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公開番号2024123695
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-12
出願番号2023031316
出願日2023-03-01
発明の名称ステージ制御装置、リソグラフィ装置および物の製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人大塚国際特許事務所
主分類G03F 7/20 20060101AFI20240905BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】単純な構造を有するエンコーダを備えるステージ装置を提供する。
【解決手段】ステージを制御するステージ制御装置は、スケールおよびヘッドを含み、前記ステージの位置を計測するように構成されたエンコーダと、温度計測器と、前記エンコーダの出力および前記温度計測器の出力に基づいて前記ステージを制御する制御部と、を備え、前記スケールは、前記ヘッドによってエンコードされる目盛りを有する第1面と、前記第1面の反対側の第2面とを有し、前記温度計測器は、前記スケールの前記第2面に接触または対面して配置された複数の温度センサを含む。
【選択図】図3A
特許請求の範囲【請求項１】
ステージを制御するステージ制御装置であって、
スケールおよびヘッドを含み、前記ステージの位置を計測するように構成されたエンコーダと、
温度計測器と、
前記エンコーダの出力および前記温度計測器の出力に基づいて前記ステージを制御する制御部と、を備え、
前記スケールは、前記ヘッドによってエンコードされる目盛りを有する第１面と、前記第１面の反対側の第２面とを有し、
前記温度計測器は、前記スケールの前記第２面に接触または対面して配置された複数の温度センサを含む、
ことを特徴とするステージ制御装置。
続きを表示（約 990 文字）【請求項２】
前記制御部は、前記エンコーダによって計測された前記ステージの位置を前記温度計測器によって計測された温度に基づいて補正する、
ことを特徴とする請求項１に記載のステージ制御装置。
【請求項３】
前記スケールは、前記ステージによって支持されている、
ことを特徴とする請求項１に記載のステージ制御装置。
【請求項４】
前記ヘッドは、前記ステージに連結された第１構造体によって支持され、前記スケールは、第２構造体によって支持されている、
ことを特徴とする請求項１に記載のステージ制御装置。
【請求項５】
前記エンコーダを含む複数のエンコーダを備え、
前記複数のエンコーダは、第１エンコーダおよび第２エンコーダを含み、
前記第１エンコーダの第１スケールと前記第２エンコーダの第２スケールとは第１方向に平行に配置されている、
ことを特徴とする請求項１に記載のステージ制御装置。
【請求項６】
前記第１スケールを保持する第１保持部と、前記第２スケールを保持する第２保持部とを備え、
前記第１方向において、前記第１保持部の位置と前記第２保持部の位置とが互いに異なる、
ことを特徴とする請求項５に記載のステージ制御装置。
【請求項７】
前記複数の温度センサが配置された領域は、第１領域および第２領域を含み、前記複数の温度センサの配置密度は、前記第１領域と前記第２領域とで互いに異なる、
ことを特徴とする請求項１に記載のステージ制御装置。
【請求項８】
前記スケールは、互いに分割された複数のスケールを含む、
ことを特徴とする請求項１に記載のステージ制御装置。
【請求項９】
前記温度計測器は、前記複数のスケールを保持する構造体の温度を計測する１又は複数の第２温度センサを更に含む、
ことを特徴とする請求項８に記載のステージ制御装置。
【請求項１０】
前記１又は複数の第２温度センサは、前記複数のスケールのうち互いに隣り合うスケールの隙間に対向するように配置されている、
ことを特徴とする請求項９に記載のステージ制御装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ステージ制御装置、リソグラフィ装置および物の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、スケールおよびヘッドを有するエンコーダが記載されている。スケールは、測定方向に沿った目盛が設けられた基材を有し、基材には、基材の温度に関する温度信号を伝達する導波路が測定方向の一端から他端に亘って設けられている。導波路には、温度検知部が配置され、温度検知部は、基材の温度の変化に応じて温度信号を変化させる。導波路の一端には、温度信号を取り出すための構成が配置される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－５６０１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載されたエンコーダでは、スケールの内部に導波路が設けられ、その導波路に温度検知部が配置されるので、構造が複雑である。また、特許文献１では、導波路の一端、即ちスケールの一端に温度信号を取り出すための構成が配置されるので、複数のスケールを接続するような用途、即ち、計測レンジが大きい用途には適していない。
【０００５】
本発明の第１側面は、単純な構造を有するエンコーダを備えるステージ装置を提供することを目的とする。
【０００６】
本発明の第２側面は、計測レンジの拡大に有利なエンコーダを備えるステージ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１側面は、ステージを制御するステージ制御装置に係り、前記ステージ装置は、スケールおよびヘッドを含み、前記ステージの位置を計測するように構成されたエンコーダと、温度計測器と、前記エンコーダの出力および前記温度計測器の出力に基づいて前記ステージを制御する制御部と、を備え、前記スケールは、前記ヘッドによってエンコードされる目盛りを有する第１面と、前記第１面の反対側の第２面とを有し、前記温度計測器は、前記スケールの前記第２面に接触または対面して配置された複数の温度センサを含む。
【０００８】
本発明の第２側面は、ステージを制御するステージ制御装置に係り、前記ステージ制御装置は、複数のスケールおよびヘッドを含み、前記ステージの位置を計測するように構成されたエンコーダと、温度計測器と、前記エンコーダの出力および前記温度計測器の出力に基づいて前記ステージを制御する制御部と、を備え、前記複数のスケールは、構造体によって支持され、前記温度計測器は、前記複数のスケールの温度を計測する複数の第１温度センサと、前記構造体の温度を計測する第２温度センサと、を含む。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の第１側面によれば、単純な構造を有するエンコーダを備えるステージ装置が提供される。
【００１０】
本発明の第２側面によれば、計測レンジの拡大に有利なエンコーダを備えるステージ装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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