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公開番号2024175754
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-19
出願番号2023093727
出願日2023-06-07
発明の名称清浄度監視装置
出願人澁谷工業株式会社
代理人個人,個人
主分類G01N 15/06 20240101AFI20241212BHJP(測定;試験)
要約【課題】パーティクルカウンタに繋がるライン中に切替バルブを設置した清浄度監視装置において、ライン中でトラップされるパーティクルを低減する。
【解決手段】清浄度監視装置は、チャンバ内に設置されたプローブ14と、一端がプローブ14に接続された第1管路16と、微粒子の数を計測するパーティクルカウンタ18と、一端がパーティクルカウンタ18に接続された第2管路20と、一端がチャンバに接続された第3管路22と、第1管路16の他端と、第2管路20の他端と、第3管路22の他端が接続された切替バルブ24とを備える。切替バルブ24は、被摺動面28Aを有する固定体28と、摺動面30Aを有する摺動体30を有し、固定体28と摺動体30の一方に第1管路16の他端が接続され、他方に第2管路20の他端および第3管路22の他端が接続され、第1管路16の他端と第2管路20の他端の内径dは同径であって、対向するように接続される。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
チャンバ内に設置されたプローブと、一端が上記プローブに接続された第１管路と、微粒子の数を計測するパーティクルカウンタと、一端が上記パーティクルカウンタに接続された第２管路と、一端が上記チャンバに接続された第３管路と、上記第１管路の他端と、上記第２管路の他端と、上記第３管路の他端が接続された切替バルブと、上記切替バルブを作動させる駆動手段を備え、
上記切替バルブは、被摺動面を有する固定体と、摺動面を有する摺動体を有し、上記固定体と上記摺動体の一方に上記第１管路の他端が接続され、他方に第２管路の他端および第３管路の他端が接続され、
上記第１管路の他端と第２管路の他端の内径は同径であって、対向するように接続されることを特徴とするチャンバ内の清浄度を監視する清浄度監視装置。
続きを表示（約 85 文字）【請求項２】
上記摺動体が回転体であって、上記駆動手段により回転体を回転させることにより管路を切り替えることを特徴とする請求項１に記載の清浄度監視装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、チャンバ内の清浄度を監視するために用いられる清浄度監視装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
作業時や生産時に、アイソレータ、安全キャビネット、グローブボックスなどの作業室（チャンバ）内の清浄度を監視するためパーティクルカウンタを用いる清浄度監視装置が知られている（特許文献１参照）。このような清浄度監視装置では、作業室に設置されたプローブを、配管（チューブ）を介してパーティクルカウンタに接続し、作業室内のエアを吸引してパーティクルカウンタへと導入している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２３－０１５４３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
アイソレータや安全キャビネットなどにおいては、作業や生産後、チャンバ内の除染を行う必要があり、微生物汚染のリスクを低減するためにチャンバに接続されるに配管（チューブ）内も除染を行う必要がある。このとき配管（チューブ）をパーティクルカウンタに接続される吸引ラインから、例えば作業室へと繋がる除染ラインなどに切り替える必要が生じる。吸引ラインと除染ラインの間の切り替えには、例えば切替バルブを用いることが考えられる。しかし、切替バルブ内や配管（チュープ）と各ラインとの接続部に段差や隙間などが存在すると、プローブから吸引されたパーティクルの一部がこれらの段差や隙間にトラップされ、パーティクルカウンタにおいて清浄度が正しく計測できないことがある。
【０００５】
本発明は、プローブからパーティクルカウンタに繋がるライン中に切替バルブを設置した清浄度監視装置において、ライン中でトラップされるパーティクルを低減することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発発明のチャンバ内の清浄度を監視する清浄度監視装置は、チャンバ内に設置されたプローブと、一端が上記プローブに接続された第１管路と、微粒子の数を計測するパーティクルカウンタと、一端が上記パーティクルカウンタに接続された第２管路と、一端が上記チャンバに接続された第３管路と、上記第１管路の他端と、上記第２管路の他端と、上記第３管路の他端が接続された切替バルブと、上記切替バルブを作動させる駆動手段を備え、上記切替バルブは、被摺動面を有する固定体と、摺動面を有する摺動体を有し、上記固定体と上記摺動体の一方に上記第１管路の他端が接続され、他方に第２管路の他端および第３管路の他端が接続され、上記第１管路の他端と第２管路の他端の内径は同径であって、対向するように接続されることを特徴としている。
【０００７】
本発明の第２の発明である清浄度監視装置は、第１の発明において、上記摺動体が回転体であって、上記駆動手段により回転体を回転させることにより管路を切り替えることを特徴としている。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、パーティクルカウンタに繋がるライン中に切替バルブを設置した清浄度監視装置において、ライン中でトラップされるパーティクルを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
本発明の第１実施形態である清浄度監視装置の全体の構成を示す模式的な縦断面図である。
図３（ａ）のＡＯＢ断面図である。
第１管路が接続された側から見た第１実施形態の切替バルブの平面図である。
図５（ａ）のＣＯＤ断面図である。
第２、第３管路が接続された側から見た第２実施形態の切替バルブの平面図である。
図７のＤＥ断面図である。
図６の切替バルブを摺動体側から見た矢視図である。
第３実施形態の切替バルブにおける第１管路と第２管路の接続部の拡大図縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。図１は、本発明の第１実施形態である清浄度監視装置の全体の構成を示す模式的な縦断面図である。
（【００１１】以降は省略されています）

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