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公開番号2024118125
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-08-30
出願番号2023024383
出願日2023-02-20
発明の名称搬送システム
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/677 20060101AFI20240823BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】カセットを昇降する際に発生する振動を低減できる搬送システムを提供する事。
【解決手段】搬送システムは、ワーク処理装置に対して物品を搬出入する搬送車と、ワーク処理装置の上方に設置され搬送車が走行する走行路と、制御ユニットと、を備える。制御ユニットは、搬送車の撮像ユニットによって撮像された、搬送車のカセット13がワーク処理装置のカセット載置台に設置されたガイド122によって位置決めされる前と後との画像を取得する画像取得部と、画像からカセット13がガイド122により位置決めされる際の水平方向の移動量351,352を算出する移動量算出部と、移動量351,352に基づき、次に搬送車を受け渡し領域に停止させる際の停止位置を補正する停止位置補正部と、を備える。
【選択図】図10
特許請求の範囲【請求項１】
ワーク処理装置と、
該ワーク処理装置に対して物品を搬出入する搬送車と、
該ワーク処理装置の上方に設置され該搬送車が走行する走行路と、
制御ユニットと、を備える搬送システムであって、
該搬送車は、
該物品を収容するカセットと、
該カセットを該ワーク処理装置のカセット載置台に対して昇降させる昇降ユニットと、
該搬送車の下方を撮像する撮像ユニットと、を有し、
該ワーク処理装置は、該カセット載置台に設置され、受け渡し領域に停止された該搬送車から昇降される該カセットに接触し、該カセットを水平方向に位置決めするガイドを有し、
該制御ユニットは、
撮像ユニットによって撮像された、該カセットが該ガイドによって位置決めされる前と後との画像を取得する画像取得部と、
該画像から該カセットが該ガイドにより位置決めされる際の水平方向の移動量を算出する移動量算出部と、
該移動量に基づき、次に該搬送車を該受け渡し領域に停止させる際の停止位置を補正する停止位置補正部と、
を備える事を特徴とする搬送システム。
続きを表示（約 400 文字）【請求項２】
該撮像ユニットは、該カセット載置台に対して昇降する該カセットを撮像し、
該制御ユニットは、該カセットの昇降時の画像または映像の少なくともいずれかを記録する記録部を有する事を特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
【請求項３】
該撮像ユニットは、該搬送車が該受け渡し領域に停止する際に、停止位置の基準となる印を有する、該走行路と、該カセット載置台と、の少なくともいずれかを撮像して位置決め画像を取得し、
該制御ユニットは、該位置決め画像から該搬送車の停止位置を検出し、該搬送車を該停止位置に停止させる停止位置検出部と、を含むことを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
【請求項４】
該停止位置補正部は、該停止位置検出部が検出した停止位置を該移動量算出部が算出した該移動量に基づき補正することを特徴とする請求項３に記載の搬送システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送車によって、ワーク処理装置に物品を搬送する搬送システムに関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
搬送車によってワークやワークの処理に関連して使用される消耗品やメンテナンス部品、清掃部品などの物品が搬送される搬送システムが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－１６３９２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような特許文献１では、搬送車は、ワークなどの物品を収容するカセットを搬送し、カセットをワーク処理装置に対して昇降させている。この搬送システムにおいては、カセットがカセット載置台に着地する際に、カセット載置台に設置された位置決めガイドに接触して水平方向に移動しながら位置決めされる機構であり、位置決め時の振動によりワークなどの物品が損傷する恐れがあった。また、カセットが搬送車に回収されるために上昇する際も、搬送車の停止位置がずれていると、カセットがガイドに接触し水平方向の移動量が大きくなり振動が発生する恐れがあった。
【０００５】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、カセットを昇降する際に発生する振動を低減できる搬送システムを提供する事である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の搬送システムは、ワーク処理装置と、該ワーク処理装置に対して物品を搬出入する搬送車と、該ワーク処理装置の上方に設置され該搬送車が走行する走行路と、制御ユニットと、を備える搬送システムであって、該搬送車は、該物品を収容するカセットと、該カセットを該ワーク処理装置のカセット載置台に対して昇降させる昇降ユニットと、該搬送車の下方を撮像する撮像ユニットと、を有し、該ワーク処理装置は、該カセット載置台に設置され、受け渡し領域に停止された該搬送車から昇降される該カセットに接触し、該カセットを水平方向に位置決めするガイドを有し、該制御ユニットは、撮像ユニットによって撮像された、該カセットが該ガイドによって位置決めされる前と後との画像を取得する画像取得部と、該画像から該カセットが該ガイドにより位置決めされる際の水平方向の移動量を算出する移動量算出部と、該移動量に基づき、次に該搬送車を該受け渡し領域に停止させる際の停止位置を補正する停止位置補正部と、を備える事を特徴とする。
【０００７】
該撮像ユニットは、該カセット載置台に対して昇降する該カセットを撮像し、該制御ユニットは、該カセットの昇降時の画像または映像の少なくともいずれかを記録する記録部を有していてもよい。
【０００８】
該撮像ユニットは、該搬送車が該受け渡し領域に停止する際に、停止位置の基準となる印を有する、該走行路と、該カセット載置台と、の少なくともいずれかを撮像して位置決め画像を取得し、該制御ユニットは、該位置決め画像から該搬送車の停止位置を検出し、該搬送車を該停止位置に停止させる停止位置検出部と、を含んでいてもよい。
【０００９】
該停止位置補正部は、該停止位置検出部が検出した停止位置を該移動量算出部が算出した該移動量に基づき補正してもよい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、カセットがカセット載置台に位置決めされる際にどれくらい水平方向に移動したかを画像処理により算出し、次回の搬送車の停止位置を補正するため、カセットがガイドにより位置決めされる際のカセットの水平方向の移動量を低減し、カセットを昇降する際にガイドに接触する等によりカセットに発生する振動を低減できる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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