特許ウォッチ

公開番号2024172218
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-12
出願番号2023089783
出願日2023-05-31
発明の名称サーボ加速度計
出願人キヤノン電子株式会社
代理人
主分類G01P 15/13 20060101AFI20241205BHJP(測定;試験)
要約【課題】石英ガラスと金パッドの密着力は低い。密着力を高めるために、密着層を形成することが考えられるが、密着層は酸化する可能性がある。
【解決手段】以上の課題を解決する為に本発明では、振子に生じた慣性力と、コイルボビンに巻き付けられたトルカコイルに流れる電流及びポールピースを通る磁場で生じるローレンツ力による復元力が平衡するサーボ加速度計であって、前記ポールピースに対して設けられたヨークを有し、前記振子は支持部10bと一体に設けられており、前記支持部10bは、金属材料の取り付けパッド40を介して前記ヨークに固定され、前記支持部10bと、前記金属材料の取り付けパッド40と、の間に設けられた密着層50は、前記取り付けパッド40によって覆われていることを特徴とする加速度計を提供する。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
振子に生じた慣性力と、
コイルボビンに巻き付けられたトルカコイルに流れる電流及びポールピースを通る磁場で生じるローレンツ力による復元力が平衡するサーボ加速度計であって、
前記ポールピースに対して設けられたヨークを有し、
前記振子は支持部と一体に設けられており、
前記支持部は、金属材料の取り付けパッドを介して前記ヨークに固定され、
前記支持部と、前記金属材料の取り付けパッドの間に設けられた密着層は、前記取り付けパッドによって覆われていることを特徴とする加速度計。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記取り付けパッドと前記密着層の厚みの合計は、
前記密着層の底面を基準にした前記支持部の表面の凸形状の高さと、
前記取り付けパッドが接する前記ヨーク表面部分を基準にした前記ヨーク表面の凸形状の高さの和よりも大きい、
ことを特徴とする請求項１に記載のサーボ加速度計。
【請求項３】
前記取り付けパッドと前記ヨークが接する面が、
前記取り付けパッドの密着層の面よりも小さい、
ことを特徴とする請求項１に記載のサーボ加速度計。
【請求項４】
前記取り付けパッドが、金、銀、白金、パラジウムのいずれか１種類を含む金属材料であることを特徴とする請求項１に記載のサーボ加速度計。
【請求項５】
前記取り付けパッドは、前記振子の一方面側に設けられた第１の取り付けパッドと、前記振子の他方面側に設けられた第２の取り付けパッドを有し、
前記第1の取り付けパッド及び前記第２の取り付けパッドは金の金属結合層であり、
前記第1の取り付けパッドと前記第２の取り付けパッドの厚みの合計が、
前記密着層の底面を基準にした前記支持部の表面の凸形状の高さと、
前記取り付けパッドが接する前記ヨークの表面部分を基準にした前記ヨークの表面の凸形状の高さの和よりも大きく、
前記第１の取り付けパッドと前記第２の取り付けパッドが接する面が、
前記第１の取り付けパッドの密着層の面よりも小さく、
前記第２の取り付けパッドの密着層の面よりも小さい、
ことを特徴とする請求項１に記載のサーボ加速度計。
【請求項６】
前記取り付けパッドが金で構成され、
前記取り付けパッドの厚みが前記ヨークの表面粗さの最大値よりも厚く、
前記取り付けパッドと前記密着層の間に金属層を有し、
前記取り付けパッドと前記密着層と前記金属層の厚みの合計は、
前記密着層の底面を基準にした前記支持部の表面の凸形状の高さと、
前記取り付けパッドが接する前記ヨーク表面部分を基準にした前記ヨーク表面の凸形状の高さの和よりも大きく、
前記取り付けパッドが、前記支持部の表面に設けられた前記密着層と前記金属層を覆い、
前記取り付けパッドは前記ヨークと接しており、
前記支持部は前記取り付けパッドを介して前記ヨークに固定されている、
ことを特徴とする請求項1に記載のサーボ加速度計。
【請求項７】
前記振子が石英ガラスであり、前記ヨークがインバー合金である、ことを特徴とする請求項１～６のいずれか一項に記載のサーボ加速度計。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
振子を用いた力平衡サーボ加速度計に関するものである。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
力平衡サーボ加速度計は、磁気回路の上側ステータと下側ステータとの間に金属膜を形成した振子を備えている。加速度で生じた振子の変位を検出し、電圧に変換・増幅してコイルに印加する。コイルに生じるローレンツ力（復元力）により，振子の変位をゼロに制御する。このときの復元力は、慣性力となるので、加速度をコイル電流から検知可能に構成されている。
【０００３】
特許文献１の振子とヨークにおいて、振子の表面に形成された金パッドを介して、振子はヨーク表面に固定される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特表昭６１－５０２４１６号公報
特許４２５７４３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１では振子の材料には石英ガラスを用いているが、特許文献２にあるように石英ガラスと金の密着力は低い。密着力を高めるために、密着層を形成することが考えられるが、密着層は酸化する可能性がある。
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明は振子と金パッドの固定部では中間に金パッドで覆った密着層を形成する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
以上の課題を解決する為に本発明では、振子に生じた慣性力と、コイルボビンに巻き付けられたトルカコイルに流れる電流及びポールピースを通る磁場で生じるローレンツ力による復元力が平衡するサーボ加速度計であって、前記ポールピースに対して設けられたヨークを有し、前記振子は支持部と一体に設けられており、前記支持部は、金属材料の取り付けパッドを介して前記ヨークに固定され、前記支持部と、前記金属材料の取り付けパッドの間に設けられた密着層は、前記取り付けパッドによって覆われていることを特徴とする加速度計を提供する。
【発明の効果】
【０００８】
上述のような構成で、密着層の酸化を防止することで石英ガラスと金パッドの密着力が高いサーボ加速度計を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
サーボ加速度計の分解斜視図
サーボ加速度計の断面図
サーボ加速度計の振子の平面図
理想的な振子の断面模式図
変形した支持部を持つ振子の断面模式図
本発明の一実施形態に係る取り付けパッドの断面図
本発明の一実施形態に係る取り付けパッドと密着層を示した断面図
本発明の一実施形態に係る取り付けパッドの断面図
本発明の一実施形態に係る取り付けパッドの工程図
本発明の一実施形態に係る取り付けパッドの断面図
本発明の一実施形態に係る取り付けパッドの断面図
本発明の一実施形態に係る取り付けパッドの断面図の拡大図
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の一実施形態について説明する。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許