前記先端部に支持する軸受と、を有し、
前記シャフトは、前記保持ブロック、及び前記軸受を介して前記板ばねと接続していることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の傾き調整装置。
【請求項６】
前記各アクチュエータは、超音波モータを有することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の傾き調整装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、傾き調整装置に関する。
続きを表示（約 2,700 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造装置における、基準ステージにワークを接合する接合装置は、圧着ツール端面を備えるツールと基準ステージとを平行に調整する倣い装置を備える。
例えば、特許文献１は、凹状半球面を有する装置基台と、装置基台の凹状半球面と同じ曲率半径である凸状半球面を有する揺動体及びツールからなる倣い部材と、を備える倣い装置を開示している。また、特許文献１で開示されている倣い装置は、倣い部材と係合する保持部材と、保持部材を介して、装置基台の軸方向であるＺ軸方向において倣い部材を装置基台へ押し付けるアクチュエータと、を備えている。倣い部材は、凸状半球面と凹状半球面とが重なり合うとともに、凹状半球面に沿って回動可能となるように、装置基台に組み付けられている。倣い装置は、基準ステージの上面に対して、圧着ツール端面であるツールの先端面を押し当てるとともに、装置基台の凹状半球面に沿って倣い部材を回動させることにより、倣い部材を、基準ステージに対して平行となるように倣わせる。また、倣い装置は、基準ステージと平行となった倣い部材を、保持部材を介して、アクチュエータにより装置基台に押し付けることで、倣い部材の倣い状態を保持する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第４０８１２４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の倣い装置では、ツールの先端面と基準ステージとを平行に調整する倣い動作の際に、基準ステージに荷重を発生させる虞がある。当該荷重を発生させることなく平行調整をする装置として、例えば、アクチュエータを用いてツールを駆動することにより、ツールの先端面と基準ステージとを平行に調整する傾き調整装置が考えられる。傾き調整装置においては、アクチュエータを備えつつ、Ｚ軸方向への大型化を抑制することが望まれている。
【０００５】
本発明は、このような事情を鑑みてなされたものである。本発明の目的は、基準面と第１圧着ツール端面との平行調整の際に、基準面に荷重を発生させることなく、基準面と第１圧着ツール端面とを平行に調整でき、且つ、装置基台の軸方向に小型化される傾き調整装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記問題点を解決するための傾き調整装置は、第１揺動体端面を有するとともに凸状球面である第２揺動体端面を有する揺動体と、前記揺動体における前記第２揺動体端面から突出しているシャフトと、前記第１揺動体端面に取り付けられる第２圧着ツール端面を有するとともに、前記第２圧着ツール端面と異なる端面を第１圧着ツール端面として有する圧着ツールと、前記第２揺動体端面と係合する凹状球面である第１基台端面を有するとともに、前記シャフトが貫通する装置基台であって、前記第１基台端面と異なる端面を第２基台端面として有する前記装置基台と、を有し、前記第１圧着ツール端面と基準面とが平行となるように前記揺動体の傾きを調整する傾き調整装置であって、前記第２基台端面に平行な面内において前記シャフトの先端部の位置を変化させることにより、前記シャフトを介して、前記揺動体を揺動させる位置決め機構と、前記シャフトに接続される板ばねと、を有し、前記位置決め機構は、複数のアクチュエータと、前記複数のアクチュエータの各々により移動する複数の可動部材と、を有し、前記板ばねは、前記位置決め機構による前記シャフトの前記先端部の位置の変化に伴って撓み変形可能であり、且つ前記装置基台の軸である基台軸が延びる方向を板厚方向とし、前記揺動体が前記シャフトを介して前記装置基台に対して揺動可能となるように、前記複数の可動部材のうち少なくとも一つと前記シャフトとが前記板ばねにより接続されていることを要旨とする。
【０００７】
上記傾き調整装置において、前記位置決め機構は、前記複数のアクチュエータとして、第１アクチュエータ及び第２アクチュエータを有するとともに、複数の可動部材として第１可動部材及び第２可動部材を有し、前記第１可動部材と前記第２可動部材は、前記基台軸の延びる方向に重ねて配置されるとともに、前記第２可動部材は、前記第１可動部材を挟んで前記第１基台端面と反対側に配置され、前記第１可動部材は、前記第１アクチュエータの有する第１アクチュエータ可動部により前記基台軸に直交する方向である第１方向へ移動可能であるとともに、前記第２可動部材は、前記第２アクチュエータの有する第２アクチュエータ可動部により前記基台軸に直交する方向、且つ前記第１方向に直交する方向である第２方向へ移動可能であり、前記第１可動部材は、前記シャフトが挿通する第１可動部材挿通孔を画定し、前記第２可動部材は、前記シャフトが挿通する第２可動部材挿通孔を画定し、前記板ばねは、前記第１可動部材挿通孔及び前記第２可動部材挿通孔を貫通した前記シャフトの前記先端部と、前記第２可動部材とを接続してもよい。
【０００８】
上記傾き調整装置において、前記揺動体は、前記シャフトが貫通する揺動体挿入孔を画定する揺動体内周面と、前記揺動体の内部に形成されるとともに、前記揺動体挿入孔を介して前記揺動体の外部と連通するロック用揺動体室と、前記揺動体内周面と連続するとともに、前記第１揺動体端面と前記第２揺動体端面との間に形成される保持用揺動体端面と、を有し、前記基台軸の延びる方向へ往復動可能に前記装置基台の内部に設けられ、且つ前記シャフトの外面から離間して前記シャフトを囲むロックピストンと、前記ロックピストンと一体的に往復動し、前記保持用揺動体端面と係合するロックシャフト係合面を有するとともに、前記シャフトの外面から離間して前記シャフトを囲むロックシャフトと、を含むロック機構を有してもよい。
【０００９】
上記傾き調整装置において、前記板ばねは、前記板厚方向から見て、前記第１方向、及び前記第２方向に延びる十字状であってもよい。
上記傾き調整装置において、前記板ばねに取り付けられる保持ブロックと、前記保持ブロックを前記先端部に支持する軸受と、を有し、前記シャフトは、前記保持ブロック、及び前記軸受を介して前記板ばねと接続してもよい。
【００１０】
上記傾き調整装置において、前記各アクチュエータは、超音波モータを有してもよい。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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