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公開番号2024169003
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-05
出願番号2023086166
出願日2023-05-25
発明の名称X線測定装置
出願人株式会社不二越
代理人個人,個人
主分類G01N 23/2055 20180101AFI20241128BHJP(測定;試験)
要約【課題】X線測定にかかる手間を削減できる。
【解決手段】X線測定装置は、被測定物に対してX線を照射する照射部と、被測定物を回折したX線を検出する複数の検出部と、検出部が検出したX線の回折プロフィルの積分強度を算出する積分強度算出部と、積分強度算出部が算出した複数の検出部に関する積分強度に基づいて照射部が照射したX線の被測定物に対する入射角を算出する入射角算出部とを備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被測定物に対してＸ線を照射する照射部と、
前記被測定物を回折したＸ線を測定する複数の検出部と、
前記検出部が検出したＸ線の回折プロフィルの積分強度を算出する積分強度算出部と、
前記積分強度算出部が算出した複数の前記検出部に関する積分強度に基づいて、前記照射部が照射したＸ線の前記被測定物に対する入射角を算出する入射角算出部と、
を備えることを特徴とするＸ線測定装置。
続きを表示（約 330 文字）【請求項２】
前記照射部は、前記複数の検出部の間に配置されていることを特徴とする、
請求項１に記載のＸ線測定装置。
【請求項３】
前記入射角算出部は、前記積分強度算出部が算出した複数の前記検出部に関する積分強度同士の比を算出し、算出した比に基づいて前記照射部が照射したＸ線の前記被測定物に対する入射角を算出することを特徴とする、
請求項２に記載のＸ線測定装置。
【請求項４】
前記複数の検出部が検出したＸ線の回折プロフィル及び前記入射角算出部が算出した入射角に基づいて、前記被測定物に関するパラメータを算出するパラメータ算出部をさらに備えることを特徴とする、
請求項２又は３に記載のＸ線測定装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線測定装置に関する。
続きを表示（約 1,000 文字）【背景技術】
【０００２】
従来から、被測定物に対してＸ線を照射して、被測定物を回折したＸ線を測定するＸ線測定装置が知られている。
【０００３】
これに関し、特許文献１には、被測定物の傾斜を表す傾斜情報の入力を受け付け、傾斜情報を用いて被測定物の面法線及び散乱ベクトルのズレ量を補正するための補正量を決定し、Ｘ線回折測定時に補正量に基づいてＸ線測定装置のヘッドを駆動させることが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２１－９６０９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の技術では、Ｘ線測定を行う前に、予め非測定物に対するＸ線の入射角の算出に用いる情報を取得している必要があった。よって、被測定物ごとに予め情報を取得しておく必要があり、Ｘ線測定にかかる手間が増加してしまうという問題があった。
【０００６】
本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、Ｘ線測定にかかる手間を削減できるＸ線測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明のＸ線測定装置は、被測定物に対してＸ線を照射する照射部と、前記被測定物を回折したＸ線を検出する複数の検出部と、前記検出部が測定したＸ線の回折プロフィルの積分強度を算出する積分強度算出部と、前記積分強度算出部が算出した複数の前記検出部に関する積分強度に基づいて、前記照射部が照射したＸ線の前記被測定物に対する入射角を算出する入射角算出部とを備える。
【０００８】
また、前記照射部は、前記複数の検出部の間に配置されている。
【０００９】
また、前記入射角算出部は、前記積分強度算出部が算出した複数の前記検出部に関する積分強度同士の比を算出し、算出した比に基づいて前記照射部が照射したＸ線の前記被測定物に対する入射角を算出する。
【００１０】
また、本発明のＸ線測定装置は、前記複数の検出部が検出したＸ線の回折プロフィル及び前記入射角算出部が算出した入射角に基づいて、前記被測定物に関するパラメータを算出するパラメータ算出部をさらに備える。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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