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公開番号2025113964
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-04
出願番号2024154681
出願日2024-09-09
発明の名称流体制御弁
出願人CKD株式会社
代理人弁理士法人コスモス国際特許商標事務所
主分類F16K 27/00 20060101AFI20250728BHJP(機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段)
要約【課題】ボルト等の固定具を用いることなくシリンダ部とボディ部とを結合することがで
きる流体制御弁を提供すること。
【解決手段】ボディ部3Aとシリンダ部2Aに挟まれた状態で流体制御弁1に装填される内部部材4を備え、ボディ部3Aは、シリンダ部2A側の端面311にボディフランジ313を備え、シリンダ部2Aは、ボディ部3A側の端面211に、ボディフランジ313と係合することで、ボディ部3Aを保持するシリンダスナップ216を備え、シリンダスナップ216とボディフランジ313が係合されているときに、内部部材4は、シリンダ部2Aに押圧されることで、ダイヤフラム弁体5をボディ部3Aとともに挟持固定すること、シリンダ部2Aの、制御流体の流れ方向に対して垂直方向の両端面にシリンダ切欠部217が形成されていること、ボディフランジ313の、流れ方向に対して垂直方向の両端面に薄肉部314が形成されていること。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
弁座と前記弁座に対して当接離間をするダイヤフラム弁体とを備えるボディ部と、
前記ダイヤフラム弁体の前記当接離間を行うためのシリンダ部と、
が積み重なってなる流体制御弁において、
前記シリンダ部は、前記ボディ部を保持するためのスナップ構造体を備えること、
前記ボディ部は、前記スナップ構造体に係合するボディ側係合部を備えること、
を特徴とする流体制御弁。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
請求項１に記載する流体制御弁において、
前記ボディ部と前記シリンダ部に挟まれた状態で、流体制御弁の内部に装填される内部部材を備えること、
前記ボディ部は、前記シリンダ部の側の第１端面に前記ボディ側係合部としてのボディフランジを備えること、
前記シリンダ部は、前記ボディ部の側の第２端面に、前記ボディフランジと係合することで、前記ボディ部を保持する前記スナップ構造体を備えること、
前記スナップ構造体と前記ボディフランジが係合されているときに、前記内部部材は、前記内部部材の外周に形成された大径部の前記シリンダ部の側の面が前記シリンダ部に押圧されることで、前記内部部材の前記ボディ部の側の面が、前記ダイヤフラム弁体を前記ボディ部とともに挟持固定すること、
前記シリンダ部の、制御流体の流れ方向に対して垂直方向の両端面にシリンダ切欠部が形成されていること、
前記ボディフランジの、前記垂直方向の両端面に薄肉部が形成されていること、
を特徴とする流体制御弁。
【請求項３】
請求項２に記載する流体制御弁において、
前記スナップ構造体は、前記第２端面の、前記流れ方向の両端部からそれぞれ立設された一対のシリンダスナップであること、
を特徴とする流体制御弁。
【請求項４】
請求項３に記載する流体制御弁において、
前記シリンダスナップは、スリットにより複数本に分割されていること、
を特徴とする流体制御弁。
【請求項５】
請求項２に記載する流体制御弁において、
前記スナップ構造体は、前記第２端面の、四隅に立設されていること、
を特徴とする流体制御弁。
【請求項６】
請求項１に記載する流体制御弁において、
前記ボディ部は、前記シリンダ部と、流体制御弁の固定を行うためのベース部材と、に挟まれて位置すること、
前記ベース部材は、前記スナップ構造体の、前記スナップ構造体と前記ボディ側係合部との係合が解除される方向への変形を抑えるための保持部を備えること、
を特徴とする流体制御弁。
【請求項７】
請求項６に記載の流体制御弁において、
前記スナップ構造体は、前記シリンダ部の前記ボディ部の側の第２端面から、前記ボディ部の前記ベース部材の側の第３端面まで延在し、前記スナップ構造体の先端部が、前記第３端面を前記ボディ側係合部として、前記第３端面に係合すること、
前記保持部は、
前記ボディ部の側に向かって突設され、前記先端部に挿し込み可能な凸状体、
または、
前記先端部を挿し込み可能な孔穴であること、
を特徴とする流体制御弁。
【請求項８】
請求項６に記載の流体制御弁において、
前記ボディ部は、前記ベース部材と係合するためのボディ係合部を備えること、
を特徴とする流体制御弁。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体制御弁に関するものである。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造工程における薬液の供給や洗浄液の供給には、例えば特許文献１に開示されるような流体制御弁が用いられている。従来技術に係る流体制御弁は、弁座と、弁座に対して当接離間をするダイヤフラム弁体と、を内部に有するボディ部、および、上記当接離間を行うための駆動源としてのシリンダ部を備えている。そして、ボディ部とシリンダ部とは、上下に積み重ねられた状態で、上下に挿通されるボルトによって結合されることが一般的に行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１１－１９６３９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記のような流体制御弁は、ボディ部とシリンダ部との結合にボルトを用いることから、ボルトを挿通するための構造を設けなければならず、その分だけ流体制御弁のサイズが大きくなってしまうという問題があった。流体制御弁のサイズが大きくなると、流体制御弁を設置するための占有面積が増大し、半導体製造装置の高密度化を阻害する。
【０００５】
加えて、ボルトを用いると、流体制御弁の部品点数がその分増えて製造コストが増大するという問題点や、薬液等の接触によりボルトが腐食するおそれがあるという問題点がある。
【０００６】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、ボルト等の固定具を用いることなくシリンダ部とボディ部とを結合することができる流体制御弁を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明の一態様における流体制御弁は、次のような構成を有している。
【０００８】
（１）弁座と前記弁座に対して当接離間をするダイヤフラム弁体とを備えるボディ部と、前記ダイヤフラム弁体の前記当接離間を行うためのシリンダ部と、が積み重なってなる流体制御弁において、前記シリンダ部は、前記ボディ部を保持するためのスナップ構造体を備えること、前記ボディ部は、前記スナップ構造体に係合するボディ側係合部を備えること、を特徴とする。
【０００９】
（２）（１）に記載する流体制御弁において、前記ボディ部と前記シリンダ部に挟まれた状態で、流体制御弁の内部に装填される内部部材を備えること、前記ボディ部は、前記シリンダ部の側の第１端面に前記ボディ側係合部としてのボディフランジを備えること、前記シリンダ部は、前記ボディ部の側の第２端面に、前記ボディフランジと係合することで、前記ボディ部を保持する前記スナップ構造体を備えること、前記スナップ構造体と前記ボディフランジが係合されているときに、前記内部部材は、前記内部部材の外周に形成された大径部の前記シリンダ部の側の面が前記シリンダ部に押圧されることで、前記内部部材の前記ボディ部の側の面が、前記ダイヤフラム弁体を前記ボディ部とともに挟持固定すること、前記シリンダ部の、制御流体の流れ方向に対して垂直方向の両端面にシリンダ切欠部が形成されていること、前記ボディフランジの、前記垂直方向の両端面に薄肉部が形成されていること、が好ましい。
【００１０】
（３）（２）に記載する流体制御弁において、前記スナップ構造体は、前記第２端面の、前記流れ方向の両端部からそれぞれ立設された一対のシリンダスナップであること、が好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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