特許ウォッチ

公開番号2024143745
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-11
出願番号2023056568
出願日2023-03-30
発明の名称ロボット
出願人川崎重工業株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20241003BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ワークが壁部に干渉することを回避して、ワークの搬送を円滑に行うことが可能なロボットを提供する。
【解決手段】このロボット23は、水平多関節型のロボットアーム23bと、ロボットアーム23bの先端に配置されるとともに、矩形板状の基板Sを保持するハンド23cと、複数の載置部30の間で基板Sを搬送するように、ハンド23cおよびロボットアーム23bの動作を制御する制御部23dと、を備える。ハンド23cおよびロボットアーム23bは、壁部21aで囲まれた搬送空間20aに配置されており、制御部23dは、基板Sが壁部21aに干渉しないように、ハンド23cの中央から基板Sの端面までの距離が不均等な状態で基板Sを搬送するように、ハンド23cおよびロボットアーム23bの動作を制御する。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
基台と、
前記基台に接続される水平多関節型のロボットアームと、
前記ロボットアームの先端に配置されるとともに、矩形板状のワークを保持するハンドと、
複数の載置部の間で前記ワークを搬送するように、前記ハンドおよび前記ロボットアームの動作を制御する制御部と、を備え、
前記ハンドおよび前記ロボットアームは、壁部で囲まれた搬送空間に配置されており、
前記制御部は、前記ワークが前記壁部に干渉しないように、前記ハンドの中央から前記ワークの端面までの距離が不均等な状態で前記ワークを搬送するように、前記ハンドおよび前記ロボットアームの動作を制御する、ロボット。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
前記ハンドは、第１ハンドと、前記第１ハンドの上方に配置され、前記第１ハンドとは別個に動作する第２ハンドとを含み、
前記制御部は、前記第１ハンドおよび前記第２ハンドの一方としての進入ハンドが前記載置部に進入する場合、前記第１ハンドおよび前記第２ハンドの他方としての逃げハンドが前記載置部から逃げるように、前記ハンドの動作を制御し、
前記制御部は、前記逃げハンドが保持する前記ワークが前記壁部に干渉しないように、前記進入ハンドの中央に対して前記逃げハンドが前記載置部から逃げる方向側に所定の距離だけ前記ワークをずらすことにより前記ハンドの中央から前記ワークの端面までの距離が不均等な状態で前記ワークを搬送するように、前記ハンドおよび前記ロボットアームの動作を制御する、請求項１に記載のロボット。
【請求項３】
前記ロボットアームは、複数のリンクと、複数の関節とを含み、
前記複数の関節の各々は、モータと、ギアを含む減速機とを有する、請求項１に記載のロボット。
【請求項４】
前記複数のリンクは、前記基台に接続される第１リンクと、前記第１リンクに接続されるとともに前記ハンドに接続される第２リンクとを有し、
前記複数の関節は、前記第１リンクを駆動する第１関節と、前記第２リンクを駆動する第２関節と、前記ハンドを駆動する第３関節とを有し、
前記第１関節および前記第２関節の各々の前記モータおよび前記減速機は、前記第１リンク内に配置されており、
前記第３関節の前記モータおよび前記減速機は、前記第２リンク内に配置されている、請求項３に記載のロボット。
【請求項５】
前記第１関節の前記モータは、前記第１リンク内において前記第１リンクが延びる方向に沿った姿勢で基端側を向いて配置されており、
前記第２関節の前記モータは、前記第１リンク内において前記第１リンクが延びる方向に沿った姿勢で先端側を向いて配置されており、
前記第３関節の前記モータは、前記第２リンク内において前記第２リンクが延びる方向に沿った姿勢で先端側を向いて配置されている、請求項４に記載のロボット。
【請求項６】
前記ロボットアームは、複数のリンクを含み、
前記複数のリンクは、前記基台に接続される第１リンクと、前記第１リンクに接続されるとともに前記ハンドに接続される第２リンクとを有し、
前記第１リンクおよび前記第２リンクの各々は、前記ハンドが前記壁部に干渉しないように、互いに異なる軸間距離を有する、請求項１に記載のロボット。
【請求項７】
前記第２リンクは、前記ハンドが前記壁部に干渉しないように、前記第１リンクよりも大きい軸間距離を有する、請求項６に記載のロボット。
【請求項８】
前記基台は、前記搬送空間の中心線からずれた位置に配置されている、請求項１に記載のロボット。
【請求項９】
前記ハンドは、第１ハンドと、前記第１ハンドの上方に配置され、前記第１ハンドとは別個に動作する第２ハンドとを含む、請求項１に記載のロボット。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
この開示は、ロボットに関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、ロボットアームを備えるロボットが知られている。特許文献１には、ガラス基板を搬送する基板搬送ロボットが開示されている。この基板搬送ロボットは、ハンドが先端に設けられる伸縮アーム部と、伸縮アーム部を走行軸に沿って走行させる走行台車とを備えている。この基板搬送ロボットは、伸縮アーム部の伸縮動作、および、走行台車の走行軸動作などの各種の動作を行うことにより、ガラス基板をカセットから所定の搬送箇所に搬送する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１４－１０３１５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１に記載されたような基板搬送ロボットでは、ロボットアームおよびハンドが壁部に囲まれた空間に配置されている場合がある。この場合、ロボットアームおよびハンドによるガラス基板の搬送中に、ガラス基板が壁部に干渉すると、ガラス基板の搬送を円滑に行うことができないという問題点がある。
【０００５】
この開示は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この開示の１つの目的は、ワークが壁部に干渉することを回避して、ワークの搬送を円滑に行うことが可能なロボットを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この開示の一の局面によるロボットは、基台と、基台に接続される水平多関節型のロボットアームと、ロボットアームの先端に配置されるとともに、矩形板状のワークを保持するハンドと、複数の載置部の間でワークを搬送するように、ハンドおよびロボットアームの動作を制御する制御部と、を備え、ハンドおよびロボットアームは、壁部で囲まれた搬送空間に配置されており、制御部は、ワークが壁部に干渉しないように、ハンドの中央からワークの端面までの距離が不均等な状態でワークを搬送するように、ハンドおよびロボットアームの動作を制御する。
【０００７】
この開示の一の局面によるロボットでは、上記のように、制御部は、ワークが壁部に干渉しないように、ハンドの中央からワークの端面までの距離が不均等な状態でワークを搬送するように、ハンドおよびロボットアームの動作を制御する。これにより、ハンドの中央にワークを配置した状態でワークを搬送するとワークが壁部に干渉する場合にも、ハンドの中央からワークの端面までの距離が不均等な状態でワークを搬送することにより、ワークが壁部に干渉することを回避することができる。その結果、ワークの搬送を円滑に行うことができる。
【発明の効果】
【０００８】
本開示によれば、ワークが壁部に干渉することを回避して、ワークの搬送を円滑に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
一実施形態による基板処理システムの構成を示す模式図である。
一実施形態によるロボットを示す模式的な側面図である。
一実施形態によるロボットを示す模式的な平面図である。
ハンドの中央に基板を配置した状態で基板を搬送する例を説明するための模式図である。
一実施形態によるロボットの基板の搬送を説明するための模式図である。
アームの軸間距離が等しい例を説明するための模式図である。
一実施形態によるアームの軸間距離を説明するための模式図である。
一実施形態の変形例による基板処理システムの構成を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本開示を具体化した本開示の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、本願明細書において、上下方向をＺ方向と呼ぶ。上方側をＺ１側と呼び、下方側をＺ２側と呼ぶ。Ｚ方向に直交する方向をＸ方向と呼ぶ。Ｘ方向の一方側をＸ１側と呼び、他方側をＸ２側と呼ぶ。Ｚ方向およびＸ方向に直交する方向をＹ方向と呼ぶ。Ｙ方向の一方側をＹ１側と呼び、他方側をＹ２側と呼ぶ。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許