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公開番号2024117500
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-08-29
出願番号2023023633
出願日2023-02-17
発明の名称液体吐出ヘッド用基板、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、および、液体吐出ヘッド用基板の製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人大塚国際特許事務所
主分類B41J 2/14 20060101AFI20240822BHJP(印刷;線画機;タイプライター;スタンプ)
要約【課題】液体吐出ヘッド用基板の大型化に有利な技術を提供する。
【解決手段】基板と、前記基板の上に第1方向に沿って配された複数の液体吐出素子と、前記複数の液体吐出素子によって制御される液体を流通させるために前記第1方向に沿って前記基板に設けられた複数の開口部と、前記複数の開口部のうち互いに隣り合う開口部の間を通り、前記複数の液体吐出素子のうち対応する液体吐出素子に接続される複数の第1配線パターンと、前記第1方向に沿って配される複数の第2配線パターンと、を含み、前記第1方向と交差する第2方向に延びる連結領域を備え、前記連結領域において、前記複数の第2配線パターンのそれぞれは他の部分よりも太くなっており、かつ、前記複数の第2配線パターンのそれぞれが太くなった複数の幅広部は、前記第2方向に沿って並び、前記連結領域が、前記複数の第1配線パターンのうち互いに隣り合う第1配線パターンの間を通る。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
基板と、前記基板の上に第１方向に沿って配された複数の液体吐出素子と、前記複数の液体吐出素子によって制御される液体を流通させるために前記第１方向に沿って前記基板に設けられた複数の開口部と、前記複数の開口部のうち互いに隣り合う開口部の間を通り、前記複数の液体吐出素子のうち対応する液体吐出素子に接続される複数の第１配線パターンと、前記第１方向に沿って配される複数の第２配線パターンと、を含む液体吐出ヘッド用基板であって、
前記第１方向と交差する第２方向に延びる連結領域を備え、
前記連結領域において、前記複数の第２配線パターンのそれぞれは他の部分よりも太くなっており、かつ、前記複数の第２配線パターンのそれぞれが太くなった複数の幅広部は、前記第２方向に沿って並び、
前記連結領域が、前記複数の第１配線パターンのうち互いに隣り合う第１配線パターンの間を通ることを特徴とする液体吐出ヘッド用基板。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
前記互いに隣り合う第１配線パターンの間に、前記複数の開口部のうち何れかの開口部が配されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項３】
前記連結領域が、前記複数の開口部のうち前記互いに隣り合う第１配線パターンの間に配されたパターン間の開口部と、前記パターン間の開口部と前記互いに隣り合う第１配線パターンのうちの一方の配線パターンとの間の部分と、によって構成される領域を通ることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項４】
前記連結領域が、前記複数の開口部のうち何れかの開口部を通ることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項５】
前記複数の第１配線パターンは、前記連結領域の前記第１方向の中心に対して、前記第１方向の一方の側に最も近接して配された第３配線パターンと、前記中心に対して前記第１方向の他方の側に最も近接して配された第４配線パターンと、を含み、
前記中心から前記第３配線パターンまでの距離をＤＡ、前記中心から前記第４配線パターンまでの距離をＤＢ、距離ＤＡと距離ＤＢの差をＤ、前記複数の液体吐出素子が前記第１方向に沿って配されるピッチをＰとしたときに、
Ｄ≦Ｐ
の関係が成り立つことを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項６】
前記複数の第１配線パターンのそれぞれのうち少なくとも一部が、前記複数の幅広部と同じ配線層に配されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項７】
前記複数の幅広部が、前記基板に最も近い配線層に配されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項８】
前記基板と前記複数の第１配線パターンとの間に絶縁膜をさらに含み、
前記絶縁膜は、前記複数の開口部を取り囲むように配されており、前記連結領域において、前記第２方向の段差を備えることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項９】
前記複数の開口部のそれぞれは、前記複数の液体吐出素子に供給された前記液体を回収するための液体回収口であり、
前記複数の液体吐出素子に前記液体を供給するために前記第１方向に沿って前記基板に設けられた複数の液体供給口をさらに含み、
前記複数の開口部と前記複数の液体供給口との間に、前記複数の液体吐出素子が配されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項１０】
前記複数の開口部のそれぞれは、前記複数の液体吐出素子に前記液体を供給するための液体供給口であり、
前記複数の液体吐出素子に供給された前記液体を回収するために前記第１方向に沿って前記基板に設けられた複数の液体回収口をさらに含み、
前記複数の開口部と前記複数の液体回収口との間に、前記複数の液体吐出素子が配されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド用基板。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッド用基板、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、および、液体吐出ヘッド用基板の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
吐出素子を用いて液体にエネルギを与え、液体を吐出口から吐出させる液体吐出装置が広く用いられている。液体吐出装置において、高速印刷のために印刷ヘッドの印字幅を広くすることが考えられる。特許文献１には、大型の半導体装置を得るために、露光装置の１回の露光で可能なフィールドサイズ以上のパターンを複数に分割し、分割されたパターンをつなぎ合わせることが示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開平５－６８４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
液体吐出ヘッド用基板において、パターンをつなぎ合わせる際のアライメントエラーを許容するために、パターンをつなぎ合わせる位置について検討が必要である。
【０００５】
本発明は、液体吐出ヘッド用基板の大型化に有利な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題に鑑みて、本発明の実施形態に係る液体吐出ヘッド用基板は、基板と、前記基板の上に第１方向に沿って配された複数の液体吐出素子と、前記複数の液体吐出素子によって制御される液体を流通させるために前記第１方向に沿って前記基板に設けられた複数の開口部と、前記複数の開口部のうち互いに隣り合う開口部の間を通り、前記複数の液体吐出素子のうち対応する液体吐出素子に接続される複数の第１配線パターンと、前記第１方向に沿って配される複数の第２配線パターンと、を含む液体吐出ヘッド用基板であって、前記第１方向と交差する第２方向に延びる連結領域を備え、前記連結領域において、前記複数の第２配線パターンのそれぞれは他の部分よりも太くなっており、かつ、前記複数の第２配線パターンのそれぞれが太くなった複数の幅広部は、前記第２方向に沿って並び、前記連結領域が、前記複数の第１配線パターンのうち互いに隣り合う第１配線パターンの間を通ることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、液体吐出ヘッド用基板の大型化に有利な技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本実施形態の液体吐出ヘッド用基板の構成例を示す図。
図１の液体吐出ヘッド用基板に配された液体吐出素子を含む回路図。
図１の液体吐出ヘッド用基板の連結領域を拡大した図。
図１の液体吐出ヘッド用基板を製造する際のレチクルのレイアウト図。
図１の液体吐出ヘッド用基板の変形例を示す図。
図１の液体吐出ヘッド用基板を用いた液体吐出装置の構成例を示す図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。なお、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、添付図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。
【００１０】
図１（ａ）、１（ｂ）～図５を参照して、本開示の実施形態による液体吐出ヘッド用基板について説明する。図１は、本実施形態の液体吐出ヘッド用基板１００のレイアウト例を模式的に示す図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）に示される液体吐出ヘッド用基板１００をＡ－Ａ’間で切断した状態の斜視図である。図１（ａ）、１（ｂ）では、図中のＹ方向に並ぶ複数の繰り返しパターンを、－αおよび－βの添え字を付けて表している。以下の説明において、同じ構造を備える複数の構成要素が存在し、それぞれを識別する必要がある場合は、適宜、添え字を付けて説明する。特に区別しない場合は、添え字を付けずに説明する。
（【００１１】以降は省略されています）

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