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公開番号2024113883
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-08-23
出願番号2023019146
出願日2023-02-10
発明の名称載置方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/683 20060101AFI20240816BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】装置のコストの高騰を抑制しながらも保持テーブルの保持面に板状物を搬送して載置する際、パーティクル等の異物を噛み込ませることを低減することができる載置方法を提供すること。
【解決手段】載置方法は、板状物を支持ユニットで支持する支持ステップ1001と、支持ユニットから板状物を保持テーブルの保持面と対面する位置へ搬送ユニットで支持して搬送する搬送ステップ1002と、保持テーブルを保持面と直交する回転軸で回転させながら洗浄流体を保持テーブルの保持面から噴出させて、搬送ユニットで保持面と対面して支持される板状物の該保持面と対面する側の面を洗浄流体と接触する位置に位置付けて面を洗浄する洗浄ステップ1004と、洗浄ステップ1004の後で、洗浄流体の噴出を停止して、保持テーブルの保持面に板状物を載置する載置ステップ1005と、を備える。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
板状物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルが保持する該板状物を加工する加工具を装着した加工ユニットと、少なくとも該保持テーブルと該加工ユニットとを制御するコントローラと、を備える加工装置において、該板状物を該保持テーブルに載置する載置方法であって、
該板状物を支持ユニットで支持する支持ステップと、
該支持ユニットから該板状物を該保持テーブルの保持面と対面する位置へ搬送ユニットで支持して搬送する搬送ステップと、
該保持テーブルを該保持面と直交する回転軸で回転させながら洗浄流体を該保持テーブルの該保持面から噴出させて、該搬送ユニットで該保持面と対面して支持される該板状物の該保持面と対面する側の面を該洗浄流体と接触する位置に位置付けて該面を洗浄する洗浄ステップと、
該洗浄ステップの後で、該洗浄流体の噴出を停止して、該保持テーブルの該保持面に該板状物を載置する載置ステップと、
を備えることを特徴とする載置方法。
続きを表示（約 400 文字）【請求項２】
該洗浄流体は、気体供給源及び液体供給源から気体及び液体を供給して混合する該気体と該液体との混合流体であることを特徴とする請求項１に記載の載置方法。
【請求項３】
該洗浄ステップは、該板状物を支持する該搬送ユニットと該保持テーブルとを該保持面が延在する方向に相対的に移動させながら該面を該洗浄流体と接触させて洗浄することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の載置方法。
【請求項４】
該洗浄ステップの前に、該保持テーブルの該保持面から該洗浄流体を噴出させて該保持面を洗浄する保持面洗浄ステップをさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の載置方法。
【請求項５】
該載置ステップの後で、該保持テーブルの該保持面に吸引力を連通させて該板状物を吸引保持する吸引保持ステップと、をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の載置方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置において板状物を保持テーブルに載置する載置方法に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス製造工程で使用され被加工物（板状物）を研削する研削装置（加工装置）は、被加工物を保持面で保持して回転する保持テーブルと、保持テーブルに保持された被加工物を研削する研削砥石が配設された研削ホイールを回転可能に支持する研削ユニット（加工ユニット）と、研削領域に研削水（加工液）を供給する研削水供給ユニットと、を具備しており、被加工物を所定の厚みに加工することができる。
【０００３】
被加工物を保持テーブルで保持する際に、保持面と被加工物との間にパーティクル等の異物を挟み込むと被加工物に破損が生じたり被加工物の研削加工精度が悪化するため、保持テーブルの保持面から水と空気との混合流体を噴出させて保持面を洗浄することがある（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１２－００６１２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、被加工物自体の保持テーブルの保持面に保持される側の面にパーティクル等の異物が付着している場合は、前述のような保持面の洗浄ではなく、被加工物自体を保持テーブルで保持する前に洗浄する必要がある。このような被加工物の事前洗浄を行う場合には新たに洗浄機構を設けなければならないなど、研削装置のコストが著しく上昇するという問題がある。
【０００６】
そのため、装置のコストを著しく上昇させることなく、保持テーブルの保持面に板状物を搬送して載置する際、パーティクル等の異物を噛み込ませることを低減できる載置方法を提供すべきという課題がある。
【０００７】
本発明の目的は、装置のコストの高騰を抑制しながらも保持テーブルの保持面に板状物を搬送して載置する際、パーティクル等の異物を噛み込ませることを低減することができる載置方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の載置方法は、板状物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルが保持する該板状物を加工する加工具を装着した加工ユニットと、少なくとも該保持テーブルと該加工ユニットとを制御するコントローラと、を備える加工装置において、該板状物を該保持テーブルに載置する載置方法であって、該板状物を支持ユニットで支持する支持ステップと、該支持ユニットから該板状物を該保持テーブルの保持面と対面する位置へ搬送ユニットで支持して搬送する搬送ステップと、該保持テーブルを該保持面と直交する回転軸で回転させながら洗浄流体を該保持テーブルの該保持面から噴出させて、該搬送ユニットで該保持面と対面して支持される該板状物の該保持面と対面する側の面を該洗浄流体と接触する位置に位置付けて該面を洗浄する洗浄ステップと、該洗浄ステップの後で、該洗浄流体の噴出を停止して、該保持テーブルの該保持面に該板状物を載置する載置ステップと、を備えることを特徴とする。
【０００９】
前記載置方法において、該洗浄流体は、気体供給源及び液体供給源から気体及び液体を供給して混合する該気体と該液体との混合流体でも良い。
【００１０】
前記載置方法において、該洗浄ステップは、該板状物を支持する該搬送ユニットと該保持テーブルとを該保持面が延在する方向に相対的に移動させながら該面を該洗浄流体と接触させて洗浄しても良い。
（【００１１】以降は省略されています）

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