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公開番号2024156639
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-06
出願番号2024070198
出願日2024-04-24
発明の名称電圧絶縁及び絶縁破壊試験用コンタクタ
出願人ボストンセミイクイップメントエルエルシー
代理人弁理士法人YKI国際特許事務所
主分類G01R 31/26 20200101AFI20241029BHJP(測定;試験)
要約【課題】電圧絶縁及び絶縁破壊試験のためのコンタクタが提供される。
【解決手段】デバイスの絶縁破壊電圧を試験するためのコンタクタ及び方法が開示されている。コンタクタは、デバイスが試験部位に配置されたときにデバイスと電気的接続を行うように構成された複数の電気接点を含む試験部位を含む。コンタクタは、第1のハウジング部分と第2のハウジング部分とを含むハウジングをさらに含む。第1のハウジング部分及び第2のハウジング部分は、互いに選択的に係合及び係合解除するように構成されている。第1のハウジング部分及び第2のハウジング部分は、係合時に密閉チャンバを画定し、密閉チャンバ内に試験部位を有する。コンタクタは、第1のハウジング部分と第2のハウジング部分とが係合されたときに、密閉チャンバを加圧するための加圧ガスを供給するように構成されたガス注入口をさらに含む。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
デバイスに試験電圧を印加するためのコンタクタであって、該コンタクタが、
試験部位であって、前記デバイスが前記試験部位に配置されたときに前記デバイスと電気的接続を行うように構成された複数の電気接点を含む、試験部位と、
第１のハウジング部分及び第２のハウジング部分を含むハウジングであって、該第１のハウジング部分及び該第２のハウジング部分が、互いに選択的に係合及び係合解除するように構成されており、該第１のハウジング部分と該第２のハウジング部分とが係合したときに密閉チャンバを画定し、前記試験部位が、該密閉チャンバ内にある、ハウジングと、
ガス注入口であって、前記第１のハウジング部分と前記第２のハウジング部分とが係合されたときに、前記密閉チャンバを加圧するために加圧ガスを供給するように構成された、ガス注入口と、
を備えることを特徴とする、コンタクタ。
続きを表示（約 1,400 文字）【請求項２】
前記第１のハウジング部分及び前記第２のハウジング部分が、非可撓性材料で作られており、前記コンタクタが、
前記第１のハウジング部分と前記第２のハウジング部分とが互いに係合したときに、それらの間にシールを形成するように構成されたガスケット
をさらに備えることを特徴とする、請求項１に記載のコンタクタ。
【請求項３】
前記試験部位で前記デバイスを保持するように構成された第１の位置と、前記試験部位から前記デバイスを解放するように構成された第２の位置との間で作動するように構成された試験用レッジであって、前記試験用レッジが、前記第１のハウジング部分又は前記第２のハウジング部分の一方を通って延在している、試験用レッジと、
前記試験用レッジと、前記試験用レッジが通って延在する前記第１のハウジング部分又は前記第２のハウジング部分の前記一方との間にシールを形成するように構成されたガスケットと、
をさらに備えることを特徴とする、請求項１に記載のコンタクタ。
【請求項４】
前記第２のハウジング部分が複数のセグメントを含み、前記コンタクタが、
１つ以上のガスケットであって、該１つ以上のガスケットのうちの各ガスケットが、前記第２のハウジング部分の前記複数のセグメントの隣接する対の間にシールを形成するように構成されている、１つ以上のガスケット
をさらに備えることを特徴とする、請求項１に記載のコンタクタ。
【請求項５】
前記第１のハウジング部分と前記第２のハウジング部分とを選択的に互いに係合及び係合解除するように構成された少なくとも１つのチャンバアクチュエータ
をさらに備えることを特徴とする、請求項１に記載のコンタクタ。
【請求項６】
前記少なくとも１つのチャンバアクチュエータが空気圧式であり、前記コンタクタが、前記少なくとも１つのチャンバアクチュエータを作動させるために加圧ガスを供給するように構成されたガス注入口をさらに備えることを特徴とする、請求項５に記載のコンタクタ。
【請求項７】
前記密閉チャンバを加圧するための前記加圧ガス、及び前記少なくとも１つのチャンバアクチュエータを作動させるための前記加圧ガスが、同じ供給源からのものであることを特徴とする、請求項６に記載のコンタクタ。
【請求項８】
前記デバイスを前記試験部位まで誘導したり、前記試験部位から誘導したりするように構成された軌道
をさらに備え、
前記軌道の一部が前記第２のハウジング部分のセグメントを成すことを特徴とする、請求項１に記載のコンタクタ。
【請求項９】
前記第１のハウジング部分と前記軌道の前記一部との間にシールを形成するように構成された第１のガスケットと、
前記軌道の前記一部と前記第２のハウジング部分の残りとの間にシールを形成するように構成された第２のガスケットと、
をさらに備えることを特徴とする、請求項８に記載のコンタクタ。
【請求項１０】
前記軌道が、重力に基づいて、前記デバイスを前記試験部位まで誘導したり、前記試験部位から誘導したりするように配置されていることを特徴とする、請求項８に記載のコンタクタ。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般に絶縁破壊電圧を試験するためのデバイス及び方法に関し、より具体的には、絶縁破壊電圧を試験するための加圧チャンバを備えたコンタクタ及び関連する方法に関する。
続きを表示（約 2,300 文字）【背景技術】
【０００２】
コンタクタは、半導体業界において、デバイスに電圧を印加して電圧絶縁及び絶縁破壊試験を行うために使用される装置であり、特に半導体デバイスにとって極めて重要である。パッシェンの法則によれば、絶縁破壊電圧は圧力の関数であり、周囲圧力と比較して高圧下では上昇する。同様に、絶縁破壊電圧は、周囲圧力と比較して高真空下では上昇する。しかしながら、従来のコンタクタでは、一般的な周囲圧力以外の圧力で電圧絶縁及び絶縁破壊試験を行うことの利点を活用していない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
したがって、一般的な周囲圧力以外の圧力で電圧絶縁及び絶縁破壊試験を行うためのコンタクタ及び関連する方法に対するニーズが存在する。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
実施形態という用語及び同様の用語、例えば、実装、構成、態様、例、及び選択肢は、本開示の主題及び以下の特許請求の範囲のすべてを広く指すことを意図している。これらの用語を含む記述は、本明細書に記載される主題を限定したり、以下の特許請求の範囲の意味又は範囲を限定したりするものではないと理解されるべきである。本明細書で対象とする本開示の実施形態は、本概要ではなく、以下の特許請求の範囲によって定義される。本概要は、本開示の様々な態様についての大まかな概観であり、以下の詳細な説明の項でさらに説明される概念の一部を紹介するものである。本概要は、特許請求された主題の重要な特徴又は本質的な特徴を特定することを意図するものではない。また、本概要は、特許請求された主題の範囲を決定するために単独で使用されることを意図したものではない。主題は、本開示の明細書全体の適切な部分、任意の若しくはすべての図面、及び各請求項を参照することによって理解されるべきである。
【０００５】
本開示の特定の態様によれば、デバイスに試験電圧を印加するためのコンタクタが開示されている。コンタクタは、デバイスが試験部位に配置されたときにデバイスと電気的接続を行うように構成された複数の電気接点を含む試験部位を含む。コンタクタは、第１のハウジング部分と第２のハウジング部分とを含むハウジングをさらに含む。第１のハウジング部分及び第２のハウジング部分は、互いに選択的に係合及び係合解除するように構成されている。第１のハウジング部分及び第２のハウジング部分は、係合時に密閉チャンバを画定し、密閉チャンバ内に試験部位を有する。コンタクタはまた、第１のハウジング部分と第２のハウジング部分とが係合されたときに、密閉チャンバを加圧するための加圧ガスを供給するように構成されたガス注入口を含む。
【０００６】
特定のさらなる態様によれば、第１のハウジング部分及び第２のハウジング部分は、非可撓性材料で作られている。コンタクタは、第１のハウジング部分と第２のハウジング部分とが互いに係合したときに、それらの間にシールを形成するように構成されたガスケットをさらに含む。
【０００７】
特定のさらなる態様によれば、コンタクタは、試験部位でデバイスを保持するように構成された第１の位置と、試験部位からデバイスを解放するように構成された第２の位置との間で作動するように構成された試験用レッジを含む。試験用レッジは、第１のハウジング部分又は第２のハウジング部分の一方を通って延在している。コンタクタはまた、試験用レッジと、試験用レッジが通って延在する第１のハウジング部分又は第２のハウジング部分の一方との間にシールを形成するように構成されたガスケットを含む。
【０００８】
特定のさらなる態様によれば、第２のハウジング部分は複数のセグメントを含む。コンタクタは、１つ以上のガスケットをさらに含む。１つ以上のガスケットのうちの各ガスケットは、第２のハウジング部分の複数のセグメントの隣接する対の間にシールを形成するように構成されている。
【０００９】
特定のさらなる態様によれば、コンタクタは、第１のハウジング部分と第２のハウジング部分とを互いに選択的に係合及び係合解除するように構成された少なくとも１つのチャンバアクチュエータをさらに含む。本態様によれば、少なくとも１つのチャンバアクチュエータは空気圧式であることができる。コンタクタは、少なくとも１つのチャンバアクチュエータを作動させるための加圧ガスを供給するように構成されたガス注入口をさらに含む。本態様によれば、密閉チャンバを加圧するための加圧ガス、及び少なくとも１つのチャンバアクチュエータを作動させるための加圧ガスは、同じ供給源からのものであることができる。
【００１０】
特定のさらなる態様によれば、コンタクタはまた、デバイスを試験部位まで誘導したり、試験部位から誘導したりするように構成された軌道を含む。軌道の一部が第２のハウジング部分のセグメントを成す。コンタクタは、第１のハウジング部分と軌道の一部との間にシールを形成するように構成された第１のガスケットと、軌道の一部と第２のハウジング部分の残りとの間にシールを形成するように構成された第２のガスケットとを含むことができる。軌道は、重力に基づいて、デバイスを試験部位まで誘導したり、試験部位から誘導したりするように配置されることができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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