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公開番号2024154537
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-31
出願番号2023068396
出願日2023-04-19
発明の名称レーザ光源およびその製造方法
出願人日亜化学工業株式会社,古河電気工業株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01S 5/02325 20210101AFI20241024BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】高出力化に適したレーザ光源およびそのようなレーザ光源の製造方法を提供する。
【解決手段】レーザ光源は、主面を有するサブマウントと、サブマウントの主面に支持され、レーザビームを出射する端面を有する半導体レーザ素子と、半導体レーザ素子の端面に対向して配置される光学部材と、サブマウントの主面に支持され、光学部材を支持する支持部材と、支持部材と光学部材とを接合する接合部材と、を備える。支持部材は、非金属材料から形成されている本体であって、接合部材を介して光学部材に接合される前面と、前面の反対側の背面と、サブマウントに支持される下面と、下面の反対側の上面と、前面、背面、下面および上面と交わる2つの側面と、を有する本体と、上面に設けられた第1金属膜と、を有する。
【選択図】図1A
特許請求の範囲【請求項１】
主面を有するサブマウントと、
前記サブマウントの前記主面に支持され、レーザビームを出射する端面を有する半導体レーザ素子と、
前記半導体レーザ素子の前記端面に対向して配置される光学部材と、
前記サブマウントの前記主面に支持され、前記光学部材を支持する支持部材と、
前記支持部材と前記光学部材とを接合する接合部材と、
を備え、
前記支持部材は、
非金属材料から形成されている本体であって、
前記接合部材を介して前記光学部材に接合される前面と、
前記前面の反対側の背面と、
前記サブマウントに支持される下面と、
前記下面の反対側の上面と、
前記前面、前記背面、前記下面および前記上面と交わる２つの側面と、
を有する本体と、
前記上面に設けられた第１金属膜と、
を有する、レーザ光源。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記本体は、一対の柱状部と、前記一対の柱状部の上部を連結する連結部とを備え、
前記本体の前記前面は、前記一対の柱状部の前面と、前記連結部の前面とを含み、
前記本体の前記背面は、前記一対の柱状部の背面と、前記連結部の背面とを含み、
前記本体の前記下面は、前記一対の柱状部の下面を含み、
前記本体の前記上面は、前記一対の柱状部の上面と、前記連結部の上面とを含み、
前記本体の前記２つの側面は、前記一対の柱状部の外側面を含む、請求項１に記載のレーザ光源。
【請求項３】
前記第１金属膜は、少なくとも前記一対の柱状部の前記上面に設けられている、請求項２に記載のレーザ光源。
【請求項４】
前記支持部材は、前記本体の前記背面または前記本体の前記側面に設けられた第２金属膜をさらに有する、請求項２に記載のレーザ光源。
【請求項５】
前記第２金属膜は、少なくとも前記一対の柱状部の前記背面に設けられており、
前記２つの側面には金属膜が設けられていない、請求項４に記載のレーザ光源。
【請求項６】
前記第２金属膜は、前記２つの側面に設けられており、
前記一対の柱状部の前記背面には金属膜が設けられていない、請求項４に記載のレーザ光源。
【請求項７】
前記支持部材は、前記連結部の下面に設けられた第３金属膜および／または、前記一対の柱状部の内側面に設けられた第４金属膜をさらに有する、請求項２から６のいずれか１項に記載のレーザ光源。
【請求項８】
前記支持部材は、前記本体の前記前面に設けられた第５金属膜をさらに有し、
前記第１金属膜および／または前記第２金属膜は、Ｔｉから形成されており、
前記第５金属膜は、Ｔｉ、ＰｄおよびＡｕをこの順に積層して形成された積層構造を有する、請求項４から６のいずれか１項に記載のレーザ光源。
【請求項９】
前記支持部材は、前記本体の前記前面に設けられた第５金属膜をさらに有し、
前記第５金属膜は、Ａｌ、ＰｄおよびＡｕまたはＮｉ、ＰｄおよびＡｕをこの順に積層して形成された積層構造を有する、請求項１から６のいずれか１項に記載のレーザ光源。
【請求項１０】
前記第１金属膜の面積は、前記本体の上面の面積の２０％以上である、請求項１から６のいずれか１項に記載のレーザ光源。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、レーザ光源およびその製造方法に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
端面出射型の半導体レーザ素子と、レンズ部材と、レンズ部材を支持するレンズ支持部と、半導体レーザ素子を支持するサブマウントとを有するレーザ光源が、特許文献１に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
国際公開第２０２１／１３１１７１号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
レーザ光源のさらなる高出力化が求められている。
【０００５】
本開示は、高出力化に適したレーザ光源およびそのようなレーザ光源の製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示のレーザ光源は、例示的な実施形態において、主面を有するサブマウントと、前記サブマウントの前記主面に支持され、レーザビームを出射する端面を有する半導体レーザ素子と、前記半導体レーザ素子の前記端面に対向して配置される光学部材と、前記サブマウントの前記主面に支持され、前記光学部材を支持する支持部材と、前記支持部材と前記光学部材とを接合する接合部材と、を備え、前記支持部材は、非金属材料から形成されている本体であって、前記接合部材を介して前記光学部材に接合される前面と、前記前面の反対側の背面と、前記サブマウントに支持される下面と、前記下面の反対側の上面と、前記前面、前記背面、前記下面および前記上面と交わる２つの側面と、を有する本体と、前記上面に設けられた第１金属膜と、を有する。
【０００７】
本開示のレーザ光源の製造方法は、例示的な実施形態において、半導体レーザ素子および支持部材が接合されたサブマウントと、光学部材と、を用意する工程と、前記光学部材と前記支持部材とを接合する工程と、を備え、前記支持部材は、非金属材料から形成されている本体であって、前記光学部材に接合される前面と、前記前面の反対側の背面と、前記サブマウントと接合される下面と、前記下面の反対側の上面と、前記前面、前記背面、前記下面および前記上面と交わる２つの側面と、を有する本体と、前記上面に設けられた第１金属膜と、前記背面または前記側面の一方に設けられた第２金属膜と、を有し、前記光学部材と前記支持部材とを接合する工程は、前記背面または前記側面のうち、前記第２金属膜が設けられていない他方にレーザ光を照射し、前記光学部材と前記支持部材との間に配置された接合材を溶融または焼結することを含む。
【発明の効果】
【０００８】
本開示の実施形態によれば、高出力化に適したレーザ光源およびその製造方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
図１Ａは、本開示の例示的な実施形態によるレーザ光源の構成例を模式的に示す分解斜視図である。
図１Ｂは、本開示の例示的な実施形態によるレーザ光源の製造方法を説明するための模式的な図である。
図１Ｃは、本開示の例示的な実施形態によるレーザ光源の構成例を模式的に示す分解斜視図である。
図１Ｄは、本開示の例示的な実施形態によるレーザ光源が有する支持部材の構成例を模式的に示す斜視図である。
図１Ｅは、本開示の例示的な実施形態によるレーザ光源が有する支持部材の構成例を模式的に示す図である。
図２は、本開示の例示的な実施形態によるレーザ光源の他の構成例を模式的に示す分解斜視図である。
図３Ａは、本開示の例示的な実施形態によるレーザ光源が有する支持部材の構成例を模式的に示す図である。
図３Ｂは、本開示の例示的な実施形態によるレーザ光源が有する支持部材の構成例を模式的に示す図である。
図４Ａは、本開示の例示的な実施形態によるレーザ光源の構成例を模式的に示す分解斜視図である。
図４Ｂは、本開示の例示的な実施形態によるレーザ光源が有する支持部材の構成例を模式的に示す図である。
図４Ｃは、本開示の例示的な実施形態によるレーザ光源の製造方法を説明するための模式的な図である。
図５は、本開示の例示的な実施形態によるレーザ光源が有する支持部材の構成例を模式的に示す図である。
図６は、本開示の例示的な実施形態によるレーザ光源の構成例を模式的に示す分解斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照しながら、本開示の実施形態による発光装置を説明する。複数の図面に表れる同一符号の部分は同一または同等の部分を示す。
（【００１１】以降は省略されています）

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