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公開番号2024138528
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-08
出願番号2024114677,2021529385
出願日2024-07-18,2019-11-26
発明の名称流体を再循環させる装置および方法
出願人メガ・フルイド・システムズ・インク,MEGA FLUID SYSTEMS, INC.
代理人個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/304 20060101AFI20241001BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】流体を再循環させる装置および方法の提供。
【解決手段】半導体システムにおいて流体を再循環させる装置を提供する。装置は、基礎部分と、基礎部分の第1の端部に結合された入口部分と、基礎部分の第2の端部に結合されたノズルとを備える。ノズルは、ノズル基礎部分の近傍位置からノズル部分の先端の近傍位置まで延在する螺旋溝を備える。螺旋溝は、外面からノズル部分を貫通してノズル部分の内面まで延在する。半導体再循環システムにおいて装置を使用する方法も開示される。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
本明細書に記載の発明。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本出願は、米国特許法第１１９条（ｅ）項の下に２０１８年１１月３０日出願の米国特
許仮出願第６２／７７４，１５６号および２０１９年８月２８日出願の米国特許仮出願第
６２／８９２，８４７号の優先権を主張し、それら仮出願はその全体が参照によって本明
細書に組み込まれる。
続きを表示（約 3,100 文字）【０００２】
本発明は、一般に、半導体産業において流体を再循環させる装置に関する。より具体的
には、それに限らないが、本発明は、半導体のＣＭＰスラリ原料または同様な材料に使用
して、供給される材料のスラリ健全性への有害な影響を最小限または無しに抑えて、短時
間で高度な均一性を達成する混合を実現する装置に関する。
【背景技術】
【０００３】
現在は、機械的ミキサが、５５ｇａｌ（２００Ｌ）ドラム缶に挿入され、ドラム缶内の
固体および液体（ＣＭＰ研磨スラリ）の簡単な再循環を補足し均質性を維持するために使
用されている。機械的ミキサの使用は、ミキサ内の粒子の剪断を生じることによって、ス
ラリの健全性に対し有害になることがある。したがって、必要なことは、機械的ミキサの
付加の廃止である。それに加えて、同ドラム缶に対するローラまたはタンブラによる予備
混合の廃止、および少なくとも、ドラム缶内の材料が使用を待つ間の長時間、ローラ／タ
ンブラによって安定した均質性を維持する機能の廃止である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の態様は、半導体産業において流体を再循環させる装置、および同装置を使用す
る方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
一態様において本明細書で提供されるのは、基礎部分と、基礎部分の第１の端部に結合
された入口部分と、基礎部分の第２の端部に結合されたノズル部材とを備える装置である
。
【０００６】
別の態様では、本明細書で提供されるのは、装置を得ることを含めて、流体を再循環さ
せる方法である。装置は、基礎部分と、入口部分と、入口部分を基礎部分に第１の端部で
接続する結合部と、基礎部分に第２の端部で結合されたノズル部材とを備える。方法は、
また、装置を再循環システムに結合することを含み得る。方法は、半導体スラリを再循環
システムに通し貯蔵ドラム缶に入れることをさらに含み得る。
【０００７】
さらに別の態様では、本明細書で提供されるのは、装置を半導体再循環システムに結合
することを含む、装置を使用する方法である。装置は、基礎部分と、基礎部分の第１の端
部に結合された入口部分と、基礎部分の第２の端部に結合されたノズルとを備え、ノズル
は螺旋溝を有する。方法は、また、スラリを、装置の基礎部分に通しノズルから貯蔵容器
内に送り出すステップを含む。
【０００８】
本発明のこれらならびに他の目的、特徴、および利点が、添付図面と併せ、本発明の様
々な態様の以下の詳細な説明によって明らかになるであろう。
本発明は、例えば、以下の項目を提供する。
（項目１）
基礎部分と、
前記基礎部分の第１の端部に結合された入口部分と、
前記基礎部分の第２の端部に結合されたノズルと
を備える装置。
（項目２）
前記基礎部分が、
第１の部分と、
前記第１の部分に結合された第２の部分であって、前記第１の部分が第２の部分に対してある角度にある、第２の部分と
を備える、項目１に記載の装置。
（項目３）
前記第２の部分に対する前記第１の部分の前記角度が、９０度～１６０度である、項目２に記載の装置。
（項目４）
前記基礎部分が、
前記第１の部分に第１の端部で、前記第２の部分に第２の端部で結合された接続部
をさらに備える、項目２に記載の装置。
（項目５）
前記基礎部分が、前記接続部において角度設定される、項目４に記載の装置。
（項目６）
前記入口部分が
第１の入口部分と、
第２の入口部分と、
第１の端部および第２の端部を有する入口接続部であって、前記第１の端部が前記第１の入口部分に受け入れられ、前記第２の端部が前記第２の入口部分に受け入れられて、前記第１の入口部分を前記第２の入口部分に結合する、入口接続部と
を備える、項目２に記載の装置。
（項目７）
前記第１の入口部分が、第１の端部から第２の端部へテーパする、項目６に記載の装置。
（項目８）
前記入口接続部が、前記第１の入口部分の外径および前記第２の入口部分の外径より小さい外径を有する、項目６に記載の装置。
（項目９）
前記ノズルが、
ノズル基礎部分と、
【０００９】
本明細書に組み込まれその一部をなす添付図面は、本発明の実施形態を例示し、本明細
書の詳細な説明と併せて、本発明の原理を説明する役割を果たす。諸図面は、単に、好ま
しい実施形態を例示するためのものであり、本発明を限定するものと解釈すべきでない。
産業界の標準的慣行に従って、様々な形体が、縮尺通りに描かれていないことに留意され
たい。実際に、様々な形体の寸法は、論点を明確にするために任意に拡大または縮小され
得る。本発明の上記ならびに他の目的、特徴、および利点が、添付図面と併せ、以下の詳
細な説明によって明らかになる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
本発明の一態様による混合装置の透視図である。
本発明の一態様による、図１の装置の側面透視図である。
本発明の一態様による、図１の装置の上面透視図である。
本発明の一態様による、図１の装置の第１の側面図である。
本発明の一態様による、図１の装置の第２の側面図である。
本発明の一態様による、図１の装置の上面図である。
本発明の一態様による、図１の装置の底面図である。
本発明の一態様による、図１の装置の第１の端面図である。
本発明の一態様による、図１の装置の第２の端面図である。
本発明の一態様による、図８の線１０－１０に沿った、図１の装置の断面図である。
本発明の一態様による、図１０に示された装置の透視図である。
本発明の一態様による、図１の装置の分解組立側面図である。
本発明の一態様による、図１の装置の分解組立上面図である。
本発明の一態様による、図１の装置のノズルの透視図である。
本発明の一態様による、図１４のノズルの第１の側面図である。
本発明の一態様による、図１４のノズルの第２の側面図である。
本発明の一態様による、図１４のノズルの第１の端面図である。
本発明の一態様による、図１４のノズルの第２の端面図である。
本発明の一態様による、図１４の装置のノズルの上面図である。
本発明の一態様による、図１４のノズルの底面図である。
本発明の一態様による、図１９の線２１－２１に沿った、図１４のノズルの断面図である。
本発明の一態様による、図２１のノズルの透視図である。
本発明の一態様による、装置図１の諸部分の寸法を示す、図４の第１の側面図である。
本発明の一態様による、図１の装置を備えるシステムの概略図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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