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公開番号2024150716
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-23
出願番号2024122912
出願日2024-07-29
発明の名称露光システム
出願人個人
代理人
主分類G11B 7/004 20060101AFI20241016BHJP(情報記憶)
要約【課題】露光系を考案する。液浸露光に純水を用いるとドライブ内で揮発する問題があった。そこで揮発しにくい液浸露光の液体部を検討したい。
【解決手段】揮発しにくいイオン液体・DES・NADESでもよい難揮発性の液体部NVLQを備えさせ、EUV露光時はNVLQをフォトマスクと露光されるフォトレジスト基板の間に配置し浸して密着露光させることも提案する。純水では大気下等で揮発・蒸発しがちであったところ前記液体NVLQを浸すことで揮発しにくくして液浸露光・レーザー記録を試みる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
イオン液体、若しくは、深共晶溶媒（DES）を液浸露光部に用いた露光システム。
続きを表示（約 260 文字）【請求項２】
紫外線を透過可能なイオン液体、若しくは、深共晶溶媒（DES）を含む請求項１に記載の露光システム。
【請求項３】
光子放出部と光子受光部の間にイオン液体、若しくは、深共晶溶媒を液浸露光部を浸す・満たす・配置する事が可能な特徴を有する請求項１に記載の露光システム。
【請求項４】
紫外線光子・X線の光子を露光に用いる、請求項１に記載の露光システム。
【請求項５】
紫外線光子・X線の光子を露光に用いる、請求項１に記載の露光システムを用いた記録装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、露光装置に関する。また露光装置部を含むリソグラフィ装置や光学ディスク、記録装置に関するものである。
続きを表示（約 2,300 文字）【０００２】
本発明は、UVC等の短波長の紫外線を用い記録層に記録や露光を行う装置・システム・方法を含む。
【０００３】
本発明は、X線、軟X線、紫外線を用いた、半導体製造プロセスにて用いられてもよい、フォトリソグラフィのフォトレジスト等を記録層とする露光装置／密着露光装置／密着液浸露光装置や真空での液浸式の密着露光装置に関する装置・システム・方法を含む。
【０００４】
（また本発明は、例えば光学ディスクに用いられるポリカーボネート基板やハードディスクドライブのプラッタ・基板に用いるアルミニウムやガラス基板、あるいはポリイミド等の耐火基板のディスクに記録層が形成され、記録層には紫外線レーザーなどで書き込みが行われてもよい、磁気テープ等のテープメディアに記録されることも考えられる。光学ディスク、光磁気ディスク、記録テープ、記録媒体、記憶装置・記録装置を含む。耐火・長期保管用を目指す記録・記憶装置の考案を含む）
【背景技術】
【０００５】
＜光ディスク、光磁気ディスク、青色レーザー、紫外線レーザー＞
記録層に露光用の光やレーザー光をあてて／露光して記録層の材料を変化させ回路パターンやイメージやデータ・情報を記録する方式は公知である。青色レーザーを用いるブルーレイディスクBD（登録商標）では青色の４０５ｎｍの光子を用いて書き込みを行う。CD、DVDでは青色よりも長波長の赤色レーザーを用いている。
そしてさらに情報の記録量を増やしたい場合、（光子の波長を短くすることでより細かく記録できるならば、）青色より波長が短い光子・レーザー、例えば紫外線の波長域にある光子を用いることが想定される。
【０００６】
＜波長＞紫外線にはUVA（４００から３１５ｎｍ）、UVB（３１５から２７０）、UVC（波長100から280nm）、あるいはそれよりも短波長の紫外線、極端紫外線EUV、真空紫外線VUV、軟Xに近い紫外線、がある。X線・ガンマ線なども青色より波長の短い光子である。
【０００７】
BDでは青色レーザーを用いる際に光学レンズ・開口数等の光学系の制限からディスクの保護層はDVDよりもBDのほうが薄くする必要があった。そしてその光学レンズ・開口数等の光学系の制限の問題は紫外線レーザー用いるとさらに大きくなる可能性がある。
【０００８】
＜光学系の課題＞
光学レンズ・開口数等の光学系の制限の問題の理由として光学ディスクドライブのレーザー記録ヘッド・光ピックアップ部とディスクの間は空気・隙間をあける必要があったためかもしれない。
そこで本願では後述のように紫外線レーザーを光学ディスクの記録層に照射するときに空気の隙間・真空の隙間・ギャップを不揮発性でもよい液体NVLQ部で浸す構成を提案する。
紫外線を用いるArF液浸露光等の公知技術では液浸露光時の浸すための液体部は揮発性の純水等であったが本願では不揮発性あるいは難揮発性であるイオン液体や深共晶溶媒DESや天然深共晶溶媒NADESを用いた前記浸す液体部NVLQとする事で液浸露光時に液体が揮発しにくくなる可能性がある。（オイル油状でもよい、難揮発性の液浸露光部）さらに前記液体部NVLQは減圧下・真空下で揮発しにくい可能性があり、大気又は真空の環境下で液体部NVLQ部が揮発しにくくなることでNVLQ部を水が揮発したときに水を露光部に補充する頻度を減らせる・無くせる可能性がある。
【０００９】
＜記録媒体の形態＞
例えば、フィルムテープ、磁気フィルムテープ・磁気テープについて、そのテープの記録層に前記紫外線レーザーを用いて記録し（あるいは記録をアシストし）その後記録情報の読み取りもできてよい。
例えば光磁気記録式の記録層を有するディスクメディア、シート、テープメディアに記録を行ってもよい。テープメディアはIT・DX化の進む現代において情報処理・記録を行うコンピュータネットワークのサーバの記録装置のログ（特許知財情報の保管、製造された製品の品質保証データ保管、観測データ、サーバデータ、レシート・取引データ）や顧客情報などのバックアップ・アーカイブに用いられる。
【００１０】
＜テープメディア・ディスクメディアのスキャン方法＞
記録媒体がフィルム基板の場合、特開2022-71011 号公報や日本国特許第7135228号に記載の図１等に記載された記録ヘッド１と記録される記録面２と記録ヘッドのメンテナンス部・クリーニング部３を有したヘッド１の走査方法に関する出願に関連して、紫外線を記録面に放出可能でもよい紫外線レーザー記録ヘッド１は基板面２の間にNVLQ部を含んでもよい。
記録ヘッド１はヘッドスキャンしながらNVLQ部を形成可能でNVLQ部やヘッド部に含まれた不純物やダスト、あるいは追加して供給したいNVLQやNVLQ内の不純物ダストを濾過可能なヘッドとNVLQのメンテナンス部・クリーニング部３を備えさせ、記録ヘッド・レンズをクリーニング可能な記録装置の構成も可能かもしれない。（本願は日本国特許第7135228号を参考文献として参照できる。記録層は２、ヘッドは１、クリーニング部は３であり、NVLQをヘッド１と記録層２の間に浸せる構成であってもよい。他方本願は紫外線レーザを用いた記録装置やNVLQ部を持つ記録装置・露光装置・システム・露光方法についての記載を主にするため詳細の説明は省略する。）
（【００１１】以降は省略されています）

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