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公開番号2024117423
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-08-29
出願番号2023023527
出願日2023-02-17
発明の名称液状樹脂塗布装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類B05B 17/06 20060101AFI20240822BHJP(霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般)
要約【課題】対象物の表面構造に関わらず、液状樹脂を速く均一に塗布することが可能な液状樹脂塗布装置を提供すること。
【解決手段】液状樹脂塗布装置1は、超音波振動211を発生する振動子21と、振動子21が発生した超音波振動211を伝達し、一方の端面221が一方の端面221と直交する方向に振動226する柱状の振動体22と、振動体22に対して液状樹脂100を供給する液状樹脂供給部23と、を備え、振動体22の一方の端面221には凹凸が形成され、振動体22に供給された液状樹脂100を凹凸の寸法に対応した粒径の液滴にして対象物200に塗布する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
液状樹脂を霧化して対象物に塗布する液状樹脂塗布装置であって、
超音波振動を発生する振動子と、
該振動子が発生した超音波振動を伝達し、一方の端面が該端面と直交する方向に振動する柱状の振動体と、
該振動体に対して液状樹脂を供給する液状樹脂供給部と、を備え、
該振動体の該一方の端面には凹凸が形成され、
該振動体に供給された液状樹脂を該凹凸のサイズに対応したサイズの液滴にして対象物に塗布することを特徴とする液状樹脂塗布装置。
続きを表示（約 210 文字）【請求項２】
該振動体には、
該液状樹脂供給部により供給された液状樹脂を該一方の端面に導くための連通路が形成されていることを特徴とする、請求項１に記載の液状樹脂塗布装置。
【請求項３】
該連通路は、該液状樹脂供給部により供給された液状樹脂を該一方の端面に形成された複数の凹部へと導くために少なくとも１つの分岐部を有するように構成されることを特徴とする、請求項２に記載の液状樹脂塗布装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状樹脂塗布装置に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造工程において、表面にデバイスが形成された被加工物をチップサイズへと分割する際に、被加工物に設定された分割予定ラインに沿ってレーザービームを照射してアブレーション加工を行う方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。このような加工方法では、デブリと呼ばれる加工屑が発生するため、このデブリが飛散して被加工物に再付着すると、被加工物を汚染してしまう恐れがある。
【０００３】
この課題を解決するために、被加工物の表面に水溶性の液状樹脂からなる保護膜を形成し、加工時に生じるデブリを保護膜に付着させ、保護膜とデブリとを同時に洗浄除去する方法が開示されている（例えば、特許文献２参照）。水溶性の液状樹脂を塗布する方法としては、被加工物を保持したスピンナーテーブルを高速回転させながら、スピンナーテーブル上の被加工物の表面に水溶性の液状樹脂を供給し、遠心力を受けた液状樹脂の移動によって被加工物の表面を覆い、乾燥させて保護膜とする方法が一般的である。
【０００４】
ところが、被加工物に電極等のバンプが存在する場合、特許文献２に示された方法ではバンプトップにおける保護膜の厚みが薄くなってしまい、液状樹脂を均一に塗布することが困難であるという課題がある。
【０００５】
この課題を解決するために、超音波により液状樹脂を霧化させて被加工物に塗布する方法（例えば、特許文献３参照）が考えられた。しかしながら、特許文献３に示された方法では、バンプのサイズが霧化した液状樹脂の液滴より小さい場合、バンプトップから液状樹脂が流出してしまい均一に塗布できないことが明らかになった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開平１０－３０５４２０号公報
特開２００６－１４０３１１号公報
特開平６－２１０２３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
そこで、本発明者らが鋭意実験を行った結果、液状樹脂の供給量を減らすことにより液滴のサイズを小さくすることが可能であることが見いだされたが、塗布に時間がかかるという解決すべき課題が存在していた。
【０００８】
本発明は、上記事実に鑑みてなされたものであり、対象物の表面構造に関わらず、液状樹脂を速く均一に塗布することが可能な液状樹脂塗布装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の液状樹脂塗布装置は、液状樹脂を霧化して対象物に塗布する液状樹脂塗布装置であって、超音波振動を発生する振動子と、該振動子が発生した超音波振動を伝達し、一方の端面が該端面と直交する方向に振動する柱状の振動体と、該振動体に対して液状樹脂を供給する液状樹脂供給部と、を備え、該振動体の該一方の端面には凹凸が形成され、該振動体に供給された液状樹脂を該凹凸のサイズに対応したサイズの液滴にして対象物に塗布することを特徴とする。
【００１０】
前記液状樹脂塗布装置では、該振動体には、該液状樹脂供給部により供給された液状樹脂を該一方の端面に導くための連通路が形成されてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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