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公開番号2024112067
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-08-20
出願番号2023016907
出願日2023-02-07
発明の名称圧電素子およびディスク装置用サスペンション
出願人日本発條株式会社
代理人弁理士法人スズエ国際特許事務所
主分類G11B 21/10 20060101AFI20240813BHJP(情報記憶)
要約【課題】クラックを容易に検出することが可能な圧電素子およびディスク装置用サスペンションを提供する。
【解決手段】一実施形態に係る圧電素子は、第1主面と、前記第1主面の反対側に位置する第2主面と、を有する圧電体と、前記第1主面に設けられる第1電極と、前記第2主面に設けられる第2電極と、を備える。前記第1電極は、第1周縁と、第1周縁から延びる第1スリットと、を有し、前記第1スリットの端部は、第1周縁から離れている。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
第１主面と、前記第１主面の反対側に位置する第２主面と、を有する圧電体と、
前記第１主面に設けられる第１電極と、
前記第２主面に設けられる第２電極と、を備え、
前記第１電極は、第１周縁と、第１周縁から延びる第１スリットと、を有し、
前記第１スリットの端部は、第１周縁から離れている、
圧電素子。
続きを表示（約 980 文字）【請求項２】
前記第１スリットは、前記第１周縁に沿って複数設けられる、
請求項１に記載の圧電素子。
【請求項３】
前記第１周縁は、第１方向に延びる第１縁部と、前記第１方向に延びるとともに、前記第１方向と交差する第２方向に前記第１縁部と並ぶ第２縁部と、を有し、
前記第１縁部から延びる前記第１スリットは、前記第２方向において、前記第２縁部から延びる前記第１スリットと間隔を置いて並んでいる、
請求項２に記載の圧電素子。
【請求項４】
前記第１周縁は、第１方向に延びる第１縁部と、前記第１方向に延びるとともに、前記第１方向と交差する第２方向に前記第１縁部と並ぶ第２縁部と、を有し、
前記第１縁部から延びる前記第１スリットは、前記第１方向において、前記第２縁部から延びる前記第１スリットと間隔を置いて、交互に並んでいる、
請求項２に記載の圧電素子。
【請求項５】
前記第１スリットは、渦巻き形状を有する、
請求項１に記載の圧電素子。
【請求項６】
前記第１スリットは、前記第１周縁から延びる第１スリット部と、前記第１スリット部と繋がる一対の第２スリット部と、を有し、
前記第１スリット部は、前記一対の第２スリット部の間に位置し、
前記一対の第２スリット部は、前記第１スリット部に沿って延び、
前記一対の第２スリット部の端部は、前記第１周縁からそれぞれ離れている、
請求項１に記載の圧電素子。
【請求項７】
第１主面と、前記第１主面の反対側に位置する第２主面と、を有する圧電体と、
前記第１主面に設けられる第１電極と、
前記第２主面に設けられる第２電極と、を備え、
前記第１電極は、第１周縁と、第１周縁から延びる第１スリットを有し、
前記第２電極は、第２周縁と、第２周縁から延びる第２スリットを有し、
前記第１スリットの端部は、第１周縁から離れ、
前記第２スリットの端部は、第２周縁から離れている、
圧電素子。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか１項に記載の圧電素子を備える、
ディスク装置用サスペンション。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子およびディスク装置用サスペンションに関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
パーソナルコンピュータ等の情報処理装置には、ハードディスク装置（ＨＤＤ）が使用されている。ハードディスク装置は、スピンドルを中心に回転する磁気ディスクや、ピボット軸を中心に旋回するキャリッジ等を含んでいる。キャリッジはアームを有し、ボイスコイルモータ等のポジショニング用モータによってピボット軸を中心にディスクのトラック幅方向に旋回する。
【０００３】
上述のアームにディスク装置用サスペンション（これ以降、単にサスペンションと称す）が取り付けられている。サスペンションは、ロードビームや、ロードビームに重ねられたフレキシャ等を含んでいる。フレキシャの先端付近に形成されたジンバル部には、磁気ヘッドを構成するスライダが設けられている。
【０００４】
スライダには、データの読取りあるいは書込み等のアクセスを行なうための素子（トランスジューサ）が設けられている。これらのロードビーム、フレキシャ、およびスライダ等によって、ヘッドジンバルアセンブリが構成されている。
【０００５】
ディスクの高記録密度化に対応するためには、ヘッドジンバルアセンブリをさらに小形化し、かつディスクの記録面に対してスライダをさらに高精度に位置決めできるようにすることが必要である。
【０００６】
磁気ヘッドの位置決め精度向上を目的として、ポジショニング用モータ（ボイスコイルモータ）とベースプレート側に搭載されたアクチュエータとを併用するＤＳＡ（ＤｕａｌＳｔａｇｅＡｃｔｕａｔｏｒ）サスペンション、さらに磁気ヘッド側にアクチュエータが搭載されたＴＳＡ（ＴｒｉｐｌｅＳｔａｇｅＡｃｔｕａｔｏｒ）サスペンション等が知られている。
【０００７】
アクチュエータとして使用する圧電素子も小型化、薄型化が進んでいる。このような圧電素子は、製造工程等において、クラックが発生する場合がある。そのため、従来、圧電素子の検査に関して、様々な提案がなされている（例えば、特許文献１乃至特許文献４）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
特許第４６５５５０４号公報
特許第６５０６７０７号公報
特許第５４８９９６８号公報
特許第６５０６７０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上述の特許文献１乃至特許文献４を踏まえても、圧電素子に発生したクラックの検出に関しては、未だに種々の改善の余地がある。そこで、本発明は、クラックを容易に検出することが可能な圧電素子およびディスク装置用サスペンションを提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
一実施形態に係る圧電素子は、第１主面と、前記第１主面の反対側に位置する第２主面と、を有する圧電体と、前記第１主面に設けられる第１電極と、前記第２主面に設けられる第２電極と、を備える。前記第１電極は、第１周縁と、第１周縁から延びる第１スリットと、を有し、前記第１スリットの端部は、第１周縁から離れている。
（【００１１】以降は省略されています）

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